固体氧化物燃料电池的组装部分以及其检查方法与流程

固体氧化物燃料电池的组装部分以及其检查方法
1.相关申请的交叉引用本技术根据35 u.s.c.
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119(e)要求于2018年12月17日提交的美国专利申请序列号16/221,852的优先权，该案的全部公开内容都通过引用并入本文。


背景技术：

2.本说明书的实施例一般涉及固体氧化物燃料电池的检查，并且更具体地涉及固体氧化物燃料电池的组装部分以及检查固体氧化物燃料电池的组装部分的方法。
3.电化学电池（诸如固体氧化物燃料电池（sofc））在高效率和低排放的情况下将化学能转换为电能。在固体氧化物燃料电池（sofc）中，阴极还原气封电解质的一侧上的氧并且向电解质供应氧离子。电解质促进氧离子在高温下向阳极传导，其中，离子氧化并且与氢反应形成水。由此生成的电子通过连接到阳极和阴极的电阻负载来传导，以执行工作。
4.使用传统陶瓷烧结技术制造的阳极支撑sofc受到最大可制造电池大小的限制。进一步地，基于烧结的制造设备需要大的资本投入。金属互连件支撑sofc可以利用热喷涂沉积来沉积活性层，并且提供各种制造优势以及坚固设计。在常规的检查sofc的方法中，制成的sofc形成在堆叠中，并且这种sofc堆叠是针对流体泄露和效率而被检查的。一些已知的检查sofc的方法包括非破坏性电化学测试。然而，非破坏性电化学测试方法需要高温测试配置和密封，它们可以承受高温并且随后可以以非破坏性的方式移除。例如，检测烧结的sofc中的缺陷要求在测试前进行高温处理以烧结。相似地，检测通过熔化sofc堆叠中的玻璃而形成的互连密封件中的泄露要求进行高温处理来熔化玻璃。要求检测前进行高温热处理不期望地增加了成本和循环时间。成像技术（诸如显微技术、立体显微技术和图像分析）以及染色渗透剂的使用是不期望的，因为成像技术在sofc的制造期间通常是笨拙和昂贵的。


技术实现要素：

5.在一个方面中，公开了一种检查固体氧化物燃料电池（sofc）的组装部分的方法。该方法包括：向流体施加气动约束，其中，流体与sofc的组装部分连通；响应于气动约束确定sofc的组装部分的质量控制参数；以及基于质量控制参数判断sofc的组装部分的健康，其中，sofc的组装部分包括金属互连件，该金属互连件包括流场。
6.在另一个方面中，公开了一种在sofc的制造期间重复检查固体氧化物燃料电池（sofc）的组装部分的方法。该方法包括：向流体施加气动约束，其中，流体与sofc的组装部分连通；响应于气动约束确定sofc的组装部分的质量控制参数；以及基于质量控制参数判断sofc的组装部分的一个或多个顺序建立的层的健康，其中，sofc的组装部分包括金属互连件，该金属互连件包括流场，并且sofc包括歧管，该歧管与sofc的组装部分流体连通。
7.在又一个方面中，公开了一种中间固体氧化物燃料电池（sofc）。该中间sofc包括组装部分和歧管。组装部分包括金属互连件，该金属互连件包括流场。而且，歧管配置为与组装部分流体连通。
附图说明
8.当参照附图阅读以下详细描述时，本说明书的这些和其他特征、方面和优点将得到更好的理解，在附图中，相同的字符在整个图中都表示相同的部分。
9.图1图示了根据本说明书的一些实施例的在逐层组装方法中形成sofc的步骤；图2a是根据本说明书的一些实施例的中间sofc的横截面图，其中，中间sofc包括金属互连件作为组装部分；图2b是根据本说明书的一些实施例的中间sofc的横截面图，其中，中间sofc包括金属互连件和第一沉积层作为组装部分；图2c是根据本说明书的一些实施例的中间sofc的横截面图，其中，中间sofc包括金属互连件、第一沉积层和第二沉积层作为组装部分；图2d是根据本说明书的一些实施例的中间sofc的横截面图，其中，中间sofc包括金属互连件、第一沉积层、第二沉积层和第三沉积层作为组装部分；图2e是根据本说明书的一些实施例的中间sofc的横截面图，其中，中间sofc包括金属互连件、第一沉积层、第二沉积层、第三沉积层和第四沉积层作为组装部分；图2f是根据本说明书的一些实施例的中间sofc的横截面图，其中，中间sofc包括金属互连件、第一沉积层、第二沉积层、第三沉积层、第四沉积层和第五沉积层作为组装部分；图2g是根据本说明书的一些实施例的中间sofc的横截面图，其中，中间sofc包括金属互连件、第一沉积层、第二沉积层、第三沉积层、第四沉积层、第五沉积层和第六沉积层作为组装部分；图2h是根据本说明书的一些实施例的中间sofc的横截面图，其中，中间sofc包括金属互连件、第一沉积层、第二沉积层、第三沉积层、第四沉积层、第五沉积层、第六沉积层和第七沉积层作为组装部分；图2i是根据本说明书的一些实施例的图2b的中间sofc的替代实施例的横截面图，其中，中间sofc包括金属互连件和第一沉积层作为组装部分；图3是根据本说明书的一些实施例的图2a至图2i的代表sofc的俯视图；图4是根据本说明书的一些实施例的用于检查sofc的组装部分的系统的示意图；图5是根据本说明书的一些实施例的用于检查图2a的中间sofc的组装部分的系统的横截面图；图6是根据本说明书的一些实施例的用于检查图2a的中间sofc的组装部分的另一个系统的横截面图；图7是根据本说明书的一些实施例的用于检查图2b的中间sofc的组装部分的系统的横截面图；图8是根据本说明书的一些实施例的用于检查图2b的中间sofc的组装部分的另一个系统的横截面图；图9是根据本说明书的一些实施例的用于检查图2c的中间sofc的组装部分的系统的横截面图；图10是根据本说明书的一些实施例的用于检查图2c的中间sofc的组装部分的另一个系统的横截面图；
图11是根据本说明书的一些实施例的用于检查图2d的中间sofc的组装部分的系统的横截面图；以及图12是根据本说明书的一些实施例的用于检查图2d的中间sofc的组装部分的另一个系统的横截面图。
具体实施方式
10.本说明书的一个或多个具体实施例在下文中进行描述。为了提供这些实施例的简明描述，实际实施方式的所有特征可能不会在本说明书中进行描述。应当认识到，在任何这样的实际实施方式的开发中，如在任何工程或设计项目中，为了实现开发人员的具体目标，必须做出许多实施方式特定的决定，诸如遵守与系统相关和与业务相关的约束，这些约束可能因实施方式的不同而不同。此外，应当认识到，这种开发工作可能是复杂且耗时的，但是尽管如此，对于具有本说明书的利益的普通技术人员来说，也是设计、制作和制造的例行任务。
11.当介绍本说明书的各个实施例的元件时，冠词“一”、“一个”、“该”和“所述”旨在指有一个或多个元件。术语“包括（comprising）”、“包括（including）”和“具有”旨在是包括的，并且指可能有除所列元件之外的其他元件。
12.本说明书提供了金属支撑固体氧化物燃料电池（sofc）和使用气动质量控制来检查sofc的组装部分的方法。本文中所描述的结构和方法解决了本领域中所指出的缺陷，诸如，例如，缺乏正确的、简单的和快速的检查以及基于在堆叠sofc前的检查选择或维修sofc的困难。本文中所描述的结构和方法对在堆叠sofc以形成sofc堆叠之前了解sofc的部分或全部的健康特别有用。具体地，结构和方法对在sofc的制造或组装的各个阶段检查和理解每个sofc的顺序组装的部分的健康有用。
13.为了更清楚和简明地描述和指出主题，以下定义是为特定术语提供的，这些术语贯穿以下描述和所附权利要求使用，除非对特定实施例另有特别说明。“中间sofc”是指处于其制造阶段的sofc单元或制成的sofc。“制成的sofc”是完全构建和可选地固化的单独sofc单元。中间sofc不会遭受超过900摄氏度的温度下的热处理。进一步地，处于其制造阶段的sofc单元是正在构造的单独sofc单元，该单独sofc单元可以包括一个或多个层。正在构造的单独sofc单元的一个或多个层可以可选地在低于900摄氏度的温度下进行固化。制成的sofc也不会在超过900摄氏度的温度下进行烧结。“单独sofc单元”是在堆叠形成sofc堆叠前的sofc的单个单元。制成的sofc是为堆叠准备的，就像作为sofc堆叠中的重复单元一样。两个或两个以上的制成的sofc可以堆叠以形成sofc堆叠。如本文中所使用的，“sofc的操作”是指sofc堆叠中制成的sofc的操作。
14.进一步地，如本文中所使用的，sofc的“组装部分”包括中间sofc的一个或多个层，其中，层在原位提供、组装或构建以最终形成sofc。sofc的组装部分可以不包括sofc的周边部件，这些周边部件是为了将流体输送到组装部分或促进sofc的堆叠和操作而构建或组装的。组装部分的检查包括sofc的组装部分的任何一层或一个以上的层的检查。进一步地，组装部分的检查可以在任何制造阶段或在制造单独sofc单元后执行。
15.sofc的“顺序组装的部分”是由连续的逐层沉积方法产生的组装部分。术语“顺序组装的部分”和“顺序制造的组装部分”在本说明书中可互换使用。“顺序制造的sofc”是由
顺序组装的部分产生的sofc。
16.气动特性，诸如，例如，流体的透过性（替代地渗透性）或流动阻力，可以用于监控sofc的一个或多个层的健康，其中，sofc通常是顺序制造的。进一步地，sofc的气动特性和性能之间的关系可以用于在堆叠之前预测sofc的性能。如将认识到的，sofc的不同层的气动性能与每个sofc的未来性能相关。因此，确定每个sofc的一个或多个层的气动性能会提供关于该sofc的未来健康的预断。根据诊断和/或预断，如果发现sofc有缺陷，则可以在堆叠sofc之前做出关于sofc的移除或维修的先发制人的确定。关于sofc的移除或维修的先发制人的确定确保所产生的sofc堆叠是由无缺陷的sofc制成的。本文中所讨论的独特方法允许在制造期间和/或在堆叠之前进行sofc的高度可靠的质量控制。
17.在某些实施例中，sofc的组装部分包括金属互连件。金属互连件为sofc提供机械支撑，并且充当用于在构造sofc时沉积进一步的层的基底。金属互连件包括用于通过一种或多种流体的流场。流场包括金属互连件通道，这些通道将诸如燃料或氧化剂的流体分配在sofc的活性区域中。金属互连件可以包括用于向阳极供应燃料的阳极流场、用于向阴极供应氧化剂的阴极流场，或者可以具有阳极流场和阴极流场两者。在一些实施例中，为了检查sofc的组装部分，可以密封金属互连件的流场。例如，金属互连件的流场可以使用涂层（诸如热喷涂涂层）来密封。金属互连件支撑sofc与用于密封流场的热喷涂涂层组合用于测量流场通道和在其上沉积的任何涂层的气动特性。sofc制造的顺序性质使得能够测量与sofc的不同层对应的一组相似的一个或多个特性。因此，与sofc的不同层对应的一组相似的一个或多个特性可以在sofc的制造过程的不同阶段测量。
18.检查组装部分的方法的实施例使用与组装部分连通的流体。方法包括：向与组装部分连通的流体施加气动约束；响应于所施加的气动约束确定sofc的组装部分的质量控制参数；以及基于质量控制参数判断组装部分的健康。
19.sofc包括阳极、阴极和设置在阳极和阴极之间的电解质。sofc进一步包括金属互连件，以用于支撑阳极、电解质和阴极的构建层。进一步地，金属互连件也用作机械支撑，以用于联结或堆叠独立sofc以形成sofc堆叠，从而增加来自sofc堆叠的功率输出。通常，在sofc堆叠中，玻璃层用作sofc的电解质与相邻sofc的金属互连件之间的密封件。sofc可以可选地包括屏障层，以用于防止金属互连件与玻璃层发生不期望的化学反应。sofc还可以可选地包括设置在sofc的阴极与相邻sofc的金属互连件之间的阴极互连涂层。
20.在某些实施例中，在sofc的制造期间，第一电极（例如，阳极）、电解质、第二电极（例如，阴极）和密封玻璃的层可以按顺序接连沉积在基底上。另外，可以在这些层的沉积之间添加可选涂层，以最小化或消除一个或多个相邻层之间的退化的发生，这种退化可能对sofc的性能产生不利影响，并且可能减少具有该sofc的sofc堆叠的商业寿命。使用顺序制造步骤在金属互连件上沉积各种层的单一制造线导致用于制造金属互连件支撑sofc的独立单元的简化过程。
21.根据本说明书的一些方面的用于顺序制造金属互连件支撑sofc的步骤在图1的方法100中进行说明。在步骤110中，提供金属互连件基底。金属互连件可以具有一个或多个流场。在一些实施例中，金属互连件支撑sofc是具有平面金属互连件的平面sofc。进一步地，平面金属互连件具有彼此平行设置的阳极流场和阴极流场的平面。平面金属互连件为sofc提供改进的韧性和耐久性。歧管可以与金属互连件集成。歧管通过使流体通过金属互连件
的一个或多个流场来提供用于供应流体的路径，该流体用于检查组装部分的一个或多个层。在组装部分的检查期间，可以密封歧管或歧管的一部分。另外，压力施加设备可以用于控制流体流。而且，测量设备可以用于测量质量控制参数。
22.在图1的步骤120中，在金属互连件的阳极流场上沉积阳极层。而且，在步骤130中，在阳极层上沉积电解质层。在步骤140中，可能有附加电解质的可选沉积。此外，在步骤150中，可以在金属互连件的阴极流场上设置可选阴极互连涂层。如果附加电解质存在，则可以在电解质层上或在可选附加电解质上沉积阴极层，如步骤160所示。
23.在步骤170中，可以在金属互连件的非活性区域上沉积可选屏障层。进一步地，在步骤180中，如果可选屏障层不存在，则可以在可选屏障层或直接在金属互连件的非活性区域上沉积密封玻璃层。应当认识到，在不改变单独层的实际顺序的情况下，可以改变层的沉积顺序。例如，可选阴极互连涂层可以在基底形成后的任何时间沉积。进一步地，阴极可以在可选屏障层沉积步骤170后或在玻璃层沉积步骤180后沉积。这些变化的过程被视为图1中所描绘的过程的部分。图1的顺序制造过程导致制成的sofc。可以注意到，sofc可以进一步遭受附加固化或烧结步骤。然而，本文中所呈现的方法的实施例不需要附加固化或烧结步骤。可以进一步注意到，在方法100的各个步骤中向金属支撑组装部分施加的处理温度不超过sofc的操作温度，该操作温度通常在700摄氏度到900摄氏度之间。
24.此外，可以注意到，制成的sofc已经准备好部署，就像构建sofc堆叠一样。可以进一步注意到，sofc堆叠可以通过使用制成的sofc作为重复单元来构建，而不使用任何其他附加部件来形成sofc堆叠。制成的sofc的每个重复单元在sofc堆叠的操作期间都向sofc堆叠提供增量电压。
25.在sofc堆叠的操作期间与每个单独的制成的sofc相关联的增量电压是sofc的一个或多个特性的函数。设计特定的性能，诸如跨sofc的流场的透过性和与燃料或氧化剂（例如，空气）相关联的压降，可能会改变sofc堆叠的总体操作电压。因此，期望调整sofc的阳极和阴极渗透性，来平衡sofc的质量输运极化、活化极化、导电率和机械特性。进一步地，期望有电解质渗透性的足够低的值，以获得sofc堆叠的高开路电压和负载下的高操作电压。此外，金属互连件中的阳极流场和阴极流场之间期望有高气密性。阳极流场和阴极流场之间的高气密性有助于减少sofc堆叠中的操作电压损失。
26.sofc包括组装部分，并且sofc的组装部分包括金属互连件。例如，在步骤110中作为基底提供的金属互连件是sofc的组装部分。在该实施例中，组装部分缺乏任何其他层。在一些实施例中，sofc的组装部分包括sofc的一个或多个顺序构建的层，这些层由图1中所描绘的制造步骤产生。在一些实施例中，除了组装部分之外，sofc进一步包括歧管，该歧管与sofc的组装部分流体连通。当静态或流动的流体存在于歧管和组装部分之间时，认为流体连通/连接是在歧管和组装部分之间建立的。歧管和组装部分之间的流体连通有助于检查组装部分。在某些实施例中，sofc可以联接到密封件。密封件可以在sofc结构的外部，并且是为了促进组装部分和歧管之间的流体连通而被提供的。可以认识到，在一些实施例中，密封件只有在组装部分的检查期间才可以被暂时提供。
27.检查sofc的组装部分包括：针对缺陷，检查基底，检查在基底上构建的一个或多个层或联合检查基底和在基底上构建的一个或多个层。组装部分的缺陷可以包括许多瑕疵，包括，但不限于，组装部分的任何一个或多个层中的不期望的孔或裂缝、薄弱部位、任何穿
孔或任何尺寸的偏差或其任何组合。可能影响金属互连件的健康的缺陷的示例包括，但不限于，钎焊缺陷和金属互连件的金属板的不对准，这种不对准在制成的sofc的操作期间可能导致泄漏。例如，当金属板联结以形成金属互连件时，金属板的不对准可能发生。组装部分中的缺陷可能导致制成的sofc的性能在操作期间下降。例如，一旦sofc被组装成sofc堆叠以产生功率，基底中的缺陷便可能会对包括该基底的制成的sofc的性能产生不利影响。
28.图2a至图2i图示了中间sofc的不同实施例的横截面图。如前所述，中间sofc是处于构建或制造阶段的sofc结构或制成的sofc。图2a至图2g和图2i图示了处于对应制造阶段的sofc的各个实施例。而且，图2h图示了制成的sofc。可以注意到，图2b至图2i中的sofc的一个或多个层可能已经遭受一些固化处理。然而，这些层可能还没有遭受任何烧结处理或暴露于高于传统的sofc操作温度的温度。更具体地，固化或其他热处理过程可以在低于约900摄氏度的温度下进行。在一些实施例中，采用本文中所讨论的检查方法来检查中间sofc的组装部分。在其他实施例中，检查方法还可以应用于检查任何sofc的一个或多个组装部分。
29.图2a图示了包括平面金属互连件210的中间sofc 201的横截面图。金属互连件210可以用作基底，该基底用于在构建sofc时沉积其他层。中间sofc 201包括组装部分215和端部部分216。在图2a中，中间sofc 201的组装部分215包括具有流场212的金属互连件210。在图2a中所示的实施例中，组装部分只包括金属互连件210。可以认识到，中间sofc 201的端部部分216是金属互连件210的延伸部分。歧管220形成在中间sofc 201的组装部分215和端部部分216之间。歧管220配置为通过气室218与金属互连件210的流场212流体连通。因此，在组装部分的检查期间，流体可以通过气室从歧管220到流场212。
30.如前所述，在组装部分215的形成期间，端部部分216可以形成为至组装部分215的延伸。替代地，在中间sofc 201的制造期间，端部部分216可以单独形成并且附接到组装部分215。在某些实施例中，端部部分216也使用与金属互连件210相同的材料来形成。在图2a中所示的示例实施例中，中间sofc 201是整体制造的，其具有组装部分215和延伸端部部分216两者。进一步地，组装部分215和端部部分216两者均由相同的金属材料制造。在该示例中，中间sofc 201还包括用于形成歧管220的孔、充当气室218的通路和充当流场212的通道。
31.此外，图2a进一步图示了组装部分215的表面上的活性区域225。活性区域225是组装部分215的表面促进sofc 201中的功率的生成的区域。活性区域225通常垂直于具有平面金属互连件的sofc中的电子的运动。金属互连件210不包括活性区域225的表面区域可以被视为组装部分215的非活性区域227。例如，在图2a中，金属互连件210被流场212覆盖的表面区域是活性区域225，并且金属互连件210的位于流场212和歧管220之间的表面区域是组装部分215的非活性区域227。
32.流场212可以是第一流场。第一流场212位于金属互连件210的第一表面211上。在这些实施例中的一些实施例中，金属互连件210还包括第二流场214，该第二流场214设置在金属互连件210的第二表面213上。在具有平面金属互连件210的sofc中，第一表面211和第二表面213可以作为金属互连件210的相对表面被定位。在一些实施例中，第一流场212是阳极流场，并且第二流场214是阴极流场。歧管220可以有一个以上的不同的互连通道以与第一流场212和第二流场214独立地流体相互作用。在组装部分215的检查期间，歧管220可以
配置为与一个或两个流场212和214流体连通。
33.中间sofc 201可以包括第二气室（图2a中未示出），以在歧管220和第二流场214之间建立流体连通。在一些实施例中，第二气室可以在垂直于第一气室218和中间sofc 201中的电子运动的方向的方向上。
34.在歧管220配置为与第一流场212和第二流场214两者流体连通的情况下，可以控制在sofc 201的检查或操作期间的流体流，使歧管220和第一流场212之间只有流体连接或歧管220和第二流场214之间只有流体连接。替代地，歧管220和第一流场212之间存在一个流体连接，并且歧管220和第二流场214之间存在另一个流体连接。在一个示例中，在sofc堆叠的操作期间，阳极流场携带燃料气体，并且阴极流场携带氧化剂以进行电化学反应。为了sofc堆叠的高效操作，燃料流场和氧化剂流场被分离和密封，以防止燃料和氧化剂的混合。进一步地，歧管220可以具有独立且不同的部件，以与第一流场212和第二流场214建立不同的流体连通。
35.如前所述，在图2a的示例实施例中，组装部分215只包括金属互连件210。在该实施例中，金属互连件210可以使用第一流场212、第二流场214或金属互连件210的两个流场212和流场214来检查。在使用两个流场212和流场214检查金属互连件210期间，第一流场212中所使用的流体可以与第二流场214中所使用的流体相同或不同。例如，在具有作为第一流场212的阳极流场和作为第二流场214的阴极流场的实施例中，在第一流场212或第二流场214中的任何一个中，可以使用氦气、氮气或操作特定的流体（诸如燃料或空气）来检查金属互连件210。金属互连件210中的缺陷可以导致流场212、214中的任何一个或两个中的流体流减少或衰减或流体从一个流场212/214到另一个流场214/212的任何交叉运动。
36.图2b图示了中间sofc 202的另一个实施例的横截面图。中间sofc 202的组装部分215包括沉积在金属互连件210的第一流场212上的第一沉积层230。在一些实施例中，第一流场212是阳极流场，并且第一沉积层230包括沉积在阳极流场上的阳极的一个或多个层。在一些实施例中，第一沉积层230只沉积在覆盖第一流场212的活性区域225中，而不会沉积在非活性区域227中，如图2b中所示。进一步地，第一沉积层230也不是端部部分216的一部分。因此，在图2b中，虽然活性区域225包括金属互连件210和第一沉积层230两者，但是非活性区域227和端部部分216仅由金属互连件210的材料形成，而不包括第一沉积层230的材料。替代地，在一些其他实施例中，第一沉积层230可以沉积在第一流场212上，并且也可以沉积在金属互连件210的非活性区域227上，如图21中所示的中间sofc 209中所示。
37.此外，在阳极是第一沉积层230的实施例中，第一沉积层230可以被定制为具有在确定工作范围内的渗透性。沉积阳极的渗透性可以使用本文中所描述的检查方法来测量。渗透性与确定工作范围的偏差可以被视为第一沉积层230中的缺陷。第一沉积层230的测量渗透性与在因此产生的制成的sofc的操作期间由第一沉积层230产生的层的渗透性相关。
38.图2c图示了中间sofc 203的又一个实施例的横截面图。中间sofc 203的组装部分215包括第二沉积层240。在某些实施例中，第二沉积层240沉积在第一沉积层230上。而且，第二沉积层240可以被沉积，使得第二沉积层240覆盖活性区域225和非活性区域227两者。进一步地，如图2c的示例实施例中所示，端部部分216还可以包括第二沉积层240的材料的涂层。在某些实施例中，第二沉积层240是电解质。在一些进一步的实施例中，第二沉积层240是具有钇稳定的氧化锆作为电解质的材料的电解质。第一沉积层230、第二沉积层240和
金属互连件210中的一个或多个可以被检查，以检测图2c中所示的中间sofc 203的组装部分215中的第二沉积层240中的缺陷。
39.在第一沉积层230是阳极并且第二沉积层240是电解质的实施例中，第二沉积层240可以被定制为具有在确定工作范围内的密度。通常，电解质配置为具有高于阳极的密度的密度。具有较高密度的第二沉积层240有助于在因此产生的制成的sofc的操作期间向与第一流场212连通的流体提供良好的密封。组装部分215的透过性可以使用本文中所呈现的检查方法来测量。测量的透过性值可以用于推断第二沉积层240的密度或渗透性。在某些实施例中，渗透性或密度的推断是使用前面测量的特性的值（诸如第一沉积层230的透过性值）来完成的。
40.图2d图示了中间sofc 204的又一个实施例的横截面图。中间sofc 204的组装部分215包括设置在第二沉积层240上的第三沉积层250。在一些实施例中，第三沉积层250是可选的第二电解质。而且，在某些实施例中，第二电解质包括钆掺杂的氧化铈或钐掺杂的氧化铈。在一些实施例中，第三沉积层250包括钇稳定的氧化锆材料，其微观结构与第二沉积层240中所存在的不同。在一些进一步的实施例中，第三沉积层250包括具有改进微观结构的钇稳定的氧化锆和钆掺杂的氧化铈或钐掺杂的氧化铈。
41.第三沉积层250可以完全覆盖活性区域225，并且最终在电解质层和可以沉积在第二电解质上的阴极之间形成物理屏障。在图2d的示例实施例中，第三沉积层250也沉积在非活性区域227中。进一步地，第三沉积层240也是端部部分216的部分。包括钇稳定的氧化锆和/或钆或钐掺杂的氧化铈的电解质的一个或多个层的沉积也可以增加电解质层的总体密度，并且在中间sofc 204的检查或因此产生的制成的sofc的操作期间，也可以为与第一流场212连通的流体提供气密密封。第三沉积层250和/或之前沉积的层和金属互连件210中的一个或多个可以如上所述进行检查。
42.图2e图示了中间sofc 205的另一个实施例的横截面图。中间sofc 205的组装部分215包括第二流场214上的第四沉积层260。在一些实施例中，流场214是阴极流场，并且第四沉积层260是可选的阴极互连。可选的阴极互连260可以减少金属互连件210和可以与第二流场214接触的阴极之间的任何不期望的反应。这种不期望的反应包括操作期间来自金属互连件210的铬挥发和随后的阴极中毒，这可能减少或降低sofc 205的操作电压。可以用于形成第四沉积层260的典型材料包括，但不限于，锰、钴、铁、铬或其组合。第四沉积层260的材料的示例也可以包括锰、钴、铁和铬中的一个或多个的氧化物。在图2e中所示的实施例中，阴极互连只沉积在活性区域225中，以覆盖阴极流场214。阴极互连不沉积在非活性区域227上。第四沉积层260的检查通过使第二流场214中的流体通过来进行。
43.图2f图示了中间sofc 206的又一个实施例的横截面图。中间sofc 206的组装部分215包括第五沉积层270，如果第三沉积层250存在，则该第五沉积层250沉积/设置在该第三沉积层250上。在其他实施例中，第五沉积层270可以设置在第二沉积层240上。第五沉积层270可以包括阴极的一个或多个层。阴极材料可以包括，但不限于，包含镧、锶、钴、铁、锰或其组合的钙钛矿材料。阴极层还可以包括离子导体，诸如钇稳定的氧化锆或钆掺杂的氧化铈。在一些实施例中，阴极只沉积在电解质上的活性区域225中。因此，在图2e中所示的实施例中，第五沉积层270不沉积在非活性区域227上。而且，第五沉积层270不沉积在端部部分216上。
44.图2g图示了中间sofc 207的另一个实施例的横截面图。中间sofc 207的组装部分215图示了可选的第六沉积层280，该层设置在阴极流场214的一侧上的金属互连件210的非活性区域227上。在图2g所示的实施例中，第六沉积层280也沉积在端部部分216上。在一些实施例中，第六沉积层280是屏障层，该屏障层配置为限制或禁止金属互连件210与玻璃层的不期望的相互作用，该玻璃层可以以另外的方式沉积在金属互连件210的非活性区域227上。用于形成屏障层280的材料可以包括，但不限于，氧化铝、钇稳定的氧化锆、磷酸铝材料或其组合。
45.图2h图示了中间sofc 208的又一个实施例的横截面图。中间sofc 208的组装部分215包括第七沉积层290，如果第六沉积层280存在，则该第七沉积层290沉积在该可选的第六沉积层280上。可选地，第七沉积层290可以设置在金属互连件210的非活性区域227上。在一些实施例中，第七沉积层290是玻璃层，该玻璃层配置为在堆叠期间用相邻sofc的电解质来密封金属互连件210。玻璃层配置为防止在操作期间流体从sofc堆叠泄露，并且也防止可能存在于歧管220的不同部件处的两种或两种以上的流体的混合。
46.图2i的中间sofc 209是图2b的中间sofc 202的替代实施例。中间sofc 209图示了第一沉积层230的替代配置中的一个，该第一沉积层230适合使用本文中所描述的方法构建sofc并且检查中间sofc 209的组装部分215。在图2i的示例实施例中，第一沉积层230也沉积在非活性区域227中并且沉积在端部部分216上。在图2i的实施例中，包括第一沉积层230的组装部分215可以是针对中间sofc 209中的缺陷而被检查的。在某些实施例中，组装部分215的第一沉积层230和金属互连件210两者可以被检查，以检测第一沉积层230中的缺陷。
47.图3提供了在图2a至图2i的任何sofc的横截面图中表示的中间sofc 300的俯视图。在图3中，sofc 300包括组装部分215、端部部分216和歧管220。歧管220具有四个不同的部件222、224、226和228，这些部件被构建为在检查和操作期间向组装部分215供应流体。歧管部件222和226存在于组装部分215的相对侧上，并且连接到第一流场212（图3中未示出）。而且，歧管部件222可以配置为歧管220到第一流场212的进口侧，并且歧管部件226可以配置为歧管220到第一流场212的出口侧。此外，在该实施例中，歧管部件224和228存在于sofc 300的组装部分215的其他相对的两侧上，并且连接到第二流场214（图3中未示出）。在一些其他实施例中，歧管部件224和228存在于sofc 300的组装部分215的相同侧上，并且第二流场214与第一流场212平行。在一个示例中，歧管部件222、226可以是歧管220连接到阳极流场212的部件，并且歧管部件224、228可以是歧管220连接到阴极流场214的部件。歧管的部件222、226的这种布置允许燃料与歧管220和阳极流场212连通。相似地，歧管部件224、228的布置允许氧化剂与歧管220和阴极流场214连通。
48.根据本说明书的方面，检查sofc的组装部分的方法包括向与组装部分流体连通的流体施加气动约束。可以使用歧管向组装部分供应流体。向与组装部分流体连通的流体施加气动约束包括保持流体处于高于环境压力的压力下。在一些实施例中，也可以保持流体处于低于环境压力的压力下，包括保持流体处于真空下。进一步地，向与组装部分流体连通的流体施加气动约束包括使流体以恒定的流速流动以与sofc的组装部分连通。控制流体以将流体保持在一定的压力下或以恒定的流速通过可能在歧管中的一个或多个点处需要密封件。因此，在一些实施例中，歧管联接到外部密封件，以调节与sofc的组装部分的流体连通。
49.图4是可以用于使用检查子系统420来检查sofc 410的组装部分的系统400的示意图。具体地，系统400包括连通联接到sofc 410的检查子系统420。sofc 410包括图2a至图2i中所呈现的任何中间sofc中所表示的组装部分215和端部部分216两者。检查子系统420可以包括流体、针对sofc 410的结构增强、附加部件、测量探头或设备，它们可以与sofc 410一起用于检查sofc 410。
50.图5是用于检查图2a中所示的中间sofc 201的组装部分215的系统500的横截面图。系统500配置为通过使用检查子系统来检查中间sofc 201。例如，图5中所示的附加部件、流体和设备是检查子系统的部件。如前所述，在图2a的实施例中，sofc 201的组装部分是金属互连件210。检查金属互连件210需要检查活性区域225中的流场部分或金属互连件210的任何其他部分（诸如，例如，在第一流场212和第二流场214之间的基础部分）的结构完整性。中间sofc 201还包括端部部分216和歧管220。在图5的实施例中，除了中间sofc 201，系统500还包括密封件530，该密封件用于调节金属互连件210和歧管220之间的流体连通。密封件530是用于检查中间sofc 201的检查子系统的一部分。而且，密封件530应用于金属互连件210处于歧管220的进口侧歧管部件222和出口侧歧管部件226两者处的两个表面。密封件530还应用在金属互连件210的活性区域225中的第一流场212上，以防止流体从活性区域225中的第一流场212流向环境。
51.在图5中，密封件530通常在歧管220的端部点处指示，并且也在第一流场212上指示。然而，可以认识到，应用在第一流场212上的密封件可以是或可以不是由与应用于歧管220的端部点的密封件相同的材料制成。在一些实施例中，垫圈用作歧管220的端部点中的密封件530。垫圈应用在歧管部件222和226上并且围绕活性区域225。在这些实施例中，第一流场212上的密封件530可以与垫圈不同。在图5的示例实施例中，应用在第一流场212上的密封件530是应用在流场212上的涂层。在某些实施例中，涂层可以被热喷涂在流场212上，并且可以包括电极材料、电解质材料或其组合。
52.流体520通过歧管220被供应给金属互连件210。流体520是检查子系统的部分。流体520可以储存在罐（图5中未示出）中并且通过泵（图5中未示出）被供应给中间sofc 201的金属互连件210。而且，流体520通过气室218与第一流场212连通。为了检查组装部分215，向流体520施加气动约束。向图5、图7、图9和图11中所示的系统中的任何一个的流体520施加气动约束可以包括保持与组装部分215连通的流体520处于高于或低于环境压力的压力下。流体520可以使用压力施加设备540（诸如泵）来保持处于高压下。在某些实施例中，所施加的压力的值可以保持在恒定值。在某些实施例中，如果金属互连件210中有缺陷并且因为缺陷而发生泄露，则尽管最初向流体施加恒定压力，与组装部分215连通的流体的压力也可能会因为泄露而随时间降低。在这种实施例中，即使所施加的压力值不是恒定值，流体上的压力仍保持在高于环境压力值的值。在一些实施例中，与组装部分215连通的流体520的压力可能会变化，同时限制流体520，从而仍然保持压力的值高于环境压力。
53.当向流体520施加气动约束时，测量金属互连件210的一个或多个质量控制参数。在一些实施例中，当向流体520施加单一气动约束时，可以测量两个或两个以上的质量控制参数。在保持流体处于高于环境压力的压力下的同时确定质量控制参数包括确定组装部分215的一个或多个层的泄露率、空间压降或渗透性中的一项或多项。空间压降可以在跨组装部分215的任何点处测量。质量控制参数可以使用压力传感器设备550（诸如压力变换器或
压力计）来测量。压力传感器设备550设置为与检查下的组装部分215连通并且可以四处移动。在某些实施例中，压力传感器设备550设置在出口侧歧管部件226处。压力施加设备540和压力传感器设备550是用于检查sofc 410的检查子系统的部分。
54.在某些实施例中，系统500可以用于检测组装部分215中的流体泄露。另外，在保持与金属互连件210连通的流体处于高于环境压力的压力下的同时可以测量金属互连件210的泄漏率。泄露率可以使用压力传感器设备550来测量。在保持流体520处于高于环境压力的压力下的同时也可以确定金属互连件210的渗透性。
55.进一步地，在保持与组装部分215连通的流体处于高于环境压力的压力下的同时，可以测量跨金属互连件210的流体520中的空间压降（如果有的话）。空间压降可以从进口侧歧管部件222开始测量直到出口侧歧管部件226。施加压力和测量泄漏率、渗透性、空间压降或其组合可以重复执行以识别和评估测量中的任何误差。进一步地，所施加的压力值可以从一个测量到另一个测量变化。例如，可以测量与各种压力值下的恒定施加压力对应的泄漏率，并且可以比较与各种独立测量对应的泄漏率以检查测量的准确性。与基于上述第一流场212的金属互连件210对应的测量也可以使用金属互连件210的阴极流场214以及对应的歧管部件224和228来执行。
56.图6是可以在检查图2a所示的中间sofc 201的组装部分215的另一种方法中使用的系统600的横截面图。在该方法中，密封件530应用于金属互连件210处于歧管220的进口侧歧管部件222的两个表面。密封件530也应用在前面关于图5讨论的金属互连件210的活性区域225中的第一流场212上。在图6的实施例中，没有密封件应用于金属互连件210处于歧管220的出口侧歧管部件226处的一个表面，使得出口侧歧管部件226的一端对环境是开口的。
57.流体520被供应给歧管220，使得流体520与金属互连件210连通。而且，所供应的流体520通过气室218与第一流场212连通。进一步地，使用压力泵610，流体520以恒定流速从进口侧歧管部件222供应给组装部分215。流体520的流速可以使用流量计（图6中未示出）来测量。当流体520以恒定流速供应时，确定质量控制参数需要确定组装部分215中的流体520的空间压降。与组装部分215对应的空间压降可以使用压力传感器620来测量。而且，空间压降可以在进口侧歧管部件222和出口侧歧管部件226之间的组装部分215的不同点处测量。
58.测量到的空间压降在检查金属互连件210时可以用作质量控制参数。例如，在该设置中，在金属互连件210中没有任何缺陷时，预计流体520在给定时间的压力从进口侧歧管部件222到出口侧歧管部件226在空间上是恒定的，而不会产生任何空间压降。可以进行具有相同流速的重复测量和具有不同流速的测量，以判断组装部分215的健康。上述测量也可以使用歧管部件224和228使用金属互连件210的阴极流场214来进行。在一些实施例中，系统500可以转换以形成系统600，并且质量控制参数可以被顺序测量。例如，在使用系统500执行测量后，密封件中的一个可以通风以形成系统600，并且质量控制参数的测量可以被顺序进行。
59.在一些实施例中，除了金属互连件210外，sofc 201的组装部分215还包括电极和/或电解质。在某些实施例中，电极与sofc 201的组装部分215的流场212接触。根据本说明书的方面，电极和/或电解质可以与金属互连件210一起被检查。图7至图12图示了各种系统，这些系统可以用于检查具有一个或多个电极和/或一种或多种电解质的中间sofc。
60.图7、图9和图11包括保持与组装部分215连通的流体520处于高于或低于前面关于图5描述的环境压力的压力下，并且图8、图10和图12包括以恒定流速向组装部分215供应流体520。组装部分215的泄露、泄漏率、透过性或空间压降可以使用图5、图7、图9和图11中所示的系统来确定。图6、图8、图10和图12的系统需要测量跨组装部分215的空间压降。跨组装部分215的任何部分的空间压降可以指示组装部分215的该部分中的缺陷。此外，空间压降的测量使得能够识别缺陷位置和组装部分215中的缺陷的程度。
61.图7是可以用于检查图2b所示的中间sofc 202的组装部分215的系统700的横截面图。第一沉积层230可以使用图7的系统700来检查。第一沉积层230的检查需要向流体520施加气动约束并且确定第一沉积层230和金属互连件210的组合的一个或多个质量控制参数。在某些实施例中，第一沉积层230是阳极。密封件530应用于金属互连件210处于歧管220的进口侧歧管部件222和出口侧歧管部件226的两个表面。为了测量第一沉积层230的渗透性，密封件没有应用在组装部分215的活性区域225中的第一沉积层230上。
62.流体520被供应给歧管220，并且配置为与金属互连件210的第一流场212连通。流体520通过金属互连件210的第一流场212与第一沉积层230接触。此外，所供应的流体520加压到高于环境压力的值。随后，流体泄露、渗透性、空间压降或其组合可以使用系统700来检测和测量。第一沉积层230和金属互连件210的组合的测量到的泄漏率、渗透性或空间压降在检查第一沉积层230时可以用作一个或多个质量控制参数。在一些实施例中，从使用系统500单独执行的与金属互连件210对应的测量获得的质量控制参数可以从自使用系统700进行的测量获得的相应质量控制参数扣除，以确定与第一沉积层230对应的质量控制参数。重复测量可以进行以验证测量值。进一步地，所施加的压力可以从一个测量到另一个测量变化，并且各种压力值下的质量控制参数（诸如泄漏率）可以被获得，以促进与第一沉积层230相关的质量控制参数的准确测量。
63.图8是可以在检查图2b中所示的中间sofc 202的组装部分215的另一种方法中使用的系统800的横截面图。类似于用于检查图6的金属互连件210的方法，在检查图8的第一沉积层230的方法中，密封件530应用于金属互连件210处于歧管220的进口侧歧管部件222处的两个表面。没有密封件应用于金属互连件210处于歧管220的出口侧歧管部件226处的一个表面。因此，出口侧歧管部件226的一端对环境是开口的。
64.流体520被供应给歧管220，并且通过金属互连件210的流场212与第一沉积层230连通。流体520以恒定流速从进口侧歧管部件222供应。在流体520的恒定流速供应的期间，空间压降跨组装部分215测量。空间压降可以在进口侧歧管部件222和出口侧歧管部件226之间的组装部分215上的不同点处测量。测量到的压降在检查组装部分215的第一沉积层230时可以用作质量控制参数。具有相同流速的重复测量和具有不同流速的测量可以被获得，以判断组装部分215的健康。
65.图9是可以在检查图2c中所示的中间sofc 203的组装部分215的方法中使用的系统900的横截面图。系统900可以用于检查第二沉积层240。如前所述，sofc 203的组装部分215包括与第一流场212接触的第一沉积层230。而且，电解质设置在电极上，以密封金属互连件210的流场212。在一个实施例中，第一沉积层230是阳极，并且第二沉积层240是电解质。密封件530应用于歧管220的进口侧歧管部件222和出口侧歧管部件226的两端。没有密封件应用在活性区域225中的第二沉积层240上。
66.流体520被供应给歧管220，并且与金属互连件210的第一流场212连通。流体520通过第一流场212和第一沉积层230与第二沉积层240连通。所供应的流体520加压到某个值，该值高于使用系统900检测和测量的环境压力和流体泄露、渗透性、空间压降或其组合。测量到的泄漏率、渗透性或空间压降可以用作一个或多个质量控制参数，以检查第二沉积层240或第一沉积层230和第二沉积层240的组合。
67.如前所述，sofc的各个层配置为执行对应的定义功能。层的材料和微观结构可以被调整，以适应sofc的各个层的性能。例如，阳极层可以被设置成使得其构造有助于实现与所供应的燃料的期望相互作用。电介质层可以被调整以促进离子的传输。附加电解质可以有助于离子传输，并且也减少燃料泄露到大气。为了迎合组装部分的这些变化的层的检查，在检查sofc的组装部分前，可以确定要向流体施加的气动约束的一组期望范围和针对质量控制参数的一组期望范围。测量到的质量控制参数与该组装部分的预定质量控制参数的比较可以用于判断组装部分的健康。
68.在一些实施例中，在组装部分215包括作为第一沉积层230的阳极和作为第二沉积层240的电解质的情况下，在第二沉积层240不存在的情况下，与对应于具有第一沉积层230的组装部分的相同测量质量控制参数相比，可能期望测量质量控制参数的变化。例如，与中间sofc 202的检查相比，当检查中间sofc 203时，可以期望质量控制参数的变化。测量质量控制参数的变化可以是质量控制参数的期望改进。质量控制参数的期望改进可以包括泄漏率的降低、渗透性的降低、空间压降的降低或其任何组合。在一些实施例中，在质量控制参数是泄漏率的情况下，为中间sofc 203测量的泄漏率比为中间sofc 202测量的泄漏率小2倍到20倍。也就是说，使用系统700为中间sofc 202测量的泄漏率比使用系统900为中间sofc 203测量的泄漏率高2倍到20倍。中间sofc 203中的泄漏率的降低与中间sofc 202中的泄漏率相比是由于第二沉积层240的密度与第一沉积层230的密度相比的增加所致的。
69.图10是可以用于测量图2c中所示的中间sofc 203的组装部分215中的空间压降的系统1000的横截面图。在系统1000中，密封件530应用在一侧上的第二沉积层240和另一侧上的金属互连件210上，从而覆盖进口侧歧管部件222。密封件530还应用在出口侧歧管部件226处的第二沉积层240上。没有密封件应用在歧管220的出口侧歧管部件226处的金属互连件210上。因此，出口侧歧管部件226的一端对环境是开口的。
70.流体520被供应给歧管220，并且与金属互连件210的流场212连通。流体520也通过第一流场212与第二沉积层240连通。流体520以恒定流速从进口侧歧管部件222供应给组装部分215。在流体520的恒定流速供应期间，空间压降跨组装部分215测量。空间压降可以在入口侧歧管部件222和出口侧歧管部件226之间的组装部分215的不同点处测量。测量到的压降可以用作质量控制参数，以检查组装部分215。
71.在图11和图12中分别图示的系统1100和1200可以用于检查图2d中所示的中间sofc 204。中间sofc 204包括第三沉积层250。在一些实施例中，第三沉积层250是沉积在电解质层上的可选的附加电解质。密封件530应用在歧管进口部件222和出口部件226的端部处的第三沉积层250上，如图11和图12中所示。密封件530也应用在金属互连件210上，以覆盖进口侧222和出口侧226，如图11中所示。在图12中，密封件530应用于歧管220到进口侧222的端部部件处的金属互连件210，但是歧管220的出口侧处的流体流不受密封件的限制。泄漏率、电解质涂层渗透性、压降或其任何组合可以使用系统1100和1200来测量。
72.在一些实施例中，第二沉积层240具有包括钇稳定的氧化锆材料的电解质，并且第三沉积层250具有包括钆和/或钐掺杂的氧化铈材料的附加电解质。在这些实施例中，期望附加电解质层250具有比阳极层和电解质层的组合的密度高的密度。因此，与使用系统900检查的中间sofc 203的测量的泄漏率相比，预计使用系统1100测量的中间sofc 204的泄漏率会降低。在一些实施例中，为中间sofc 204测量的泄漏率比为中间sofc 203测量的泄漏率低10倍到800倍。也就是说，使用系统900为中间sofc 203测量的泄漏率比使用系统1100为中间sofc 204测量的泄漏率高10倍到800倍。
73.从在金属互连件210的第二流场214上沉积阴极开始，在层的顺序沉积期间，也可以获得前面关于图7至图12描述的相似测量。例如，各个层的顺序沉积都可以从在活性区域225中的第二流场214上沉积阴极互连层开始，随后进行阴极沉积、屏障层沉积、玻璃层沉积、附加电解质和电解质沉积以及阳极沉积。各个组装层可以使用对应地构建的系统来检查。
74.在一些实施例中，通常用于操作sofc堆叠的燃料可以用作流体520，以测试组装部分，该组装部分包括第一流场212作为阳极流场。例如，在sofc堆叠的操作期间燃料的任何泄露在检查期间都可以通过使用与流体520相同的燃料来准确测量。在检查期间使用与流体相同的燃料会避免由于用于检查sofc的流体的特性的变化而导致的测量的参数的任何变化。在一些实施例中，当使用阴极流场214测试组装部分215时，空气可以用作流体520。此外，在某些实施例中，具有第一流场212和第二流场214的金属互连件210可以同时使用燃料作为与第一流场212连通的流体和使用空气作为与第二流场214连通的流体来检查。
75.在一些实施例中，检查的方法在sofc的制造期间重复用于检查sofc的一个或多个层。重复使用方法包括：向流体施加气动约束；响应于气动约束确定sofc的组装部分的质量控制参数；以及基于质量控制参数判断sofc的组装部分的健康。当向流体施加气动约束时，流体与sofc的一个或多个层连通。sofc的组装部分包括金属互连件，该金属互连件具有流场。sofc包括与sofc的组装部分流体连通的歧管。密封件可以联接到歧管以调节流体连通。在一些实施例中，重复检查组装部分的一个或多个层包括多次检查组装部分的一个或多个层。在一些其他实施例中，重复检查一个或多个层包括在sofc的制造期间检查sofc的顺序构建的组装部分。此外，在某些实施例中，施加气动约束包括保持与组装部分连通的流体处于高于环境压力的压力下，使与sofc的组装部分连通的流体以恒定流速流动，或其组合。确定质量控制参数可以包括确定流体的泄漏率，确定流体的空间压降，确定渗透性，或其组合。
76.与传统地使用烧结技术制造的sofc的质量控制相比，上述系统和方法提供对金属互连件支撑的、顺序制造的sofc的增强质量控制。更具体地，在具有金属互连件（其在单独sofc单元中具有一个或多个流场和集成歧管）的sofc中，在顺序制造过程的特定部分处使用气动测试来识别过程特定的缺陷。例如，历史上，使用热喷涂沉积的涂层在提供足够的气密和可重复的电解质涂层以用于商业可行性方面一直面临挑战。金属互连件支撑的和顺序制造的sofc（其中，独立制造的sofc是使用一系列顺序制造步骤生产的）允许在制造过程中在多个点处进行气动测试，以监控流场设计、涂层、陶瓷密封件和冶金密封件的健康。这种气动测试以减少的制造成本导致快速质量控制方法。
77.本书面描述使用一些示例来公开所要求的公开，包括最佳方式，使得本领域中的
任何技术人员都能够实践本公开，包括制造和使用任何设备或系统以及执行任何并入的方法。所要求保护的公开内容的范围可以包括本领域中的技术人员所想到的其他示例。如果这些其他示例具有与权利要求书的书面语言并无差异的结构元件，或如果这些其他示例包括与权利要求书的书面语言有微小差异的等效结构元件，则这些其他示例试图在所附权利要求的范围内。