一种光刻剥离液废液再生装置的制作方法

1.本实用新型属于化工加工设备领域，特别涉及一种光刻剥离液废液再生装置。


背景技术：

2.近几年国内电子行业迅速发展，剥离液等湿电子化学品液用量大大增加，通常在液晶显示面板或半导体集成电路等工艺制造过程中，需要用到剥离液(stripper)将玻璃基板上的残留的光刻胶去除以便后续工序进行，光刻胶剥离液废液中大部分成分具有再利用价值，此外还含有少量的水等轻组分和金属杂质等；现有装置均根据精馏原理先除去重组分，再脱除轻组分或者先脱除轻组分，再除去重组分，最后精制得到成品，存在安全性低和投入成本高的问题。


技术实现要素：

3.(一)要解决的技术问题
4.为了解决现有技术的上述问题，本实用新型提供一种安全性高和成本低的光刻剥离液废液再生装置。
5.(二)技术方案
6.为了达到上述目的，本实用新型采用的主要技术方案包括：
7.一种光刻剥离液废液再生装置，包括废液箱体、薄膜蒸发器、重组分箱体、脱轻精馏塔、轻组分箱体、吸附机构和再生剥离液箱体，所述废液箱体的第一出液口与薄膜蒸发器的一端相连接，所述重组分箱体与薄膜蒸发器的底部相连接，所述薄膜蒸发器的另一端与脱轻精馏塔相连接，所述脱轻精馏塔的顶部与轻组分箱体相连接，所述脱轻精馏塔的底部与吸附机构的一端相连接，所述吸附机构的另一端与再生玻璃液箱体相连接。
8.上述的光刻剥离液废液再生装置中，所述废液箱体与薄膜蒸发器相连接处设有第一泵体。
9.上述的光刻剥离液废液再生装置中，所述重组分箱体与薄膜蒸发器相连接处设有第一控制阀，所述薄膜蒸发器与脱轻精馏塔相连接处设有第二控制阀，所述脱轻精馏塔与轻组分箱体相连接处设有第三控制阀，所述脱轻精馏塔与吸附机构相连接处设有第四控制阀，所述吸附机构与再生剥离液箱体相连接处设有第五控制阀。
10.上述的光刻剥离液废液再生装置中，所述薄膜蒸发器和脱轻精馏塔上均设有压力检测机构。
11.上述的光刻剥离液废液再生装置中，所述再生剥离液箱体上设有报警机构，所述再生剥离液箱体的内侧壁上设有液位传感器，所述报警机构与液位传感器相连接。
12.(三)有益效果
13.本实用新型的有益效果是：通过设置废液箱体、薄膜蒸发器、重组分箱体、脱轻精馏塔、轻组分箱体、吸附机构和再生剥离液箱体，有利于简化工艺、提高安全性、节省设备投资、节约能耗和降低运行成本。
附图说明
14.图1为本实用新型光刻剥离液废液再生装置的结构示意图。
15.【附图标记说明】
16.1：废液箱体；
17.2：薄膜蒸发器；
18.3：重组分箱体；
19.4：脱轻精馏塔；
20.5：轻组分箱体；
21.6：吸附机构；
22.7：再生剥离液箱体；
23.8：第一泵体；
24.9：第一控制阀；
25.10：第二控制阀；
26.11：第三控制阀；
27.12：第四控制阀；
28.13：第五控制阀；
29.14：压力检测机构；
30.15：报警机构；
31.16：液位传感器。
具体实施方式
32.为了更好的解释本实用新型，以便于理解，下面结合附图，通过具体实施方式，对本实用新型实用新型作详细描述。
33.本实用新型最关键的构思在于：通过设置废液箱体、薄膜蒸发器、重组分箱体、脱轻精馏塔、轻组分箱体、吸附机构和再生剥离液箱体。
34.请参照图1所示，一种光刻剥离液废液再生装置，
35.包括废液箱体、薄膜蒸发器、重组分箱体、脱轻精馏塔、轻组分箱体、吸附机构和再生剥离液箱体，所述废液箱体的第一出液口与薄膜蒸发器的一端相连接，所述重组分箱体与薄膜蒸发器的底部相连接，所述薄膜蒸发器的另一端与脱轻精馏塔相连接，所述脱轻精馏塔的顶部与轻组分箱体相连接，所述脱轻精馏塔的底部与吸附机构的一端相连接，所述吸附机构的另一端与再生玻璃液箱体相连接。
36.本实用新型所述的光刻剥离液废液再生装置的工作原理：光刻胶剥离液废液首先从废液箱体中进入到薄膜蒸发器，因为光刻胶等重组分的沸点比剥离液成分的沸点高，所以光刻胶等重组分从蒸发器底部去除进入到重组分箱体中，包含水等轻组分的剥离液成分由于沸点低被加热气化，从薄膜蒸发器顶部管道进入脱轻精馏塔中，因为水等轻组分的沸点比剥离液成分的沸点低，所以从脱轻精馏塔塔顶进入到轻组分箱体中，脱轻精馏塔底部含有金属杂质的馏出物进入吸附机构中进行吸附脱除重金属和脱除色度，最后得到再生剥离液成品，输送到再生剥离液箱体中。
37.从上述描述可知，本实用新型的有益效果在于：通过设置废液箱体、薄膜蒸发器、
重组分箱体、脱轻精馏塔、轻组分箱体、吸附机构和再生剥离液箱体，有利于简化工艺、提高安全性、节省设备投资、节约能耗和降低运行成本。
38.请参照图1所示，本实用新型的实施例一为：
39.一种光刻剥离液废液再生装置，包括废液箱体1、薄膜蒸发器2、重组分箱体3、脱轻精馏塔4、轻组分箱体5、吸附机构6和再生剥离液箱体7，所述废液箱体1的第一出液口与薄膜蒸发器2的一端相连接，所述重组分箱体3与薄膜蒸发器2的底部相连接，所述薄膜蒸发器2的另一端与脱轻精馏塔4相连接，所述脱轻精馏塔4的顶部与轻组分箱体5相连接，所述脱轻精馏塔4的底部与吸附机构6的一端相连接，所述吸附机构6的另一端与再生玻璃液箱体相连接。
40.所述废液箱体1与薄膜蒸发器2相连接处设有第一泵体8。
41.通过在废液箱体1与薄膜蒸发器2相连接处设有第一泵体8，有利于提高废液输送的效率。
42.所述重组分箱体3与薄膜蒸发器2相连接处设有第一控制阀9，所述薄膜蒸发器2与脱轻精馏塔4相连接处设有第二控制阀10，所述脱轻精馏塔4与轻组分箱体5相连接处设有第三控制阀11，所述脱轻精馏塔4与吸附机构6相连接处设有第四控制阀12，所述吸附机构6与再生剥离液箱体7相连接处设有第五控制阀13。
43.通过在重组分箱体3与薄膜蒸发器2相连接处设有第一控制阀9，所述薄膜蒸发器2与脱轻精馏塔4相连接处设有第二控制阀10，所述脱轻精馏塔4与轻组分箱体5相连接处设有第三控制阀11，所述脱轻精馏塔4与吸附机构6相连接处设有第四控制阀12，所述吸附机构6与再生剥离液箱体7相连接处设有第五控制阀13，有利于控制各管线上的流量状态，提高装置的使用性能。
44.所述薄膜蒸发器2和脱轻精馏塔4上均设有压力检测机构14。
45.通过在薄膜蒸发器2和脱轻精馏塔4上均设有压力检测机构14，有利于检测薄膜蒸发器2和脱轻精馏塔4的压力状态，提高装置的安全性和可靠性。
46.所述再生剥离液箱体7上设有报警机构15，所述再生剥离液箱体7的内侧壁上设有液位传感器16，所述报警机构15与液位传感器16相连接。
47.通过在再生剥离液箱体7上设有报警机构15，所述再生剥离液箱体7的内侧壁上设有液位传感器16，所述报警机构15与液位传感器16相连接，有利于监测再生剥离液箱体7内的液位状态，进一步提高装置的安全性。
48.吸附机构6是具有脱色作用、含有再生吸附的金属螯合剂的金属杂质脱除的吸附装置，金属螯合剂是具有再生吸附能力。
49.综上所述，本实用新型提供的一种光刻剥离液废液再生装置，通过设置废液箱体、薄膜蒸发器、重组分箱体、脱轻精馏塔、轻组分箱体、吸附机构和再生剥离液箱体，有利于简化工艺、提高安全性、节省设备投资、节约能耗和降低运行成本。
50.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。