用于激光加工系统的设备和具有这类设备的激光加工系统的制作方法

技术特征：
1.一种用于激光加工系统(100)的设备，包括：具有光学元件的布置的激光射束光学器件，其中，所述光学元件相继地布置在所述布置的轴线上，其中，第一封闭光学元件(210)在所述轴线的方向上封闭光学元件的布置，并且所述第一封闭光学元件由以下材料组成：所述材料具有2w/(m
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k)或者更大的热传导系数k
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。2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述第一封闭光学元件(210)布置在所述激光射束光学器件的激光射束输入侧上。3.根据权利要求1或2所述的设备，其中，第二封闭光学元件(240，260)在激光射束输出侧封闭光学元件的所述布置。4.根据权利要求3所述的设备，其中，光学元件的所述布置包括至少一个另外的光学元件(220，230)，所述至少一个另外的光学元件布置在所述第一封闭光学元件(210)和所述第二封闭光学元件(240，260)之间。5.根据权利要求4所述的设备，其中，在所述第一封闭光学元件(210)和所述第二封闭光学元件(240，260)之间的另外的光学元件(220，230)由氟化钙组成或者包含氟化钙。6.根据权利要求3、4或5所述的设备，其中，所述第二封闭光学元件(240)由具有2w/(m
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k)或者更大的热传导系数k
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的材料组成。7.根据以上权利要求中任一项所述的设备，其中，所述第一封闭光学元件(210)和/或所述第二封闭光学元件(240)由具有比石英玻璃更高的热传导系数的材料组成。8.根据以上权利要求中任一项所述的设备，其中，所述第一封闭光学元件(210)的材料和/或所述第二封闭光学元件(240)的材料选自以下组：所述组由蓝宝石、硫化锌、硒化锌、氟化钙、水晶石英和金刚石组成。9.根据以上权利要求中任一项所述的设备，其中，在所述第一封闭光学元件(210)和/或所述第二封闭光学元件(240)上设置有涂层。10.根据权利要求9所述的设备，其中，相比于不具有所述涂层的情况，具有所述涂层的所述封闭光学元件(210，240)具有更小的热延展系数和/或更高的断裂韧性，和/或，其中，所述涂层为由mgf2组成的防反射涂层。11.根据以上权利要求中任一项所述的设备，其中，所述第一封闭光学元件(210)和/或所述第二封闭光学元件(240，260)选自以下组：所述组由保护玻璃、射束成形光学器件、分束器、反射镜、透镜、透射光学元件、聚焦透镜和准直仪透镜组成。12.根据以上权利要求中任一项所述的设备，其中，所述设备为可替换的透镜盒，光学元件的所述布置包含在所述可替换的透镜盒中。13.根据权利要求12所述的设备，其中，所述第一封闭光学元件(210)和/或所述第二封闭光学元件(240，260)基本上气密地密封所述透镜盒。14.一种激光加工系统(100)，包括：用于提供激光射束(10)的激光设备(110)；和根据以上权利要求中任一项所述的设备，所述设备置入所述激光射束(10)的射束路径中。15.根据权利要求13所述的激光加工系统(100)，其中，所述激光射束光学器件的光学元件沿着所述激光射束(10)的传播方向在垂直的方向上布置。

技术总结
本公开涉及一种用于激光加工系统(100)的设备，包括用于一加工激光射束(10)的、具有光学元件的布置的激光射束光学器件，所述光学元件依次地布置在所述加工激光射束(10)的射束路径中。在所述加工激光射束(10)的传播方向上，光学元件的布置的第一最外部的光学元件(210)由这样的材料组成：所述材料具有2W/(m


技术研发人员：D
受保护的技术使用者：普雷茨特两合公司
技术研发日：2019.12.06
技术公布日：2021/10/19