通电扩散接合装置的制作方法

技术特征：

1.一种通电扩散接合装置，其对使接合面抵接的多个被接合部件进行通电而将该多个被接合部件接合，其特征在于，包括：

多个电极，其用于使所述多个被接合部件通电；

电源，其能够使施加于所述多个电极的输出连续地改变；

温度信息提供部，其提供所述被接合部件或所述电极的温度信息；以及

输出控制部，其基于来自所述温度信息提供部的温度信息对所述电源的输出进行上升斜率控制。

2.根据权利要求1所述的通电扩散接合装置，其特征在于：

包括电压下降检测单元，其向所述被接合部件供给恒定的电流，能够对所述接合面的电压下降进行检测。

3.根据权利要求2所述的通电扩散接合装置，其特征在于：

所述输出控制部基于由所述电压下降检测单元检测出的电压下降而对所述电源的输出进行控制。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的通电扩散接合装置，其特征在于：

所述温度信息提供部是对所述被接合部件或所述电极的温度信息进行检测的温度传感器。

5.根据权利要求1至3中的任一项所述的通电扩散接合装置，其特征在于：

所述温度信息提供部是存储有所述被接合部件或所述电极的温度信息的温度信息存储部。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的通电扩散接合装置，其特征在于：

包括加压部，其用于对所述被接合部件的所述接合面施加压力。

技术总结
本发明的目的在于提供一种通电扩散接合装置，其能够精密地控制电源的输出，并且能够实现被接合部件的精密的温度管理。一种通电扩散接合装置(10)，其对使接合面(S)抵接的多个被接合部件(1)进行通电而将该多个被接合部件(1)接合，包括：多个电极(2)，其用于使多个被接合部件(1)通电；电源(3)，其能够使施加于多个电极(2)的输出连续地改变；温度信息提供部(4)，其提供被接合部件(1)或电极(2)的温度信息；以及输出控制部(5)，其基于来自温度信息提供部(4)的温度信息，对电源(3)的输出进行上升斜率控制。

技术研发人员：水野芳伸;中村武;伊藤诚;
受保护的技术使用者：ECO-A株式会社;
技术研发日：2020.03.05
技术公布日：2021.10.22