配备有对准功能的气体供应装置及对准方法与流程

1.本发明涉及一种配备有对准功能的气体供应装置及对准方法，尤其涉及一种当替换气体储存容器时能够在将气体储存容器的阀连接器与连接于气体需求处的连接配管连接器紧固之前对准气体储存容器的气体供应装置及对准方法。


背景技术：

2.通常，对于向利用气体的装置(尤其，向诸如半导体设备的执行精密作业的气体需求处)供应气体的装置而言，要求适合各种目的的种类的气体满足预定的浓度和压力等。
3.为了有效地提供气体，许多种类的气体在高压状态下保管，尤其，具有易燃性、毒性、腐蚀性等有害特性的气体在与人类隔离的单独的空间进行严格管理。
4.保管气体的气体储存容器(以下，简称为“容器”)连接于气体需求处，若保管在容器的气体被全部消耗，则将连接于气体需求处的连接配管从气体容器的阀分离并替换容器，之后将连接于气体需求处的连接配管连接器结合到替换后的容器的阀连接器并再次供应气体。
5.在这样替换容器的情况下，操作者必须将容器放置在容器装载部的正常位置，但是若没有配备用于将容器放置到正常位置的自动化装置，则存在操作者难以将气体桶准确地放置到正常位置的问题。
6.当然，若配备有自动化装置，则能够将容器放置到正常位置，但是存在装置的构成复杂且制造成本高的问题。
7.作为关于半导体设备的气体供应装置的现有技术，公开了韩国授权专利第10-0242982号。


技术实现要素：

8.本发明为了解决上述的各种问题而提出，其目的在于提供一种能够沿垂直方向升降同时当水平方向移送时进行对准而能够防止对准部的破损的气体供应装置。
9.本发明的另一目的在于提供一种当水平方向移送时对准部可旋转而能够实现更准确的对准的气体供应装置。
10.本发明的另一目的在于提供一种能够保持将上部模块和下部模块牢固地结合到配备于容器侧的固定块的状态的气体供应装置。
11.本发明的另一目的在于提供一种当盖与盖分离部结合时能够防止破损的气体供应装置。
12.用于实现上述目的的本发明的配备有对准功能的气体供应装置包括：上部模块，包括在从配备于容器上端的阀部向上侧隔开的位置固定设置的上部板；下部模块，包括盖分离部、连接器紧固部及第二对准部，并且能够相对于所述上部模块沿水平方向及垂直方向移送，其中，所述盖分离部将覆盖配备于所述阀部的阀连接器的盖分离，所述连接器紧固部用于将连接于气体需求处的连接配管连接器连接到所述阀连接器，所述第二对准部通过
与配备于所述阀部的第一对准部结合而实现与所述容器的对准，若在所述盖未插入到所述盖分离部的状态下布置为彼此对向，则配备为当所述对准时所述第一对准部与第二对准部的一部分能够结合。
13.所述第一对准部和第二对准部中的任意一个可以构成为具有水平方向的长度的销形状的对准销，另一个构成为所述对准销插入的对准销插入槽。
14.可以配备有：连接器紧固部移送机构，使所述盖分离部和连接器紧固部一体地沿所述阀部方向前进及后退，所述第二对准部的水平方向移送与根据所述连接器紧固部移送机构的所述盖分离部和连接器紧固部的移送独立地进行。
15.所述第二对准部可以结合于至少部分包围所述盖分离部和连接器紧固部的外侧并根据配备于所述上部模块的移送引导件沿所述阀部方向前进及后退的壳体。
16.在所述壳体可以结合有对准块，所述第二对准部在所述对准块配备于朝向所述阀部的面。
17.所述第一对准部可以配备于与所述阀部结合的固定块，在所述下部模块邻近于所述第二对准部而配备有第二结合部，用于结合到在所述固定块邻近于所述第一对准部而配备的第一结合部，若所述第二对准部向所述第一对准部方向移送，使得所述第一对准部与第二对准部从一部分结合状态成为完全结合状态，则所述第一结合部与第二结合部结合，从而保持所述固定块与所述下部模块的结合状态。
18.在所述下部模块可以结合有对准块，所述第二结合部利用配备于所述对准块而构成为朝向所述第一结合部凸出的固定块结合部件而构成，所述第一结合部构成为形成于所述固定块的固定槽，以使所述固定块结合部件插入，若所述固定块结合部件插入到所述固定槽，则在所述固定槽内部通过槽与凸起的卡定防止所述固定块结合部件从所述固定槽脱离，若供应空气，则所述槽与凸起的卡定被解除，进而所述固定块结合部件能够从所述固定槽脱离。
19.若在旋转所述盖分离部的状态下沿所述阀部方向移送所述下部模块，则所述第一对准部与第二对准部可以从一部分结合状态成为完全结合状态，并且所述盖与盖分离部的槽的形状吻合而插入到所述盖分离部的槽。
20.所述下部模块能够相对于所述上部模块沿水平方向旋转。
21.所述下部模块的上部与所述上部模块的下部可以通过固定销结合，在所述下部模块和上部模块中的任意一个结合有至少一个引导销，在其余一个形成有引导销插入孔，以使所述引导销插入而能够以所述固定销为旋转中心进行旋转。
22.所述引导销和引导销插入孔可以在所述固定销的两侧分别配备一对。
23.所述下部模块能够相对于所述上部模块沿水平方向旋转的同时进行直线移动。
24.在所述上部模块可以配备有：第一移送引导件，为了引导所述下部模块沿作为水平方向中的某一个的第一方向移送而配备；第二移送引导件，为了引导所述下部模块沿水平方向中与第一方向垂直的第二方向移送。
25.所述上部板、中间板、下部板可以配备为从上部向下部彼此隔开，所述第一移送引导件配备于所述上部板与中间板之间，所述第二移送引导件配备于所述中间板与下部板之间。
26.在所述上部模块可以配备有：第三移送引导件，用于引导所述下部模块的垂直方
向移送。
27.可以配备有：垂直方向制动部，用于制动所述下部模块的垂直方向移送；水平方向制动部，用于制动沿所述水平方向中与朝向所述阀部的方向垂直的第一方向的直线移动。
28.所述第一对准部可以配备于与所述阀部结合的固定块，在垂直方向移送被所述垂直方向制动部制动，第一方向移送被所述水平方向制动部制动的状态下，在所述固定块邻近于所述第一对准部而配备的第一结合部与在所述下部模块邻近于所述第二对准部而配备的第二结合部结合，从而所述水平方向中的与所述第一方向垂直的第二方向移送被制动。
29.可以配备有用于施加及解除所述水平方向制动部和垂直方向制动部的制动力的开关，在所述开关启动的状态下解除所述制动力，在解除所述开关的启动的状态下施加所述制动力。
30.在所述下部模块可以配备有：连接器紧固部移送机构，用于将所述盖分离部和连接器紧固部相对于所述阀部沿左右方向和前后方向一体地移送；旋转机构，用于使所述盖分离部和连接器紧固部旋转，其中，所述气体供应装置配备有：控制部，用于控制所述移送机构的移送及所述旋转机构的旋转。
31.在所述上部模块可以配备有：第三移送引导件，用于引导所述下部模块的垂直方向移送；阀开闭部，用于旋转用于使所述阀部的阀开闭的手柄；阀开闭部移送机构，用于与根据所述第三移送引导件的垂直方向移送独立地将所述阀开闭部沿垂直方向移送。
32.可以配备有用于所述连接器紧固部和盖分离部的正方向旋转、反方向旋转及停止的开关。
33.对于根据本发明的气体供应装置的对准方法而言，所述气体供应装置包括：上部模块，包括在从配备于容器上端的阀部向上侧隔开的位置固定设置的上部板；下部模块，包括将覆盖配备于所述阀部的阀连接器的盖分离的盖分离部以及用于将连接于气体需求处的连接配管连接器连接到所述阀连接器的连接器紧固部，所述对准方法包括如下步骤：a)根据配备于所述上部模块的多个移送引导件沿水平方向和垂直方向移送所述下部模块；b)通过所述步骤a)的移送在所述盖未插入到所述盖分离部的状态下彼此对向，以使配备于所述阀部的第一对准部与配备于所述下部模块的第二对准部的一部分结合的方式布置所述下部模块；c)沿水平方向移送所述下部模块而使所述第一对准部与第二对准部完全结合。
34.在所述步骤b)中，可以在所述第一对准部与第二对准部的一部分结合的状态下，使所述盖分离部旋转，在所述盖分离部旋转的状态下进行所述步骤c)。
35.在所述步骤c)之后，配备于所述上部模块的阀开闭部可以借助于与所述下部模块的垂直方向移送独立地进行的垂直方向移送而下降，进而使配备于所述阀部的手柄旋转，从而开放所述阀部的阀。
36.根据本发明，下部模块能够沿垂直方向升降，同时当水平方向移送时进行对准，从而能够防止对准部的破损。
37.并且，下部模块相对于上部模块可旋转，从而能够实现更准确的对准。
38.并且，即使操作者未将容器置于容器装载部的准确位置也能够实现容器的准确对准，因此作业便利。
39.并且，能够保持将上部模块和下部模块牢固地结合到配备于容器侧的固定块的状
态。
40.并且，当盖与盖分离部结合时能够防止破损。
附图说明
41.图1的(a)、(b)是从一侧和另一侧示出本发明的气体供应装置的立体图。
42.图2是示出在本发明的气体供应装置中在容器的阀部结合有固定块的状态的立体图。
43.图3是示出本发明的气体供应装置的上部模块的立体图。
44.图4是从与图3不同的方向示出本发明的气体供应装置的上部模块的立体图。
45.图5是示出从本发明的气体供应装置的上部模块去除上部板的状态的立体图。
46.图6是从下部观察本发明的气体供应装置的上部模块的立体图。
47.图7是示出本发明的气体供应装置的下部模块的立体图。
48.图8是示出本发明的气体供应装置的上部模块中的底板、固定销及引导销的图。
49.图9是示出在本发明的气体供应装置中第一对准部与第二对准部布置为对向的状态的平面图。
50.图10是示出在图9的状态下使下部模块前进而使第一对准部与第二对准部部分结合的状态的平面图。
51.图11是示出在图10的状态下使下部模块进一步前进而使第一对准部与第二对准部完全结合的状态的平面图。
52.图12是示出在图11的状态下盖分离部从阀连接器分离且盖分离部与连接器紧固部沿y方向被一体地移送使得连接器紧固部布置为与阀连接器对向的状态的平面图。
53.符号说明
54.1：气体供应装置
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2：上部模块
55.3：下部模块
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10：容器
56.20：阀
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30：阀连接器
57.31：盖
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50：手柄
58.211：上部板
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212：中间板
59.213：下部板
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220：第一移送引导件
60.225：水平方向制动部
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230：第二移送引导件
61.241、242：第三移送引导件
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243、244：移送引导件结合板
62.251、252：移送引导件支撑部件
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253：底板
63.253a、253b：引导销插入孔
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254：固定销
64.255、256：引导销
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260：垂直方向制动部
65.270：开关盒
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271：第一开关
66.272：第二开关
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311：上部壳体
67.312：第一侧面壳体
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313：第二侧面壳体
68.314：下部壳体
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315：内部壳体
69.316：插头模块支撑台
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320：盖分离部
70.330：连接器紧固部
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331：连接配管连接器
71.340：连接器紧固部移送机构
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350：对准块
72.351：第二对准部
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352：第二结合部
73.352a：凸起
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360：插头模块
74.361：插头
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362：插头支撑部件
75.363：插头支撑壳体
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364：插头移送引导件
76.370：垫片供应部
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400：阀开闭部
77.410：手柄结合部
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412：手柄卡定部
78.420：手柄驱动部
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510、520、530：固定块
79.511：第一结合部
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512：第一对准部
具体实施方式
80.以下，参照附图对本发明进行详细说明。
81.在此，对方向进行命名时，将图1所示的x轴称为前后方向，y轴称为左右方向，z轴称为垂直方向。并且，水平方向包括由xy平面构成的所述左右方向和前后方向。
82.参照图1，本发明的配备有对准功能的气体供应装置1构成为包括：上部模块2，包括在从配备于容器10上端的阀部向上侧隔开的位置固定设置的上部板211；下部模块3，包括第二对准部351(图7)，并且能够相对于所述上部模块2沿垂直方向升降移送，其中，第二对准部351(图7)配备于所述上部模块2的下部，并且当水平方向移送时通过与配备于所述容器10侧的第一对准部512(图2)结合而实现所述容器10的对准。
83.在所述上部模块2配备有阀开闭部400，所述阀开闭部400配备为能够与所述下部模块3的垂直方向移送独立地沿垂直方向移送，且用于旋转配备于所述阀部上端的手柄50(图2)而开闭所述阀部的阀。
84.参照图2，所述容器10为用于储藏并供应向半导体装置等气体需求处供应的工程气体的构成，且在容器10的上部配备有所述阀部。
85.所述阀部构成为包括：阀(未图示)，用于限制气体的供应；阀连接器30，配备于所述阀的一侧而紧固于下部模块3的连接器紧固部330(图7)；盖31，覆盖所述阀连接器30；阀关闭器(未图示)，开闭所述阀；手柄50，连接于所述阀关闭器的上部，通过旋转而使阀关闭器升降，从而开闭阀。
86.在所述阀部结合有固定块510、520、530。在所述固定块510、520、530配备有所述第一对准部512。
87.所述固定块510、520、530可以包括包围所述阀部的第一固定块510、第二固定块520及第三固定块530。
88.若通过所述第二固定块520及第三固定块530的结合而包围所述阀部，则所述阀部中的所述阀连接器30及盖31相对于所述固定块520、530而向侧方向凸出并暴露，所述阀部中的所述手柄50相对于所述固定块520、530向上方向凸出并暴露。
89.所述第一固定块510构成为具有y轴方向的长度的四棱柱形状，并且在所述y轴方向的一侧面结合有所述第二固定块520，在x轴方向的一侧面配备有所述第一对准部512。
90.所述第一对准部512可以构成为凹陷地形成于所述x轴方向的一侧面的对准销插入槽512。
91.参照图7，所述第二对准部351可以构成为从后文所述的下部模块3的对准块350向作为与所述对准销插入槽512相面对的方向的x轴方向凸出而具有水平方向的长度的对准销351。
92.通过使所述对准销351插入到所述对准销插入槽512而实现所述容器10的对准。
93.在本实施例中，以第一对准部512构成为对准销插入槽，第二对准部351构成为对准销的情形为示例进行了说明，然而也可以将第一对准部构成为对准销，将第二对准部构成为对准销插入槽。
94.并且，在本实施例中，以对准销插入到对准销插入槽的情形为示例进行了说明，然而并不局限于此，第一对准部与第二对准部也可以构成为紧固或结合。将所述第一对准部与第二对准部插入、紧固、结合的方式统称定义为“结合”。
95.所述第一固定块510在与所述第一对准部512邻近的位置配备有第一结合部511，与所述第一结合部511实现结合的第二结合部352配备于所述下部模块3的对准块350。
96.所述第一结合部511可以形成为：与所述第一对准部512在所述第一固定块510所形成的面相同的面在x轴方向上凹陷地形成的固定槽511。
97.所述第二结合部352可以形成为：在对准块350的与所述第二对准部351邻近的位置朝向所述第一结合部511凸出的固定块结合部件352。
98.在所述固定块结合部件352的外侧面配备有多个凸起352a，所述多个凸起352a被配备于内部的弹簧(未图示)弹性支撑。在所述固定槽511的内部形成有使所述凸起352a插入的凸起插入槽(未图示)。若所述固定块结合部件352插入到所述固定槽511，则所述凸起352a插入到所述凸起插入槽，从而防止所述固定块结合部件352从所述固定槽511脱离，进而可以保持所述下部模块3结合于所述第一固定块510的状态。
99.在将所述固定块结合部件352从固定槽511拔出的情况下，若供应空气(air)而使所述凸起352a克服所述弹簧的弹力而从固定块结合部件352的表面进入到内侧，则所述凸起352a从所述凸起插入槽脱离。因此，所述固定块结合部件352可以从固定槽511脱离。
100.参照图3至图6，在所述上部模块2配备有上部板211、中间板212、下部板213、第一移送引导件220、第二移送引导件230、第三移送引导件241、242、阀开闭部400。
101.所述上部板211构成为平板形状，结合于诸如未图示的机柜等位置被固定的相对物。
102.所述中间板212也构成为平板形状，并且以中间部较高的方式构成为阶梯形状，配备为与所述上部板211的下部隔开。
103.所述下部板213也构成为平板形状，并且配备为与所述中间板212的下部隔开。
104.所述第一移送引导件220可以配备于所述上部板211与中间板212之间，且构成为引导包括所述中间板212、第二移送引导件230、下部板213、第三移送引导件241、242、下部模块3及阀开闭部400的所有连接于所述中间板212的下部的部件沿作为水平方向的y轴方向(第一方向)移送的lm引导件。
105.所述第二移送引导件230可以配备于所述中间板212与下部板213之间，且构成为引导包括所述下部板213、第三移送引导件241、242、下部模块3及阀开闭部400的所有连接于所述下部板213的下部的部件沿作为水平方向的与y轴垂直的x轴方向(第二方向)移送的lm引导件。
106.在所述下部板213，在y轴方向的两侧面结合有一对移送引导件结合板243、244，在与所述一对移送引导件结合板243、244隔开的位置配备有一对移送引导件支撑部件251、252。
107.所述一对移送引导件结合板243、244在所述下部板213的一侧与另一侧配备为彼此对向，并且构成为具有上下方向的长度的板形状。
108.所述一侧的移送引导件支撑部件251和另一侧的移送引导件支撑部件252构成为具有上下方向的长度的矩形的板形状，并且从所述一侧的移送引导件结合板243和另一侧的移送引导件结合板244分别向y轴方向的外侧隔开配备。
109.在所述一侧的移送引导件结合板243与移送引导件支撑部件251之间、所述另一侧的移送引导件结合板244与移送引导件支撑部件252之间分别配备有第三移送引导件241、242。
110.在所述一侧的移送引导件支撑部件251和另一侧的移送引导件支撑部件252的下端部分别结合有具有y轴方向的长度的矩形形状的底板253的一侧面和另一侧面。在所述底板253的下部结合有所述下部模块3。
111.所述第三移送引导件241、242可以构成为：引导所述一对移送引导件支撑部件251、252、底板253以及结合于所述底板253的下部模块3一体地沿垂直方向移送的lm引导件。
112.在所述第一移送引导件至第三移送引导件220、230、241、242未连接驱动机构，而仅起到使操作者能够手动移送的引导功能。即，若操作者用手抓持下部模块3并沿x轴、y轴、z轴方向施加力，则在施加力的方向上沿各个移送引导件移送下部模块3。
113.在所述第一移送引导件220和第三移送引导件241、242可以配备有起到制动功能的制动部。
114.可以配备有水平方向制动部225，其中，在被所述第一移送引导件220引导而沿第一方向移送的情况下，所述水平方向制动部225执行用于在特定位置保持停止状态的制动功能。
115.可以配备有垂直方向制动部260，其中，在借助于所述第三移送引导件241、242沿垂直方向移送的情况下，所述垂直方向制动部260执行用于在特定位置保持停止状态的制动功能。
116.所述水平方向制动部225和垂直方向制动部260可以构成为：在利用弹簧(未图示)的按压力抓持lm引导件的轨道的状态下保持制动力，而若供应空气(air)而从轨道去除所述弹簧的按压力，则解除制动力。
117.可以配备有用于施加所述水平方向制动部225和垂直方向制动部260的操作信号的开关盒270。
118.所述开关盒270配备有：第一开关271，用于施加及解除所述水平方向制动部225和垂直方向制动部260的制动力；第二开关272，用于后文所述的连接器紧固部330和盖分离部320的旋转及停止。所述第一开关271和第二开关272既可以构成为以操作者用手操作的方式，也可以如电磁阀一样地构成为不用手操作而打开/关闭的方式。
119.在操作者按压所述开关盒270的第一开关271而处于操作的状态下，可以通过供应空气(air)解除所述水平方向制动部225和垂直方向制动部260的制动力，从而下部模块3被
第一移送引导件220和第三移送引导件241、242引导而沿y轴及z轴方向自由移动。当操作者将手离开第一开关271而解除开关的操作的瞬间，开关可以借助于弹簧的力自动恢复，使得所述水平方向制动部225和垂直方向制动部260的制动力被施加，从而保持下部模块3不移动而被固定的状态。
120.所述第二开关272可以构成为拨动开关。所述第二开关272配备为能够使所述连接器紧固部330和盖分离部320沿正方向旋转或者沿反方向旋转。
121.所述下部模块3的上部和所述上部模块2的下部可以构成为通过固定销结合，在所述下部模块3和上部模块2中的任意一个结合有至少一个引导销，并且在另一个形成有所述引导销插入的引导销插入孔，使得下部模块3能够以所述固定销为旋转中心而旋转。参照图8对如上所述的构成的一例进行说明。
122.参照图8，在所述底板253的中央形成有固定销254插入的固定销插入孔(未图示)，在所述固定销插入孔的两侧部形成有一对引导销插入孔253a、253b。
123.所述引导销插入孔253a、253b可以构成为具有x轴方向的长度的长孔。在所述一对引导销插入孔253a、253b分别插入有一对引导销255、256。
124.所述固定销254和引导销255、256的头部向底板253的上部暴露，躯干部分别插入到固定销插入孔和引导销插入孔253a、253b，下端部螺纹结合于后文所述的下部模块3的上部壳体311。所述固定销254以穿过所述固定销插入孔的方式插入，从而能够相对于底板253旋转。
125.所述引导销插入孔253a、253b分别构成为长孔，从而所述引导销255、256能够沿所述引导销插入孔253a、253b的长度方向移动。并且，为了能够使引导销255、256以固定销254为中心旋转，所述引导销插入孔253a、253b可以形成为圆弧形状。并且，也可以构成为仅有一对引导销插入孔253a、253b中的一个构成为圆弧形状。
126.若如上所述地构成，则所述下部模块3能够相对于所述上部模块2沿水平方向旋转。即，若操作者沿欲使下部模块3旋转的方向施加力，则下部模块3以固定销254为旋转中心旋转。在这种情况下，所述引导销255、256在引导销插入孔253a、253b内被引导，并且旋转角度被引导销插入孔253a、253b的长度所限制。
127.如上所述，所述下部模块3能够相对于所述上部模块2沿水平方向旋转，与此同时，能够借助于第一移送引导件至第三移送引导件220、230、241、242沿x轴、y轴、z轴方向直线移动，因此操作者能够容易地进行对准，并且能够实现准确的对准，因此当对准时能够防止第一对准部与第二对准部碰撞。
128.所述阀开闭部400配备为能够旋转用于使所述阀部的阀开闭的手柄50。
129.所述阀开闭部400包括：手柄结合部410，使所述手柄50插入到内部空间411；手柄驱动部420，提供用于使所述手柄结合部410旋转的驱动力。
130.在所述手柄结合部410的内部形成有多个手柄卡定部412，所述多个手柄卡定部412以对应于手柄50的形状的方式向内侧凸出而与手柄卡定，进而一体旋转。若在所述手柄50插入到内部空间411的状态下驱动手柄驱动部420，则手柄50旋转而开闭阀部的阀。
131.配备有用于沿垂直方向移送所述阀开闭部400的阀开闭部移送机构(未图示)。所述阀开闭部移送机构配备为与所述第三移送引导件241、242独立地沿垂直方向移送。即，下部模块3能够被第三移送引导件241、242引导而沿垂直方向移动，与所述下部模块3独立地，
仅有阀开闭部400能够单独地借助于所述阀开闭部移送机构沿垂直方向移送。
132.为此，所述阀开闭部移送机构可以包括用于引导沿垂直方向的移送的第四移送引导件430和结合所述第四移送引导件430的阀开闭部支撑部件440。
133.所述第四移送引导件430可以构成为lm引导件。所述阀开闭部支撑部件440为具有垂直方向的长度的板形状，结合于底板253，从而能够与底板253一体升降。如上所述，若阀开闭部支撑部件440结合于作为上部模块2的底板253，则通过第三移送引导件241、242沿垂直方向仅移送下部模块3，通过第四移送引导件430沿垂直方向仅独立地移送阀开闭部400。因此，在操作者沿垂直方向进行移送的情况下，由于移送对象的重量较轻，因此对准作业容易。
134.上文以手动移送阀开闭部400的情形为例进行了说明，然而也可以构成为配备有提供驱动力以使阀开闭部400能够沿所述第四移送引导件430移送的驱动部，从而阀开闭部400自动进行移送。
135.参照图7，对下部模块3进行说明。
136.在所述下部模块3配备有多个壳体311、312、313、314、盖分离部320、连接器紧固部330、连接器紧固部移送机构340、对准块350、插头模块360、垫片供应部370。
137.所述多个壳体311、312、313、314包括：上部壳体311，以板形状配备于所述下部模块3的上部；第一侧面壳体312和第二侧面壳体313，分别结合于所述上部壳体311的y轴方向两侧；下部壳体314，与所述上部壳体311向下侧隔开，并且两侧结合于所述第一侧面壳体312和第二侧面壳体313。
138.在所述上部壳体311结合有上部模块2的固定销254和引导销255、256的下端部。所述上部壳体311、第一侧面壳体312、第二侧面壳体313及下部壳体314配备为包围除了所述下部模块3的前后方之外的上部、下部及两侧部。
139.所述盖分离部320将覆盖配备于所述阀部的阀连接器30的盖31从所述阀连接器30分离。
140.所述盖分离部320形成有槽，使得所述盖31插入到内部，并且若在所述盖31插入到所述盖分离部320的槽的状态下驱动旋转机构(未图示)而使所述盖分离部320旋转，则所述盖31从所述阀连接器30分离。与此相反，可以驱动所述旋转机构而将从所述盖分离部320分离的盖31结合于所述阀连接器30。
141.所述连接器紧固部330配备为能够将连接于气体需求处的连接配管连接器331连接于所述阀连接器30。若在所述连接器紧固部330与阀连接器30连接的状态下开放阀(未图示)，则容器10内部的气体通过阀连接器30和连接配管连接器331向气体需求处供应。
142.所述连接器紧固部移送机构340沿左右方向(y轴方向)和前后方向(x轴方向)一体地移送所述盖分离部320和连接器紧固部330。所述连接器紧固部移送机构340可以包括：第一移送机构，用于沿前后方向一体地移送所述盖分离部320和连接器紧固部330；第二移送机构，用于沿左右方向一体地移送所述盖分离部320和连接器紧固部330。
143.所述第一移送机构可以包括用于沿前后方向进行移送的移送引导件和通过供应空气(air)而施加移送力的气缸。并且，所述第二移送机构可以包括用于沿左右方向进行移送的移送引导件和通过供应空气(air)而施加移送力的气缸。
144.所述旋转机构使所述盖分离部320和连接器紧固部330旋转。所述旋转机构包括发
生旋转力的马达和减速器，并且包括用于向所述盖分离部320和连接器紧固部330传递所述旋转力的旋转传递部件。
145.所述旋转传递部件分别向盖分离部320和连接器紧固部330传递所述旋转力，若所述马达驱动，则所述盖分离部320和连接器紧固部330同时旋转。与此不同，所述旋转机构(未图示)也可以构成为配备有两个马达，并且利用所述两个马达来使所述盖分离部320和连接器紧固部330分别旋转。
146.可以配备有控制部，所述控制部用于控制包括所述阀开闭部移送机构、连接器紧固部移送机构340和所述旋转机构的本发明的整个气体供应装置。
147.可以配备有开放前方和后方并包围左右和上下的内部壳体315，从而设置所述盖分离部320和连接器紧固部330。所述内部壳体315可以结合于下部壳体314的上部。
148.所述对准块350结合为在所述内部壳体315的前方端部凸出，并且大致构成为多面体形状。在所述对准块350的前方面，作为第二对准部351的对准销351形成为朝向所述阀部凸出的形状，并且在所述对准销351的侧部，作为所述第二结合部352的固定块结合部件352形成为朝向所述阀部凸出的形状。
149.所述插头模块360构成为包括：插头361，为了在阀连接器30与连接器紧固部330未紧固的状态下防止异物流入到连接器紧固部330内部而结合于连接器紧固部330；插头支撑部件362，用于支撑所述插头361的端部；插头支撑壳体363，使所述插头支撑部件362结合于该插头支撑壳体363而得到支撑；插头移送引导件364，用于沿前后方向一体地移送所述插头361、插头支撑部件362及插头支撑壳体363；插头模块支撑台316，使所述插头移送引导件364结合于该插头模块支撑台316而得到支撑，并且结合于所述第一侧面壳体312。
150.所述垫片供应部370用于在替换容器10时在所述连接配管连接器331安装新的垫片，且构成为包括：垫片夹持器(未图示)，夹持垫片(未图示)；垫片收容部(未图示)，收容多个垫片；垫片移送机构，为了将收容于所述垫片收容部的垫片安装到所述连接配管连接器331而进行移送。所述垫片移送机构配备为在所述垫片夹持器夹持有垫片的状态下沿y轴方向往返移动。
151.参照图9至图12对根据本发明的气体供应装置的操作进行说明。
152.首先，为了替换容器，将新的容器10装载于容器装载部(未图示)上。在这种情况下，由于水平方向制动部225和垂直方向制动部260处于制动的状态，因此下部模块3不会沿y轴方向及z轴方向移动而保持被固定的状态。
153.接下来，操作者按压第一开关271。若按压所述第一开关271，则所述水平方向制动部225和垂直方向制动部260的制动力解除，从而下部模块3处于能够被第一移送引导件220和第三移送引导件241、242引导而沿y轴及z轴方向自由移动的状态。
154.在该状态下，操作者向下部模块3施加力而沿前后方向、左右方向、上下方向移动，从而如图9所示，以第二对准部351与第一对准部512相面对的方式进行对准。在这种情况下，第二结合部352布置为与第一结合部511相面对。
155.当如上所述地对准时，若操作者向下部模块3施加力使其沿水平方向旋转，则一对引导销255、256以固定销254为旋转中心旋转而在引导销插入孔253a、253b内部沿前后方向移动，从而下部模块3在xy平面上旋转，因此能够实现第一对准部512与第二对准部351的准确对准。
156.在图9的状态下，操作者继续调节下部模块3的位置，进而如图10所示，仅有对准销351的一部分插入到对准销插入槽512。
157.图9的状态和图10的状态可以由于操作者的连续作业而通过一次操作实现。
158.如此，若操作者将下部模块3沿前后方向、左右方向、上下方向移送而同时使其沿水平方向旋转，则能够易于将第一对准部512与第二对准部351对准。
159.另外，对准销351从对准块350凸出的长度形成为大于作为第二结合部352的固定块结合部件352从对准块350凸出的长度，从而若仅所述对准销351的一部分插入到对准销插入槽512，则第一结合部511与第二结合部352为未结合的状态，并且盖分离部320与被盖31覆盖的阀连接器30布置为对向。
160.若处于这种状态，则操作者将手离开第一开关271。若将手离开所述第一开关271，则水平方向制动部225和垂直方向制动部260被施加制动力，从而下部模块3不会沿y轴方向及z轴方向移动而保持被固定的状态。
161.在该状态下，若操作者对第二开关272进行操作，则旋转机构被驱动，从而所述盖分离部320旋转。作为一例，在所述盖31的形状构成为六边形的情况下，所述盖分离部320的槽也以与其对应的方式构成为六边形。
162.在所述盖分离部320的槽的六边形与盖31的六边形的相位不一致的状态下，若为了将盖31插入到所述盖分离部320的槽内部而使下部模块3前进，则盖分离部320与盖31发生碰撞。
163.因此，在本发明中，若操作者对第二开关272进行操作而使盖分离部320旋转并使下部模块3前进，则能够在盖分离部320的槽与盖31的相位一致的瞬间实现盖分离部320与盖31的吻合，从而实现无碰撞地结合。
164.并且，也具有利用传感器来感测盖31的六边形形状而使其与盖分离部320的相位一致的方法，然而根据本发明，无需配备传感器。
165.若在图10的状态下进一步向前方推动下部模块3，则如图11所示，整个对准销351插入到对准销插入槽512而处于第一对准部512与第二对准部351的完全结合的状态。在这种情况下，第二结合部352插入到第一结合部511而凸起352a插入到所述凸起插入槽，从而能够实现所述第一结合部511与第二结合部352的结合，进而下部模块3不会沿x轴方向移动而保持被固定的状态。并且，盖31插入到盖分离部320的槽。
166.若处于这种状态，则下部模块3的沿y轴及z轴方向的移送通过水平方向制动部225和垂直方向制动部260被制动，沿x轴方向的移送通过第一结合部511与第二结合部352的结合而被制动，因此能够针对x、y、z轴所有方向保持被固定的状态。
167.并且，若操作者用手抓持阀开闭部400并向下方施加力，则阀开闭部400被第四移送引导件430引导而沿垂直方向向下移动，并且手柄50插入到手柄结合部410的内部空间411。
168.若处于图11的状态，则之后的操作通过操作者施加操作信号而借助于控制部自动进行操作。
169.若通过所述控制部驱动旋转机构而使盖分离部320旋转，同时驱动所述第一移送机构而使盖分离部320向后方移动，则盖31从阀连接器30分离。
170.在所述盖31从阀连接器30分离之后，若驱动连接器紧固部移送机构340的第二移
送机构，则如图12所示，盖分离部320和连接器紧固部330沿y轴方向一体地移动，从而连接器紧固部330与阀连接器30布置为相面对。
171.之后，驱动垫片移送机构，进而在垫片夹持器夹持有垫片的状态下沿y轴方向移送，从而垫片(未图示)位于阀连接器30的端部。在这种情况下，可以构成为不将所述垫片371布置于阀连接器30的端部，而结合于连接配管连接器331的端部。
172.接下来，若驱动连接器紧固部移送机构340的第一移送机构而向前方移送连接器紧固部330，同时驱动旋转机构而旋转连接器紧固部330，则阀连接器30结合于连接器紧固部330的连接配管连接器331，并且驱动垫片移送机构，从而垫片夹持器向从阀连接器30脱离的位置移动。
173.并且，若在手柄50插入到所述手柄结合部410的状态下驱动手柄驱动部420，则手柄50旋转而使阀部的阀开放，并且收容于容器10的气体供应至气体需求处。
174.根据如上所述的构成，下部模块3能够沿垂直方向升降，同时当水平方向移送时实现对准，从而能够防止第一对准部和第二对准部的破损。并且，下部模块3相对于上部模块2可旋转，从而能够更准确地进行对准。并且，即使操作者未将容器10置于容器装载部的准确位置也能够实现容器的准确对准，因此操作便利。
175.如上文所述，虽然以优选的实施例为例对本发明进行了详细的说明，但是本发明并不限于上述的实施例，在权利要求范围和本发明的详细说明以及附图的范围内能够进行各种变形而实施，且这些也属于本发明。