供膜装置的制作方法

1.本发明涉及供膜装置。


背景技术：

2.供膜装置为用于向膜检查装置、膜清洗装置等的膜处理装置供给片形状的膜的装置。
3.现有的供膜装置包括：第一方式的以往的供膜装置，利用夹具来把持装载于膜盘的膜之后投向膜处理装置；以及第二方式的以往的供膜装置，利用辊来推动膜并投入膜处理装置。
4.但是，上述第一方式的以往的供膜装置存在如下的问题，即，夹具需要在膜盘与膜处理装置之间的区间反复移动并供膜，且供膜速度缓慢。
5.并且，上述第二方式的以往的供膜装置存在如下的问题，即，在利用辊来向膜处理装置侧推动膜的过程中，辊有可能刮伤膜，由此，膜的质量降低，或者由于膜向左右不规则地扭曲，而很难以规定排列的状态供膜。
6.另一方面，在通过多层装载多个膜来保存的情况下，因多个膜自身的粘结性及作用于多个膜之间的静电等，而存在2个以上的膜以相互粘结的状态装载的情况。
7.但是，以往的供膜装置并不具有分离相互粘结的2个以上膜来供给的结构。对此，以往的供膜装置存在如下的问题，即，由于2个以上的膜以相互粘结的状态供给，从而利用膜处理装置来实施的作业将发生错误。


技术实现要素：

8.本发明用于解决上述现有技术的问题，本发明的目的在于，提供可通过改善结构来迅速供膜的供膜装置。
9.进而，本发明的目的在于，提供可通过改善结构来在供膜过程中防止膜受损的供膜装置。
10.进而，本发明的目的在于，提供可通过改善结构来以规定排列的状态供膜的供膜装置。
11.进而，本发明的目的在于，提供可通过改善结构来分离相互粘结的多个膜并供给的供膜装置。
12.用于解决上述问题的本发明优选实施例的供膜装置包括：转台，包括驱动部件及旋转杆，上述旋转杆的中心部与上述旋转轴轴结合，以便以上述驱动部件的旋转轴为中心旋转驱动，通过上述驱动部件使上述旋转杆旋转驱动，以使上述旋转杆反复进行旋转预设的基准角度之后停止预设的基准时间的过程；膜盘，当上述旋转杆在上述基准时间内处于停止状态时，设置于预设的第一作业区域以放置上述旋转杆的两端端部中的一侧端部，多个膜以多层装载；多个把持单元，分别与上述旋转杆的两侧端部相结合，以通过上述旋转杆，以上述旋转轴为中心，沿着预设的圆形轨迹移送，能够用于把持多个上述膜；以及膜排
出单元，当上述旋转杆在上述基准时间内处于停止状态时，设置于预设的第二作业区域，以放置上述旋转杆的两侧端部中与上述一侧端部相反的另一侧端部，能够向外部排出多个上述膜，当上述旋转杆在上述基准时间内处于停止状态时，在上述多个把持单元中，位于上述第一作业区域的把持单元在上述膜盘中把持膜，在上述多个把持单元中，位于上述第二作业区域的把持单元在上述膜盘中解除对在上述膜盘中预先把持的膜的把持并向上述膜排出单元传递。
13.优选地，上述基准角度为180
°
，上述第一作业区域和上述第二作业区域以上述旋转轴为中心隔开上述基准角度。
14.优选地，上述把持单元可选择性地把持装载于上述膜盘的多个膜中装载于顶层的顶层膜。
15.优选地，本发明还包括防多供单元，上述防多供单元用于从上述顶层膜分离在多个上述膜中以粘结在上述顶层膜的状态被上述把持单元把持的膜。
16.优选地，上述防多供单元包括至少一个刷子，上述刷子以扫除以被上述把持单元把持的状态移送的膜的方式设置，用于从上述顶层膜剥离粘结在上述顶层膜的膜。
17.优选地，上述刷子将以被上述把持单元把持的状态移送的膜的端部扫向上述膜盘，以使从上述顶层膜剥离的膜再次装载于上述膜盘。
18.优选地，上述防多供单元包括至少一个空气喷嘴，以朝向以被上述把持单元把持的状态移送的膜喷射空气的方式设置，用于从上述顶层膜剥离粘结在上述顶层膜的膜。
19.优选地，上述把持单元包括：真空管，与装载于上述膜盘的多个膜中的上述顶层膜相向设置，通过真空吸附上述顶层膜来选择性地把持上述顶层膜；以及移送部件，用于使上述真空管升降。
20.优选地，多个上述真空管隔着预设的间隔设置，上述移送部件以分别使多个上述真空管中的一个升降的方式设置有多个。
21.优选地，位于上述第一作业区域的把持单元通过多个上述真空管经多次逐级真空吸附上述顶层膜，以使多个上述真空管中的一部分真空管真空吸附上述顶层膜之后，多个上述真空管的另一部分真空管真空吸附上述顶层膜。
22.优选地，上述膜盘具有上部面凹陷预设的曲率程度的凹陷结构，使得多个上述膜以凹陷上述曲率程度并弯曲的状态装载于上述膜盘的上述上部面，多个上述真空管分别包括：第一真空管，受真空压力；第二真空管，与上述第一真空管铰链结合，以能够从上述第一真空管接收上述真空压力，当与上述顶层膜相接触时铰链转动并与上述顶层膜面接触，用于把持上述顶层膜；以及弹性部件，弹性连接上述第一真空管与上述第二真空管，以使上述第一真空管和上述第二真空管弹性复原成预设的基准配置形态。
23.优选地，上述弹性部件由螺旋弹簧构成，上述螺旋弹簧的一侧端部与上述第一真空管相结合，与上述一侧端部相反的另一侧端部与上述第二真空管相结合。
24.优选地，多个上述弹性部件相互对称。
25.优选地，上述转台还包括一对结合杆，一对上述结合杆分别与上述旋转杆的两侧端部中的一侧端部相结合，上述多个把持单元分别与多个上述结合杆中的一个相结合。
26.优选地，多个上述结合杆分别与上述旋转杆的上述一侧端部相结合，以便以与上述结合杆相结合的上述旋转杆的上一侧端部为中心对称，上述多个把持单元分别与上述结
合杆的两侧端部中的一侧端部相结合，上述结合杆与上述把持单元相结合，一对上述膜盘分别设置于上述第一作业区域，一对膜盘中的一个与上述结合杆的一侧端部相向，另一个与和上述一侧端部相反的上述结合杆的另一侧端部相向。
27.优选地，上述膜排出单元包括输送带，用于向外部移送随着在上述第二作业区域中上述把持单元的把持被解除而放置的上述膜。
28.(发明效果)
29.本发明涉及供膜装置，其效果如下。
30.第一，本发明可利用转台来同时执行从膜盘把持膜的作业以及向输送带传递从膜盘预先把持的膜的作业。由此，本发明可以向膜处理装置迅速供给装载于膜盘的膜。
31.第二，本发明可利用真空吸附方式来把持膜并供给，因此，在供膜过程中，可防止辊有可能刮伤膜，且能够以规定排列的状态供膜。
32.第三，在本发明中，在多个膜以相互粘结的状态一同被把持单元把持的情况下，可利用刷子、空气喷嘴等或者施加振动来剥离相互粘结的多个膜，因此，可以选择性地仅供给一个膜。
附图说明
33.图1为示出本发明优选实施例的供膜装置的简要结构的俯视图。
34.图2为示出图1所示的转台旋转驱动的形态的俯视图。
35.图3至图5为用于说明利用把持单元来把持膜的方法的图。
36.图6至图9为用于说明利用第二把持单元来把持膜的方法的图。
37.图10至图12为用于说明利用第三把持单元来把持膜的方法的图。
38.符号说明：
39.1：供膜装置；2：膜处理装置；10：转台；12：驱动部件；12a：旋转轴；14：旋转杆；16：结合杆；20：膜盘；30：把持单元；32：真空管；32a：吸附板；34：移送部件；36：真空泵；40：防多供单元；42：刷子；44：空气喷嘴；50：膜排出单元；52：输送带；60：托盘移送单元；70：第二把持单元；72：真空管；72a：吸附头部；74：移送部件；76：真空泵；80：第三把持单元；82：真空管；82a：第一真空管；82b：第二真空管；82c：弹性部件；82d：吸附板；84：移送部件；86：真空泵；90：膜盘；a1：第一作业区域；a2：第二作业区域；f：膜；ft：顶层膜；a：空气。
具体实施方式
40.以下，通过例示性附图详细说明本发明的一部分实施例。在对各个附图的结构要素赋予附图标记的过程中，即使呈现在不同的附图上，尽可能对相同的结构要素赋予相同的附图标记。并且，在说明本发明的实施例的过程中，在判断为相关的公知结构或功能的具体说明妨碍对本发明的实施例的理解的情况下，将省略对其的详细说明。
41.在说明本发明实施例的结构要素的过程中，可以使用第一、第二、a、b、(a)、(b)等的术语。这种术语仅用于区分两种结构要素，对应结构要素的本质或顺次或顺序等并不局限于上述术语。并且，只要没有其他定义，包括技术或科学术语在内的在此使用的所有术语的含义与本发明所属技术领域的普通技术人员一般理解的含义相同。通常使用的词典定义的术语的含义与相关技术文脉上所具有的含义相同，只要在本技术中并未明确定义，则不
能被解释成异常或过度形式的含义。
42.图1为示出本发明优选实施例的供膜装置的简要结构的俯视图，图2为示出图1所示的转台旋转驱动的形态的俯视图。
43.本发明优选实施例的供膜装置1用于向膜检查装置、膜清洗装置等的膜处理装置供给具有预设的面积的板形状的膜f的装置。参照图1，供膜装置1可包括转台10、膜盘20、把持单元30、防多供单元40、膜排出单元50以及控制供膜装置1的整体驱动的控制器(未图示)等。
44.可利用这种供膜装置1供给的膜f的种类并未受到特殊限制。例如，膜f可以为用于制造显示板的偏光膜。
45.首先，转台10为用于移送后述的把持单元30及把持单元30所把持的膜f的装置。这种转台10可包括驱动部件12、旋转杆14、结合杆16等。
46.驱动部件12为提供用于驱动转台10的驱动力的部件。驱动部件12的结构并未受到特殊限制。例如，驱动部件12可包括驱动马达(未图示)及减速器(未图示)等，上述驱动马达提供旋转力，上述减速器与驱动马达轴结合，通过减速从驱动马达提供的旋转力来传递。
47.旋转杆14为利用从驱动部件12供给的驱动力，以驱动部件12的旋转轴12a为中心，沿着预设的圆形轨迹移送把持单元30的部件。这种旋转杆14与驱动部件12轴结合，以可通过驱动部件12旋转驱动。例如，如图1所示，旋转杆14的中心部可以与设置于驱动部件12的减速器的旋转轴12a轴结合，以可通过驱动部件12的驱动马达旋转驱动。因此，如图2所示，旋转杆14能够以旋转轴12a为中心旋转驱动。
48.结合杆16为用于使把持单元30与旋转杆14相结合的部件，以使把持单元30可沿着旋转杆14旋转驱动。结合杆16与旋转杆14相结合，以当驱动部件12旋转驱动时可沿着旋转杆14旋转驱动。因此，当驱动部件12驱动时，与结合杆16相结合的把持单元30可以沿着与旋转杆14的直径对应的圆形轨迹移送。
49.这种结合杆16的设置数量并未受到特殊限制。例如，如图1所示，结合杆16可设置一对。
50.如图1所示，一对结合杆16分别与旋转杆14的两侧端部中相反的一侧端部相结合，以便以旋转轴12a为中心对称配置。即，一对结合杆16与旋转杆14相结合，以便以旋转轴12a为中心隔开180
°
的角度间隔。在此情况下，优选地，多个结合杆16的中心部分别与旋转杆14的一侧端部相结合，以便以与上述结合杆16相结合的旋转杆14的一侧端部为中心对称，但并不局限于此。尤其，优选地，多个结合杆16以与旋转杆14垂直的方式设置，但并不局限于此。
51.如图2所示，这种多个结合杆16在以旋转轴12a为中心对称配置的状态下，可以沿着旋转杆14旋转驱动或停止。为此，驱动部件12以使旋转杆14及与旋转杆14相结合的多个结合杆16反复进行以旋转轴12a为中心旋转预设的基准角度之后停止预设的基准时间的方式驱动。例如，在一对结合杆16以旋转轴12a为中心，以相互隔开180
°
的角度间隔的方式与旋转杆14相结合的情况下，驱动部件12以使旋转杆14及与旋转杆14相结合的多个结合杆16反复进行以旋转轴12a为中心同时旋转180
°
之后同时停止预设的基准时间的方式驱动。另一方面，上述基准时间并未受到特殊限制，优选地，上述基准时间可以为确保适合执行利用后述的把持单元30来把持装载于后述的膜盘20的膜f的作业的时间。
52.如上所述，若驱动驱动部件12，则每当旋转杆14及与旋转杆14相结合的一对结合杆16同时旋转180
°
只有停止预设的基准时间时，一对结合杆16及与一对结合杆16相结合的多个把持单元30的位置相互颠倒。
53.为了说明的便利，以下，如图1所示，将当旋转杆14以旋转轴12a为中心同时旋转180
°
之后停止上述基准时间时，在一对结合杆16中，以放置与旋转杆14的一侧端部相结合的结合杆16的方式在转台10的一侧设定的区域称为第一作业区域a1。并且，将当旋转杆14以旋转轴12a为中心同时旋转180
°
之后停止上述基准时间时，以旋转轴12a为中心，与第一作业区域a1隔开180
°
的角度间隔，在一对结合杆16中，以放置与和上述一侧端部相反的旋转杆14的另一侧端部相结合的结合杆16的方式在与和上述转台10的一侧相反的上述转台10的另一侧设定的区域称为第二作业区域a2。
54.图3至图5为用于说明利用把持单元把持膜的方法的图。
55.接着，膜盘20为装载利用供膜装置1来供给的多个膜f的装置。这种膜盘20以与在一对结合杆16中配置于第一作业区域a1的结合杆16相向的方式设置于第一作业区域a1。
56.膜盘20的设置数量并未受到特殊限制。例如，如图1所示，在结合杆16以旋转杆14的一侧端部为中心对称设置的情况下，一对膜盘20可设置于第一作业区域a1。在此情况下，在多个膜盘20中的一个能够以与和结合杆16的两侧端部中的一侧端部相结合的把持单元30相向的方式设置于第一作业区域a1的一侧，在多个膜盘20中的另一个以与和在结合杆16的两侧端部中与上述一侧端部相反的另一侧端部相结合的把持单元30相向的方式设置于与上述第一作业区域a1的一侧相反的第一作业区域a1的另一侧。
57.如图3所示，在一对膜盘20，利用供膜装置1供给的多个膜f沿着膜f的厚度方向多层装载。
58.并且，一对膜盘20可分别与用于使多个膜盘20沿着膜f的厚度方向升降的托盘移送单元60相结合。托盘移送单元60的结构并未受到特殊限制。例如，托盘移送单元60可以由用于使膜盘20升降的气缸装置构成。这种托盘移送单元60可根据膜f的供给趋势、装载于膜盘20的膜f的数量等来使膜盘20升降，以恒定维持装载于膜盘20的多个膜f中装载于顶层的膜(以下，称之为“顶层膜ft”)与结合部16之间的距离。
59.接着，把持单元30为用于把持膜f或解除对膜f的把持的装置。
60.把持单元30的结构并未受到特殊限制。例如，把持单元30可真空吸附膜f来进行把持，以通过旋转杆14沿着预设的圆形轨迹移送的方式与结合杆16相结合。在此情况下，如图3所示，把持单元30可包括：至少一个真空管32，与真空泵36相连接；以及至少一个移送部件34，以使多个真空管32中的一个分别接近膜盘20或者从膜盘20隔开的方式使其升降。并且，多个真空管32可具有设置于朝向膜盘20侧的上述真空管32的一侧端部的吸附板32a，以可利用从真空泵36施加的真空压力来真空吸附膜f。多个移送部件34的结构并未受到特殊限制。例如，多个移送部件34可分别由用于使与上述移送部件34相结合的真空管22升降的气缸装置构成。
61.把持单元30的设置数量并未受到特殊限制。例如，如图1所示，在多个结合杆16可设置一对把持单元30。更具体地，如图1及图3所示，在多个结合杆16的两侧端部可设置把持单元30，以使装载于膜盘20的多个膜f与吸附板32a相向。
62.随着设置这种把持单元30，如图3至图5所示，若在多个结合杆16中的一个结合杆
16配置于第一作业区域a1，则设置于上述一个结合杆16的一对把持单元30以选择性地把持装载于与上述把持单元30相向的膜盘20的多个膜f中的顶层膜ft的方式进行工作。
63.更具体地，在设置于上述一个结合杆16的一对把持单元30中，如图4所示，多个移送部件34使多个真空管32下降，以使吸附板32a与顶层膜ft相接触。接着，吸附板32a利用从真空泵36施加的真空压来真空吸附顶层膜ft并对其进行把持。之后，如图5所示，多个移送部件34使多个真空管32升降，以使顶层膜ft从装载于膜盘20的剩余多个膜f隔开预设的距离。
64.通过这种过程，设置于上述一个结合杆16的一对把持单元30可以选择性地把持装载于与上述把持单元30相向的膜盘20的顶层膜ft。
65.接着，防多供单元40为用于防止2个以上的膜f被把持单元30把持的装置。
66.在膜盘20装载多个膜f，有可能发生因膜f的粘结性、静电、其他原因，2个以上的膜f在相互粘结的状态下被把持单元30一同把持的情况。如上所述，若2个以上的膜f以相互粘结的状态一同被供给，则在利用通过供膜装置1供给的膜f来实施的后续工序中将会发生不良。为了解决这种问题，供膜装置1包括用于从顶层膜ft分离粘结在顶层膜ft的膜f的防多供单元40，以可通过把持单元30仅选择性地把持相互粘结的多个膜f中顶层的膜ft一张。
67.防多供单元40的结构并未受到特殊限制。例如，如图3所示，防多供单元40可包括至少一个刷子42及至少一个空气喷嘴44等，上述刷子42可用于扫除以被把持单元30把持的状态移送的膜f，上述空气喷嘴44用于朝向以被把持单元30把持的状态移送的膜f喷射空气a。
68.刷子42的设置数量并未受到特殊限制。例如，多个刷子42可分别与膜f的前后左右端部中的一侧端部相接触，上述膜f以被把持单元30把持的状态升降。
69.优选地，多个刷子42分别通过驱动马达(未图示)，沿着预设的方向旋转驱动，以可以朝向膜盘20侧扫除以被把持单元30把持的状态升降的膜f的端部，但并不局限于此。
70.如图5所示，根据这种刷子42，在2个以上的膜f以相互粘结的状态被把持单元30一同把持的情况下，除直接被吸附板32a真空吸附的顶层膜ft之外的剩余多个膜f可通过多个刷子42被刷向膜盘20侧并从顶层膜ft剥离之后，可以再次装载于膜盘20。
71.空气喷嘴44的设置数量并未受到特殊限制。例如，如图5所示，多个空气喷嘴44以可分别朝向膜f的前后左右端部中的一侧端部喷射空气a的方式设置，上述膜f以被把持单元30把持的状态升降。
72.根据这种空气喷嘴44，在2个以上的膜f以相互粘结的状态被把持单元30一同把持的情况下，通过朝向多个膜f的端部喷射的空气a，多个膜f之间将会产生间隔。对此，从直接被吸附板32a真空吸附的顶层膜ft之外的剩余多个膜f可通过空气a从顶层膜ft剥离之后，可以再次装载于膜盘20。
73.接着，膜排出单元50为用于向预设的膜处理装置2供给通过转台10从第一作业区域a1向第二作业区域a2移送的膜f的装置。
74.膜排出单元50的结构并未受到特殊限制。例如，如图1所示，膜排出单元50可包括设置于第二作业区域a2的输送带52，以可向外部排出从把持单元30解除把持的膜f。在此情况下，膜处理装置2可接收通过输送带52向供膜装置1的外部排出的膜f。
75.输送带52的设置数量并未受到特殊限制。例如，如图1所示，在多个结合部16设置
一对把持单元30的情况下，一对输送带52可设置于第二作业区域a2。在此情况下，在多个输送带52中的一个与在位于第二作业区域a2的结合杆16的两侧端部中的一侧端部设置的把持单元30相向，多个输送带52中的另一个与在位于第二作业区域a2的结合杆16的两侧端部中的另一侧端部设置的把持单元30相向。
76.如上所述，随着设置多个输送带52，位于第二作业区域a2的多个把持单元30中的一个在第一作业区域a1中解除对预先把持的膜f的把持并放置于与上述把持单元30相向的输送带52。与此对应地，在位于第二作业区域a2的多个把持单元30中的另一个在第一作业区域a1中解除对预先把持的膜f的把持并放置于与上述把持单元30相向的输送带52。
77.如上所述，多个输送带52可分别移送从把持单元30传递的膜f来向预设的膜处理装置2供给。膜处理装置2的种类并未受到特殊限制。例如，膜处理装置2可以为用于检查luving mark、不良mark、颜色、气泡、异物、剥落、脏污等或者判断优质及劣质的膜检查装置。
78.以下，参照附图，说明利用供膜装置1的供膜方法。
79.首先，如图1所示，控制器利用驱动部件12来以使多个结合杆16中的一个配置于第一作业区域a1，同时多个结合杆16中的另一个配置于第二作业区域a2的方式使旋转杆14及与此相结合的多个结合杆16旋转驱动预设的基准角度后停止预设的基准时间。
80.接着，如图3至图5所示，在旋转杆14停止上述基准时间的状态下，控制器利用与位于第一作业区域a1的结合杆16相结合的多个把持单元30以与把持单元30相向的方式通过真空吸附把持在装载于膜盘20的多个膜f中装载于顶层的顶层膜ft。与此同时，利用防多供单元40从顶层膜ft剥离粘结在顶层膜ft的膜f，以仅使顶层膜ft被把持单元30选择性地把持。
81.并且，如图1所示，控制器利用与位于第二作业区域a2的结合杆16相结合的多个把持单元30来在第一作业区域a1中解除对通过多个把持单元30预先把持的多个膜f的把持并放置于与上述多个把持单元30相向的多个输送带52。
82.之后，如图2所示，控制器利用驱动部件12来使旋转杆14及与旋转杆14相结合的多个结合杆16以旋转轴12a为中心旋转驱动上述基准角度之后停止上述基准时间。因此，位于第一作业区域a1的结合杆16及与结合杆16相结合的多个把持单元30向第二作业区域a2移动，位于第二作业区域a2的结合杆16及与结合杆16相结合的多个把持单元30向第一作业区域a1移动，由此，多个结合杆16及多个把持单元30的位置将相互颠倒。与此同时，控制器利用多个输送带52向外部排出从把持单元30传递的多个膜f并向膜处理装置2供给。
83.如上所述，供膜装置1可利用转台10同时执行从膜盘20把持膜f的作业和供给从膜盘20预先把持的膜f的作业。由此，供膜装置1可以向膜处理装置2迅速供给装载于膜盘20的多个膜f。
84.并且，供膜装置1可利用真空吸附方式来把持膜f或解除对膜f的把持，因此，在膜f的移送过程中，可以防止膜f被辊等刮伤，能够以规定排列的状态移送及供给膜。
85.图6至图9为用于说明利用第二把持单元来把持膜的方法的图。
86.供膜装置1可以代替上述把持单元30包括改良的第二把持单元70，以可从顶层膜ft剥离以粘结在顶层膜ft的状态与顶层膜ft一同被把持的多个膜f。即，供膜装置1可以代替上述把持单元30包括改良的第二把持单元70，以可以辅助防多供单元40或代替防多供单
元40。
87.第二把持单元70可真空吸附膜f来进行把持，以通过旋转杆14沿着预设的圆形轨迹移送的方式与结合杆16相结合。如图6所示，这种第二把持单元70包括：多个真空管72，隔着预设的间隔配置，与真空泵76相连接；以及多个移送部件74，用于使多个真空管72升降，以使多个真空管72中的一个分别接近膜盘20或从膜盘20隔开。
88.多个真空管72的配置形态并未受到特殊限制。例如，如图6所示，多个真空管72可配置成2行。
89.以下，参照附图，说明利用第二把持单元70来把持膜f的方法。
90.首先，控制器利用与多个真空管72中一部分真空管72相结合的移送部件74来使上述一部分真空管72下降，以使设置于上述真空管72的吸附板72a与装载于膜盘20的顶层膜ft相接触。例如，如图7所示，控制器利用与2行的多个真空管72中配置于一行的真空管72相结合的移送部件74来使配置于上述一行的真空管72下降，以使设置于上述真空管72的吸附板72a与装载于膜盘20的顶层膜ft相接触。
91.接着，控制器利用真空泵76来向上述一部分真空管72选择性地施加真空压力，由此，利用设置于上述真空管72的吸附板72a第一次真空吸附顶层膜ft。例如，如图8所示，控制器利用真空泵76来向配置于上述一行的真空管72选择性地施加真空压力，由此，利用设置于上述真空管72的吸附板72a来第一次真空吸附顶层膜ft。
92.之后，在通过设置于上述一部分真空管72的吸附板72a第一次真空吸附顶层膜ft的状态下，控制器利用与多个真空管72中剩余一部分的真空管72相结合的移送部件74来使上述剩余一部分真空管72下降，以使设置于上述真空管72的吸附板72a与顶层膜ft相接触。例如，如图8所示，在通过设置于真空管72的吸附板72a第一次真空吸附顶层膜ft的状态下，上述真空管72配置于上述一个行的真空管72，控制器利用与配置于2行的多个真空管72中剩余一个行的真空管72相结合的移送部件74来使配置于上述剩余一行的真空管72下降，以使设置于上述真空管72的吸附板72a与顶层膜ft相接触。
93.接着，控制器利用真空泵76来向上述剩余一部分的真空管72选择性地施加真空压力，由此，利用设置于上述真空管72的吸附板72a来第二次真空吸附顶层膜ft。例如，控制器利用真空泵76来向配置于上述剩余一行的真空管72选择性地施加真空压力，由此，利用设置于上述真空管72的吸附板72a第二次真空吸附顶层膜ft。
94.之后，如图9所示，控制器利用整个移送部件74来使整个真空管72及被整个真空管72把持的顶层膜ft升降，以从装载于膜盘20的剩余多个膜f隔开。
95.如上所述，第二把持单元70可以经多次逐级真空吸附顶层膜ft来进行把持。因此，每当利用整个真空管72中的一部分真空管72来真空吸附顶层膜ft时，顶层膜ft因通过吸附板72a施加的真空压力而振动。根据这种第二把持单元70，粘结在顶层膜ft及顶层膜ft的多个膜f经多次反复振动，由此，粘结在顶层膜ft的多个膜f可从顶层膜ft有效剥离而再次装载于膜盘20。
96.图10至图12为用于说明利用第三把持单元来把持膜的方法的图。
97.供膜装置1可以代替上述第二把持单元70包括通过与上述第二把持单元70不同的方式改良的第三把持单元80，以可防止膜f的多数供给。
98.第三把持单元80可真空吸附膜f来进行把持，以通过旋转杆14沿着预设的圆形轨
迹移送的方式与结合杆16相结合。第三把持单元80可包括至少一个真空管82及多个移送部件84等，上述真空管82可以发生弹性变形，上述多个移送部件84以使多个真空管82中的一个分别接近膜盘90或从膜盘90隔开的方式移送。
99.多个真空管82的结构并未受到特殊限制。例如，如图10所示，多个真空管82可包括：第一真空管82a，与真空泵86相连接，以受真空压力；第二真空管82b，一侧端部与第一真空管82a相结合，以可从第一真空管82a接收真空压力，在与上述一侧端部相反的另一侧端部安装吸附板82d；以及弹性部件82c，以使第一真空管82a和第二真空管82b弹性复原成预设的基准配置形态的方式弹性连接第一真空管82a与第二真空管82b。
100.第一真空管82a和第二真空管82b的基准配置形态并未受到特殊限制。例如，如图10所示，第一真空管82a和第二真空管82b的基准配置形态可以为一直线形态。
101.优选地，弹性部件82c由一侧端部与第一真空管82a相结合，与上述一侧端部相反的另一侧端部与第二真空管82b相结合的螺旋弹簧构成，但并不局限于此。这种弹性部件82c的设置数量并未受到特殊限制。例如，多个弹性部件82c能够以相互对称的方式与真空管82相结合。
102.另一方面，参照图10，与设置真空管82对应，膜盘90的上部面可具有按预设的曲率凹陷的凹陷结构。因此，多个膜f以与膜盘90的上部面相对应的方式以凹陷地弯曲的状态装载于膜盘90的上部面。
103.以下，参照附图，说明用第三把持单元80把持膜f的方法。
104.首先，如图11所示，控制器利用多个移送部件84来使多个真空管82下降，以使设置于多个真空管82的吸附板82d与顶层膜ft相接触。因此，如图11所示，多个第二真空管82b分别借助在吸附板82d与顶层膜ft相接触的过程中施加的反力铰链驱动，以使吸附板82d与顶层膜ft面接触。
105.接着，控制器利用真空泵86来向多个真空管82施加真空压力，由此，利用设置于多个真空管82的吸附板82d来真空吸附顶层膜ft。
106.之后，如图12所示，控制器利用多个移送部件84来使多个真空管82及被多个真空管82把持的顶层膜ft升降，以从装载于膜盘90的剩余多个膜f隔开。因此，多个第二真空管82b分别借助从弹性部件82c施加的弹力来以与第一真空管82a形成一直线的方式弹性复原。
107.但是，顶层膜ft及粘结在顶层膜ft的多个膜f以具有与膜盘90的曲率类似的曲率的方式以凹陷地弯曲的状态被多个吸附板82d真空吸附。由此，如图12所示，当多个第二真空管82b分别弹性复原时，顶层膜ft及粘结在顶层膜ft的多个膜f借助在多个第二真空管82b弹性复原的过程中传递的弹力平坦地展开或凸出弯曲并振动。因此，在粘结在顶层膜ft的状态下被第三把持单元80把持的多个膜f可借助上述振动从顶层膜ft剥离之后再次装载于膜盘90。
108.以上的说明仅例示性说明了本发明的技术思想，只要是本发明所属技术领域的普通技术人员，在不超出本发明的本质特性的范围内可进行多种修改及变形。
109.因此，在本发明中揭示的实施例并非用于限定本发明的技术思想，而是用于说明本发明，本发明的技术思想的范围并不局限于这种实施例，与此等同范围内的所有技术思想包含在本发明的发明要求保护范围内。