太阳能单晶硅片打标机的制作方法

1.本实用新型涉及硅片加工技术领域，更具体地说，涉及太阳能单晶硅片打标机。


背景技术：

2.单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。单晶硅可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造，其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域，在军事电子设备中也占有重要地位。
3.在单晶硅片生产过程中需要对其表面进行打标，打标一般使用激光打标机，激光打标机是用激光束在各种不同的物质表面打上永久的标记。打标的效应是通过表层物质的蒸发露出深层物质，从而刻出精美的图案、商标和文字，激光打标机主要分为，co2激光打标机，半导体激光打标机、光纤激光打标机和yag激光打标机。
4.在激光打标机打标过程中需要对硅片进行定位夹紧，但是现有的定位机构一般都只能适用于固定尺寸的硅片使用，适用性不强，并且在打标过程中会产生一些废气，对使用者的操作换机产生一定影响。


技术实现要素：

5.1．要解决的技术问题
6.针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供太阳能单晶硅片打标机，本方案可以实现对不同尺寸大小的硅片进行有效定位，且定位牢固，保证打标精度，且可对打标过程中产生的废气进行有效净化，利用转动的风扇叶片和活性炭吸附层有效提升废气净化效率，改善工作环境。
7.2．技术方案
8.为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。
9.太阳能单晶硅片打标机，包括底座，所述底座的上表面四角处均固定有升降组件，所述升降组件的顶端固定有横杆，所述横杆的下表面中心处固定有激光打标头，所述横杆的下表面位于激光打标头的两侧均固定有废气净化机构，所述废气净化机构的底端连接有吸气管，所述吸气管的端部固定有吸气罩，所述吸气管和吸气罩均倾斜设置，且吸气管和吸气罩指向激光打标头底端设置，所述底座的上表面固定有两组对称设置的夹持机构，所述夹持机构的端部连接有夹持板，所述夹持板之间夹持有硅片，所述废气净化机构包括壳体，所述壳体的内顶部固定有抽风机，所述抽风机的底端连接有与壳体相匹配的抽风罩，所述抽风机的另一端连接有排气管，所述壳体的内底部固定有细滤网，所述细滤网的上侧设有无纺布过滤层，所述壳体内部位于抽风罩的下侧固定有滤网箱，所述滤网箱内部填充有球
形活性炭颗粒，所述球形活性炭颗粒的底部固定有多个均匀分布的轴承，所述轴承上转动连接有转动杆，所述转动杆竖直设置，且转动杆的外壁上固定有多个风扇叶片，所述风扇叶片的外壁上粘贴有活性炭吸附层。本方案可以实现对不同尺寸大小的硅片进行有效定位，且定位牢固，保证打标精度，且可对打标过程中产生的废气进行有效净化，利用转动的风扇叶片和活性炭吸附层有效提升废气净化效率，改善工作环境。
10.进一步的，所述夹持机构包括外管，所述外管的内部插接有内杆，所述外管的开口处固定有与内杆外径相匹配的限位外沿，所述内杆位于外管内部的一端固定有与外管内径相匹配的限位板，所述外管的内底部固定有电磁铁，所述内杆靠近电磁铁的一端固定有永磁体，所述电磁铁通电时与永磁体相互排斥。内杆插接在外管内部，当电磁铁通电时对永磁体产生排斥作用，两个电磁铁同时工作将内杆往中间挤压，从而快速对夹持板进行定位，可以实现对夹持板进行快速夹紧，相较于一般的卡接紧固更加稳定，有效避免松动现象，保证打标精度，且可适用于不同尺寸的硅片加工使用。
11.进一步的，所述限位外沿的内侧壁和限位板的外侧壁上开设有多个均匀分布的球形槽，且球形槽内部填充有滚珠，所述滚珠与外管内壁、内杆外壁相接触。设置球形槽和滚珠，可大大降低滑动时受到的摩擦阻力，使内杆移动更加顺畅。
12.进一步的，所述夹持板相对的一侧侧壁上固定有橡胶垫，且橡胶垫的厚度为
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mm，能够有效避免在夹持过程中对硅片造成的损伤。
13.进一步的，相邻的两组所述风扇叶片上下交错设置，可有效提升与活性炭吸附层与废气的接触面积，提升废气净化效率。
14.3．有益效果
15.相比于现有技术，本实用新型的优点在于：
16.（1）本方案可以实现对不同尺寸大小的硅片进行有效定位，且定位牢固，保证打标精度，且可对打标过程中产生的废气进行有效净化，利用转动的风扇叶片和活性炭吸附层有效提升废气净化效率，改善工作环境。
17.（2）内杆插接在外管内部，当电磁铁通电时对永磁体产生排斥作用，两个电磁铁同时工作将内杆往中间挤压，从而快速对夹持板进行定位，可以实现对夹持板进行快速夹紧，相较于一般的卡接紧固更加稳定，有效避免松动现象，保证打标精度，且可适用于不同尺寸的硅片加工使用。
18.（3）设置球形槽和滚珠，可大大降低滑动时受到的摩擦阻力，使内杆移动更加顺畅。
19.（4）夹持板相对的一侧侧壁上固定有橡胶垫，且橡胶垫的厚度为5
‑
10mm，能够有效避免在夹持过程中对硅片造成的损伤。
20.（5）相邻的两组风扇叶片上下交错设置，可有效提升与活性炭吸附层与废气的接触面积，提升废气净化效率。
附图说明
21.图1为本实用新型的正视图；
22.图2为本实用新型中废气净化机构的结构示意图；
23.图3为图2中a处的放大结构示意图；
24.图4为本实用新型中夹持机构的结构示意图。
25.图中标号说明：
26.1底座、2升降组件、3横杆、4激光打标头、5废气净化机构、6吸气管、7吸气罩、8夹持机构、801外管、802内杆、803电磁铁、804永磁体、805限位外沿、806限位板、9夹持板、10壳体、11抽风机、12抽风罩、13排气管、14细滤网、15无纺布过滤层、16滤网箱、17球形活性炭颗粒、18轴承、19转动杆、20风扇叶片、21活性炭吸附层。
具体实施方式
27.下面将结合本实用新型实施例中的附图；对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然；所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例；而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例；本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例；都属于本实用新型保护的范围。
28.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
29.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
30.实施例1：
31.请参阅图1
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3，太阳能单晶硅片打标机，包括底座1，底座1的上表面四角处均固定有升降组件2，升降组件2的顶端固定有横杆3，横杆3的下表面中心处固定有激光打标头4，横杆3的下表面位于激光打标头4的两侧均固定有废气净化机构5，废气净化机构5的底端连接有吸气管6，吸气管6的端部固定有吸气罩7，吸气管6和吸气罩7均倾斜设置，且吸气管6和吸气罩7指向激光打标头4底端设置，底座1的上表面固定有两组对称设置的夹持机构8，夹持机构8的端部连接有夹持板9，夹持板9之间夹持有硅片，废气净化机构5包括壳体10，壳体10的内顶部固定有抽风机11，抽风机11的底端连接有与壳体10相匹配的抽风罩12，抽风机11的另一端连接有排气管13，壳体10的内底部固定有细滤网14，细滤网14的上侧设有无纺布过滤层15，壳体10内部位于抽风罩12的下侧固定有滤网箱16，滤网箱16内部填充有球形活性炭颗粒17，球形活性炭颗粒17的底部固定有多个均匀分布的轴承18，轴承18上转动连接有转动杆19，转动杆19竖直设置，且转动杆19的外壁上固定有多个风扇叶片20，风扇叶片20的外壁上粘贴有活性炭吸附层21。打标机工作时，将硅片放置在底座1上利用两组夹持机构8对硅片进行夹紧，之后控制升降组件2工作调节激光打标头4的高度进行打标加工，打标过程中抽风机11工作将废气持续抽入壳体10内，设置的细滤网14和无纺布过滤层15对废气进行初步过滤，之后利用活性炭吸附层21和球形活性炭颗粒17对废气进行吸附，且在废气由下往上运动过程中，会带动风扇叶片20进行转动，从而有效增加活性炭吸附层21与废气
的接触面积，使废气净化效率得到大大提升，且球形结构的球形活性炭颗粒17可与废气充分接触，进一步提升对废气的净化效果，净化之后的气体由排气管13排出。
32.本方案可以实现对不同尺寸大小的硅片进行有效定位，且定位牢固，保证打标精度，且可对打标过程中产生的废气进行有效净化，利用转动的风扇叶片20和活性炭吸附层21有效提升废气净化效率，改善工作环境。
33.请参阅图1和图4，夹持机构8包括外管801，外管801的内部插接有内杆802，外管801的开口处固定有与内杆802外径相匹配的限位外沿805，内杆802位于外管801内部的一端固定有与外管801内径相匹配的限位板806，外管801的内底部固定有电磁铁803，内杆802靠近电磁铁803的一端固定有永磁体804，电磁铁803通电时与永磁体804相互排斥。内杆802插接在外管801内部，当电磁铁803通电时对永磁体804产生排斥作用，两个电磁铁803同时工作将内杆802往中间挤压，从而快速对夹持板9进行定位，可以实现对夹持板9进行快速夹紧，相较于一般的卡接紧固更加稳定，有效避免松动现象，保证打标精度，且可适用于不同尺寸的硅片加工使用。
34.请参阅图4，限位外沿805的内侧壁和限位板806的外侧壁上开设有多个均匀分布的球形槽，且球形槽内部填充有滚珠，滚珠与外管801内壁、内杆802外壁相接触。设置球形槽和滚珠，可大大降低滑动时受到的摩擦阻力，使内杆802移动更加顺畅。
35.请参阅图1，夹持板9相对的一侧侧壁上固定有橡胶垫，且橡胶垫的厚度为5
‑
10mm，能够有效避免在夹持过程中对硅片造成的损伤。
36.请参阅图2，相邻的两组风扇叶片20上下交错设置，可有效提升与活性炭吸附层21与废气的接触面积，提升废气净化效率。
37.以上所述；仅为本实用新型较佳的具体实施方式；但本实用新型的保护范围并不局限于此；任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内；根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变；都应涵盖在本实用新型的保护范围内。