一种固定牢固的掩膜板夹持机构的制作方法

1.本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体为一种固定牢固的掩膜板夹持机构。


背景技术：

2.众所周知，光刻掩膜版，简称掩膜版，是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上，在半导体晶圆的生产过程中，曝光工艺是影响后续所有工艺过程的重要一步，曝光使用的掩膜板是该工艺中的核心部件，是将图形转移到晶圆上的载体，在曝光过程中，掩膜板会经常沾染晶圆表面的光刻胶和环境中的浮尘，这些对于曝光效果非常不利，因此要对掩膜板的正反两面进行清洗；这就使得掩膜板无法使用真空吸附方式，而只能使用夹持的方式进行清洗。
3.如对比公开专利“cn106356326a”名为“一种掩膜板夹持机构”，包括承片台及沿周向均布于承片台上的多个四杆机构，四杆机构包括底座、从动摆块、驱动摆块及压块，底座安装在承片台上，从动摆块的一端铰接在底座上，另一端与驱动摆块的一端铰接，驱动摆块的另一端铰接于压块上，压块的一端铰接在底座上，另一端安装有垫片；底座上开有凹槽，掩膜板放在各四杆机构的底座上的凹槽内，由于掩膜板的厚度较薄，该夹持机构在夹持过程中容易对掩膜板造成损坏的情况，从而增加了不必要的生产成本。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种方便操作，固定牢固的掩膜板夹持机构。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种固定牢固的掩膜板夹持机构，包括放置板，所述放置板包括控制柱以及滑板，所述滑板安装在所述放置板的四周，所述滑板设有滑槽，所述滑槽位于所述滑板的顶端，所述滑槽设有滑块，所述滑块的顶端设有紧固块，所述紧固块的内部设有滑动电机，所述滑动电机与所述滑块之间设有电路线连接，所述紧固块与紧固块相对一侧设有感应器，所述控制柱安装在所述放置板的底端，所述控制柱包括吸泵以及控制主板，所述吸泵以及控制主板均安装在所述控制柱的内部，所述吸泵的顶端设有吸附口，所述吸附口连通所述放置板，所述吸泵的底端设有排气口，所述排气口连通所述控制柱，所述吸泵连通所述吸附口以及排气口，所述控制主板与所述滑动电机、感应器以及吸泵之间设有电路线连接。
8.为了方便工作人员操作，本实用新型改进有，所述控制柱设有指示灯以及按键，所述指示灯以及按键均安装在所述控制柱的一侧，所述控制主板与所述指示灯以及按键之间设有电路线连接。
9.为了放置夹持力度过大损害物料，本实用新型改进有，所述感应器的外侧设有橡
胶层。
10.为了防止物料在清洗时等工序中泼溅腐蚀该橡胶层，本实用新型改进有，所述橡胶层的材质为软质橡胶，且所述橡胶层的外面涂有防腐漆。
11.为了防止夹持过程中物料滑动，影响正常夹持，本实用新型改进有，所述橡胶层的外侧设有防滑纹。
12.为了增加摩擦力度，本实用新型改进有，所述防滑纹的形状为井字防滑纹。
13.为了防止灰尘进入内部，本实用新型改进有，所述吸附口的顶端设有防尘网，所述防尘网上设有吸附孔，所述吸附孔贯穿所述防尘网。
14.为了增加该防尘网的使用寿命，本实用新型改进有，所述防尘网的类型为金属防尘网，添加有铝合金材质。
15.(三)有益效果
16.与现有技术相比，本实用新型提供了一种固定牢固的掩膜板夹持机构，具备以下有益效果：
17.该固定牢固的掩膜板夹持机构，将掩膜板放置到放置板上，通过滑动电机带动滑块在滑槽上进行移动，使感应器抵在掩膜板的一侧，通过四个不同方向的感应器进行感应掩膜板，当移动困难时感应器立刻控制滑动电机停止运行，防止对掩膜板造成损伤，通过吸泵将吸附口上方的空气进行吸压，通过排气口进行排出空气，使掩膜板固定在放置板上，操作简单，紧固牢固，方便工作人员使用，不会对掩膜板造成损伤。
附图说明
18.图1为本实用新型结构示意图；
19.图2为本实用新型夹持状态结构示意图；
20.图3为本实用新型图1中滑板的结构正视半剖图；
21.图4为本实用新型图1中滑板的结构俯视半剖图；
22.图5为本实用新型图1中控制柱的结构正视半剖图。
23.图中：1、放置板；2、控制柱；3、滑板；4、滑槽；5、滑块；6、紧固块；7、滑动电机；8、吸附口；9、吸泵；10、排气口；11、指示灯；12、按键；13、控制主板；14、掩膜板；15、感应器；16、橡胶层。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
25.请参阅图1
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5，本实用新型为一种固定牢固的掩膜板夹持机构，包括放置板1，所述放置板1包括控制柱2以及滑板3，所述滑板3安装在所述放置板1的四周，所述滑板3设有滑槽4，所述滑槽4位于所述滑板3的顶端，所述滑槽4设有滑块5，所述滑块5的顶端设有紧固块6，所述紧固块6的内部设有滑动电机7，所述滑动电机7与所述滑块5之间设有电路线连接，所述紧固块6与紧固块6相对一侧设有感应器15，所述控制柱2安装在所述放置板1的底端，
所述控制柱2包括吸泵9以及控制主板13，所述吸泵9以及控制主板13均安装在所述控制柱2的内部，所述吸泵9的顶端设有吸附口8，所述吸附口8连通所述放置板1，所述吸泵9的底端设有排气口10，所述排气口10连通所述控制柱2，所述吸泵9连通所述吸附口8以及排气口10，所述控制主板13与所述滑动电机7、感应器15以及吸泵9之间设有电路线连接。
26.综上所述，该固定牢固的掩膜板夹持机构，在使用时，工作人员将掩膜板14放置到放置板1上，将该夹持机构接入电源，通过控制主板13开启该夹持机构，控制主板13通过电路线控制吸泵9、感应器15以及滑动电机7，滑动电机7通过电路线控制滑块5，滑块5在滑板3的滑槽4上带动紧固块6进行移动，当感应器15感应到掩膜板14时进行检测推动力度，通过四个不同方向的感应器15进行感应掩膜板14，当移动困难时感应器15立刻通过电路线将信息传输到控制主板13上，控制主板13通过电路线控制滑动电机7停止运行，防止对掩膜板14造成损伤，通过吸泵9将吸附口8上方的空气进行吸压，通过排气口10进行排出空气，使掩膜板14固定在放置板1上，操作简单，紧固牢固，方便工作人员使用，不会对掩膜板14造成损伤。
27.本实施例中，所述控制柱2设有指示灯11以及按键12，所述指示灯11以及按键12均安装在所述控制柱2的一侧，所述控制主板13与所述指示灯11以及按键12之间设有电路线连接，方便工作人员操作。
28.本实施例中，所述感应器15的外侧设有橡胶层16，放置夹持力度过大损害物料。
29.本实施例中，所述橡胶层16的材质为软质橡胶，且所述橡胶层16的外面涂有防腐漆，防止物料在清洗时等工序中泼溅腐蚀该橡胶层。
30.本实施例中，所述橡胶层16的外侧设有防滑纹，防止夹持过程中物料滑动，影响正常夹持。
31.本实施例中，所述防滑纹的形状为井字防滑纹，增加摩擦力度。
32.本实施例中，所述吸附口8的顶端设有防尘网，所述防尘网上设有吸附孔，所述吸附孔贯穿所述防尘网，防止灰尘进入内部。
33.本实施例中，所述防尘网的类型为金属防尘网，添加有铝合金材质，增加该防尘网的使用寿命。
34.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。