一种旋转靶材吊装装置的制作方法

一种旋转靶材吊装装置
1.【技术领域】
2.本实用新型涉及靶材领域，特别涉及一种旋转靶材吊装装置。
3.

背景技术：

4.溅射镀膜工艺广泛应用于集成电路、磁记录、刀具、平面显示器以及玻璃表面涂层等领域，随着表面镀膜技术的不断发展，溅射靶材这一具有高附加值的功能材料的需求量也逐年增多，因此需要不断提高溅射靶材的利用效率，减少靶材的消耗，降低成本，保护环境；旋转靶材是磁控的靶材，靶材做成圆筒型的，里面装有静止不动的磁体，以慢速转动。
5.在对旋转靶材加工过程中，对于尺寸较小的旋转靶材，可以依靠工人对旋转靶材进行搬运，然后对于一些尺寸规格较大的旋转靶材，仅仅依靠工人进行搬运较为困难。
6.为此，我们提出一种旋转靶材吊装装置。
7.

技术实现要素：

8.本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足，包括，腔盖体；吊板；固定环板；限位环；旋转靶材；固定板；所述旋转靶材内侧固设有内衬管，所述内衬管延伸至所述旋转靶材端部外侧；所述内衬管外侧配置有固定环板；限位环固设在固定环板外侧起到限制固定环板从所述内衬管端部脱离；所述固定板内置于所述内衬管内部且被配置为与内衬管相互固定；所述固定环板位于内衬管外部并与内衬管外侧固定连接；所述腔盖体罩合在所述吊板、限位环和固定环板上，在吊装装置进行吊装的过程中，所述腔盖体内部两侧分别与所述吊板和所述固定环板抵触和抱紧，对在对旋转靶材加工过程中，一些尺寸规格较大的旋转靶材、工人进行搬运较为困难的旋转靶材进行有限稳定的吊起和搬运。
9.为达到上述目的/为解决上述技术问题，本实用新型是采用下述技术方案实现的：一种旋转靶材吊装装置，包括，腔盖体；吊板；固定环板；限位环；旋转靶材；固定板；
10.所述旋转靶材内侧固设有内衬管，所述内衬管延伸至所述旋转靶材端部外侧；
11.所述内衬管外侧配置有固定环板；限位环固设在固定环板外侧起到限制固定环板从所述内衬管端部脱离；
12.所述固定板内置于所述内衬管内部且被配置为与内衬管相互固定；所述固定环板位于内衬管外部并与内衬管外侧固定连接；
13.所述腔盖体罩合在所述吊板、限位环和固定环板上，在吊装装置进行吊装的过程中，所述腔盖体内部两侧分别与所述吊板和所述固定环板抵触和抱紧。
14.可选地，所述内衬管外侧配置有用于卡放限位环的限位槽。
15.可选地，所述固定板设置有螺纹柱，所述吊板设置有与所述螺纹柱适配的螺纹孔。
16.可选地,所述腔盖体数量为两个，两个所述腔盖体合围而成一个整体罩合在所述吊板、限位环和固定环板上。
17.可选地，两个所述腔盖体外侧均固设有连接板，所述连接板设置有螺纹通孔，两个所述腔盖体外侧均固设有的连接板利用固定螺栓贯穿螺纹通孔实现固定。
18.可选地，所述腔盖体内壁两侧具有倾斜度。
19.可选地，所述吊板和所述固定环板与所述腔盖体内壁抵触位置也设置有倾斜度。
20.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
21.限位环卡嵌在内衬管上的限位槽内起到限制固定环板从内衬管端部脱离；吊板可以通过旋转等方式使得螺纹孔与螺纹柱相互配合最终完成吊板和固定板的固定连接；腔盖体罩合在吊板、限位环和固定环板上，在吊装装置进行吊装的过程中，腔盖体内部两侧分别于吊板和固定环板抵触和抱紧；因此可以对在对旋转靶材加工过程中，一些尺寸规格较大的旋转靶材、工人进行搬运较为困难的旋转靶材进行有限稳定的吊起和搬运。
22.【附图说明】
23.此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本技术的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。
24.图1是本实用新型提供的一种旋转靶材吊装装置的整体结构示意图。
25.图2是本实用新型提供的一种旋转靶材吊装装置的衬管结构示意图。
26.图3是本实用新型提供的一种旋转靶材吊装装置的限位环和固定环板示意图。
27.图4是本实用新型提供的一种旋转靶材吊装装置的固定板结构示意图。
28.图5是本实用新型提供的一种旋转靶材吊装装置的吊板与固定板连接的状态示意图。
29.图6是本实用新型提供的一种旋转靶材吊装装置的腔盖体罩合状态下的结构示意图。
30.图7是本实用新型提供的一种旋转靶材吊装装置的腔盖体整体结构示意图。
31.图8是本实用新型提供的一种旋转靶材吊装装置的腔盖体单个结构示意图。
32.图9是本实用新型提供的一种旋转靶材吊装装置的腔盖体剖面结构示意图。
33.图中：1、腔盖体；2、吊板；3、限位环；4、固定环板；5、旋转靶材；6、衬管；7、限位槽；8、固定板；9、螺纹柱；10、连接板；11、固定螺栓。
34.【具体实施方式】
35.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
36.对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不做详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。
37.在本实用新型的描述中，需要理解的是，指示的方位词或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
38.一种旋转靶材5吊装装置，包括，腔盖体1；吊板2；固定环板4；限位环3；旋转靶材5；固定板8；
39.所述旋转靶材5内侧固设有内衬管6，所述内衬管6延伸至所述旋转靶材5端部外
侧；
40.所述内衬管6外侧配置有固定环板4；限位环3固设在固定环板4外侧起到限制固定环板4从所述内衬管6端部脱离；
41.所述固定板8内置于所述内衬管6内部且被配置为与内衬管6相互固定；所述固定环板4位于内衬管6外部并与内衬管6外侧固定连接；
42.所述腔盖体1罩合在所述吊板2、限位环3和固定环板4上，在吊装装置进行吊装的过程中，所述腔盖体1内部两侧分别与所述吊板2和所述固定环板4抵触和抱紧；
43.在进一步的实施例中，所述内衬管6外侧配置有用于卡放限位环3的限位槽7。
44.在进一步的实施例中，所述固定板8设置有螺纹柱9，所述吊板2设置有与所述螺纹柱9适配的螺纹孔。
45.在进一步的实施例中，所述腔盖体1数量为两个，两个所述腔盖体1合围而成一个整体罩合在所述吊板2、限位环3和固定环板4上；
46.单个的腔盖体1结构可以参见如图8所示。
47.在进一步的实施例中，两个所述腔盖体1外侧均固设有连接板10，所述连接板10设置有螺纹通孔，两个所述腔盖体1外侧均固设有的连接板10利用固定螺栓11贯穿螺纹通孔（图中未示出）实现固定。
48.在进一步的实施例中，所述腔盖体1内壁两侧具有倾斜度；所述吊板2和所述固定环板4与所述腔盖体1内壁抵触位置也设置有倾斜度；
49.参见图9，所述腔盖体1内壁两侧具有倾斜度，该倾斜度与所述吊板2和所述固定环板4与所述腔盖体1内壁抵触位置也设置有倾斜度的相互适配和对应。
50.同时需要说明的是，吊板2的顶部固定连接有吊环等供起吊机吊起用的机构（图中未示出），如吊环或者吊链等。
51.在实际的工作过程中：当需要对某旋转靶材5进行吊起的时候，参见图2
‑
3，固定环板4设置在衬板上，且限位环3卡嵌在内衬管6上的限位槽7内起到限制固定环板4从所述内衬管6端部脱离；
52.参见图5，由于位于内衬管6内部的固定板8设有螺纹柱9，吊板2设置有与所述螺纹柱9适配的螺纹孔，因此吊板2可以通过旋转等方式使得螺纹孔与螺纹柱9相互配合最终完成吊板2和固定板8的固定连接；
53.参见图4，由于固定板8是与内衬管6相互固定的，因此吊板2就完成了对旋转靶材5的控制；
54.参见图1，最后，腔盖体1罩合在所述吊板2、限位环3和固定环板4上，在吊装装置进行吊装的过程中，所述腔盖体1内部两侧分别与所述吊板2和所述固定环板4抵触和抱紧；
55.相互抵触和罩置产生的力可以起到稳固和进一步加强对吊板2和固定环板4对旋转靶材5的吊起过程中的稳定性。
56.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。