多自由度静压解耦平台的制作方法

技术特征：
1.一种多自由度静压解耦平台，其特征在于，包括从上至下依次设置的翻转台、滑移台和底台，所述翻转台的底面为球面，所述滑移台的顶面和底面分别为球面和平面，所述翻转台的底面与所述滑移台的顶面构成球面静压支撑，所述滑移台的底面与所述底台的顶面构成平面静压支撑。2.根据权利要求1所述的多自由度静压解耦平台，其特征在于，在所述滑移台的顶面和底面分别对称设置有用于保持平衡的第一静压腔和第二静压腔，所述第一静压腔与所述第二静压腔分别通过供油油道连通有对应的节流器，外部的高压油液经所述节流器降压后进入所述第一静压腔和所述第二静压腔。3.根据权利要求2所述的多自由度静压解耦平台，其特征在于，所述第一静压腔和所述第二静压腔的数量均为偶数。4.根据权利要求3所述的多自由度静压解耦平台，其特征在于，当所述第一静压腔和所述第二静压腔的数量为四个及以上时，所述第一静压腔沿所述翻转台的底面周向均布，所述第二静压腔沿所述底台的周向均布。5.根据权利要求1所述的多自由度静压解耦平台，其特征在于，在所述滑移台的顶面和底面分别涂覆有塑料涂层。6.根据权利要求2所述的多自由度静压解耦平台，其特征在于，在所述滑移台的顶面和底面分别加工有与所述第一静压腔和第二静压腔相连通的回油槽，在所述底台的表面加工有与所述回油槽贯通的泄油槽。7.根据权利要求2所述的多自由度静压解耦平台，其特征在于，在所述滑移台上分别开设有用于监测所述第一静压腔和所述第二静压腔压力的第一测压孔和第二测压孔，所述第一测压孔和所述第二测压孔分别通过油孔与所述第一静压腔、所述第二静压腔连通。8.根据权利要求1所述的多自由度静压解耦平台，其特征在于，在所述滑移台的圆周上固定有用于限制所述滑移台沿水平方向移动的滑移台限位块。9.根据权利要求1所述的多自由度静压解耦平台，其特征在于，在所述滑移台上固定有用于限制所述翻转台翻转角度的翻转台限位环。10.根据权利要求1所述的多自由度静压解耦平台，其特征在于，在所述底台上固定有用于限制所述滑移台沿竖直方向移动的滑移台限位环。

技术总结
本实用新型提供一种多自由度静压解耦平台，包括从上至下依次设置的翻转台、滑移台和底台，翻转台的底面为球面，滑移台的顶面和底面分别为球面和平面，翻转台的底面与滑移台的顶面构成球面静压支撑，滑移台的底面与底台的顶面构成平面静压支撑。与现有技术相比，本实用新型通过翻转台与滑移台形成的球面静压支撑实现翻转台沿X轴和Y轴的无摩擦翻转及沿Z轴的无摩擦旋转，通过滑移台与底台形成的平面静压支撑实现滑移台沿X轴和Y轴的无摩擦平移，从而实现多自由度静压解耦平台无摩擦的五自由度运动，由静压支撑实现的无摩擦运动，不会对解耦平台的精度和寿命造成影响。解耦平台的精度和寿命造成影响。解耦平台的精度和寿命造成影响。


技术研发人员：孙宝瑞 刘继彬
受保护的技术使用者：中机试验装备股份有限公司
技术研发日：2021.02.25
技术公布日：2021/10/15