大宗特殊气体供应系统及其输送管道的制作方法

1.本实用新型涉及大宗特殊气体供应技术领域，具体涉及一种大宗特殊气体供应系统及其输送管道。


背景技术：

2.随着半导体产技术的不断更新换代，各芯片制造工厂和液晶面板厂的产能也逐渐增大，同时各工厂对特殊气体的需求量亦随之增加。依据特殊气体的安全存储管理规定，存储量较大的特殊气体需在生产厂房之外单独建立特殊气体站，且特殊气体站与生产厂房及人员密集区应保持一定的安全距离。特殊气体因其气体性质的特殊，均采用低压供应(供应压力通常为4～5kg/cm2)，由于输送距离较长，当生产设备使用特殊气体时，流体与输送管道的摩擦及使用量的变化常常导致供应压力的不稳定。


技术实现要素：

3.1、实用新型要解决的技术问题
4.针对流体与输送管道的摩擦及使用量的变化常常导致供应压力的不稳定技术问题，本实用新型提供了一种大宗特殊气体供应系统及其输送管道，它通过缓冲管道提高供应管道的流体补充能力，保证供应管道压力的稳定。
5.2、技术方案
6.为解决上述问题，本实用新型提供的技术方案为：一种大宗特殊气体输送管道，包括供应管道和缓冲管道，所述供应管道一端用于与气体供应设备连接，供应管道的另一端用于连接气体分配设备，所述缓冲管道位于供应管道的两端之间，且缓冲管道靠近供应管道用于连接气体分配设备的一端，所述缓冲管道的直径大于供应管道的直径。
7.可选的，所述供应管道与缓冲管道之间的连接方式为焊接。
8.可选的，所述供应管道和缓冲管道的材质为不锈钢。
9.可选的，所述不锈钢为316l不锈钢。
10.可选的，所述焊接为全自动氩弧焊接。
11.本实用新型还公开了一种大宗特殊气体供应系统，包括气体供应设备、气体分配设备以及上文所述的大宗特殊气体输送管道，所述气体供应设备与供应管道的一端连接，供应管道的另一端与气体分配设备连接。
12.可选的，所述气体供应设备设有出口阀，所述供应管道与出口阀连接。
13.可选的，所述缓冲管道内的压力为气体供应设备出口阀处压力的8～12％。
14.可选的，所述气体分配设备设有进口阀，所述供应管道与进口阀连接。
15.可选的，所述供应管道与出口阀采用vcr接头连接，所述供应管道与进口阀采用vcr接头连接。
16.3、有益效果
17.采用本实用新型提供的技术方案，与现有技术相比，具有如下有益效果：
18.(1)本技术实施例提出的大宗特殊气体输送管道，在供应管道中增加一段缓冲管段，且缓冲管道的直径大于供应管道，提高供应管道的流体补充能力，可在生产设备大量使用特殊气体的瞬间，为气体供应设备到气体分配设备之间的供应管道的流体补充赢得时间，保证供应管道压力的稳定。
附图说明
19.图1为本实用新型实施例提出的大宗特殊气体输送管道的结构示意图；
20.图2为本实用新型实施例提出的大宗特殊气体供应系统的结构示意图。
具体实施方式
21.为进一步了解本实用新型的内容，结合附图及实施例对本实用新型作详细描述。
22.下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与实用新型相关的部分。本实用新型中所述的第一、第二等词语，是为了描述本实用新型的技术方案方便而设置，并没有特定的限定作用，均为泛指，对本实用新型的技术方案不构成限定作用。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。同一实施例中的多个技术方案，以及不同实施例的多个技术方案之间，可进行排列组合形成新的不存在矛盾或冲突的技术方案，均在本实用新型要求保护的范围内。
23.实施例1
24.结合附图1
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2，本实施例的大宗特殊气体输送管道，包括供应管道1和缓冲管道2，所述供应管道1一端用于与气体供应设备3连接，供应管道1的另一端用于连接气体分配设备4，所述缓冲管道2供应管道1的两端之间，且缓冲管道2靠近供应管道1用于连接气体分配设备4的一端，所述缓冲管道2的直径大于供应管道1的直径。当供应管道1在恒定的供应压力下提供的流体的流量大于或等于生产设备对特殊气体的瞬时使用量时，管道压力趋于稳定，反之由于管道供应能力的不足，导致管道内流体的补充不及时而产生瞬时压降。针对以上特性，在供应管道1中增加一段缓冲管段，且缓冲管道2的直径大于供应管道1，提高供应管道1的流体补充能力，可在生产设备大量使用特殊气体的瞬间，为气体供应设备3到气体分配设备4之间的供应管道1的流体补充赢得时间，保证供应管道1压力的稳定。
25.实施例2
26.结合附图1
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2，本实施例的大宗特殊气体输送管道，与实施例1的技术方案相比，可
改进如下：所述供应管道1与缓冲管道2之间的连接方式为焊接。焊接使供应管道1与缓冲管道2之间密封为一体，防止发生气体泄漏。
27.实施例3
28.结合附图1
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2，本实施例的大宗特殊气体输送管道，与实施例1或2的技术方案相比，可改进如下：所述供应管道1和缓冲管道2的材质为不锈钢。不锈钢具有较好的耐腐蚀性，适用于气体输送管道。
29.实施例4
30.结合附图1
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2，本实施例的大宗特殊气体输送管道，与实施例1
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3任一项技术方案相比，可改进如下：所述不锈钢为316l不锈钢。316l不锈钢添加了钼元素，使其获得一种抗腐蚀的特殊结构，大大提高了管道的耐腐蚀性。
31.实施例5
32.结合附图1
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2，本实施例的大宗特殊气体输送管道，与实施例1
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4任一项技术方案相比，可改进如下：所述焊接为全自动氩弧焊接。氩弧焊接能使焊接部得到良好的熔透性，而且透度均匀，表面光滑、整齐，使缓冲管道2与供应管道1支架的气密性得到保障。
33.实施例6
34.结合附图1
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2，本实施例的大宗特殊气体供应系统，包括气体供应设备3、气体分配设备4以及实施例1～5任一项技术方案所述的气体输送管道，所述气体供应设备3与供应管道1的一端连接，所述气体分配设备4与供应管道1的另一端连接。当供应管道1在恒定的供应压力下提供的流体的流量大于或等于生产设备对特殊气体的瞬时使用量时，管道压力趋于稳定，反之由于管道供应能力的不足，导致管道内流体的补充不及时而产生瞬时压降。针对以上特性，在供应管道1中增加一段缓冲管段，且缓冲管道2的直径大于供应管道1，提高供应管道1的流体补充能力，可在生产设备大量使用特殊气体的瞬间，为气体供应设备3到气体分配设备4之间的供应管道1的流体补充赢得时间，保证供应管道1压力的稳定。
35.实施例7
36.结合附图1
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2，本实施例的大宗特殊气体供应系统，与实施例6的技术方案相比，可改进如下：所述气体供应设备3设有出口阀31，所述供应管道1与出口阀31连接。出口阀31控制气体的进出，开启出口阀31，气体由气体供应设备3进入供应管道1和缓冲管道2。
37.实施例8
38.结合附图1
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2，本实施例的大宗特殊气体供应系统，与实施例6或7的技术方案相比，可改进如下：所述缓冲管道2内的压力为气体供应设备3出口阀31处压力的8～12％。利用p1v1＝p2v2的原理，p1为气体供应设备3出口阀31处的压力，p2为气体供应设备3出口阀31处压力与缓冲管段的压力之和，v1为包含缓冲管道2的输送管道的体积，v2为不设缓冲管道2时输送管道的体积，可计算得出缓冲管道2的长度。当缓冲管道2内的压力大于出口阀31处压力的12％，缓冲管道2的管材成本会增加，当缓冲管道2内的压力大于出口阀31处压力的8％，缓冲管道2达不到对管道内进行流体补充的作用，当缓冲管道2内的压力为出口阀31处压力的10％时，在达到对管道内进行流体补充的作用的同时，节约成本。于其他实施例中，缓冲管道2内的压力可为出口阀31处压力的8％、9％、11％或12％。
39.实施例9
40.结合附图1
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2，本实施例的大宗特殊气体供应系统，与实施例6
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8任一项技术方案
相比，可改进如下：所述气体分配设备4设有进口阀41，所述供应管道1与进口阀41连接。进口阀41控制气体的进出，开启进口阀41，气体由缓供应管道1进入气体分配设备4。
41.实施例10
42.结合附图1
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2，本实施例的大宗特殊气体供应系统，与实施例6
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9任一项技术方案相比，可改进如下：所述供应管道1与出口阀31采用vcr接头5连接，所述供应管道1与进口阀41采用vcr接头5连接。vcr接头5是面密封接头的一种，密封元件采用金属垫片，通过内外螺纹互锁来压迫金属垫片，使垫片产生一定的变形，密封效果较好，能够有效的防止供应管道1与出口阀31之间、供应管道1与进口阀41之间发生漏气。
43.以上示意性的对本实用新型及其实施方式进行了描述，该描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。所以，如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。