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一种电容器的电介质薄膜加工装置的制作方法

2021-10-24 05:15:00 来源:中国专利 TAG:薄膜 电介质 加工 电容器 装置


1.本发明涉及薄膜加工技术领域,具体为一种电容器的电介质薄膜加工装置。


背景技术:

2.在半导体集成电路、薄膜混合集成电路以及薄膜化元器中,具有良好绝缘性能和介电性能的电容器电介质薄膜应用十分广泛,由于电介质薄膜的厚度可以做的很薄,容易卷绕,所以使得这种电容器的电容量和工作电压范围很宽,所受到的温度限制比较小,并且其使用寿命超长,只要没有损坏,几乎是不会有使用寿命的限制,无极性、绝缘阻抗高、频率特性优异和介质损失小等均为其优点。而拥有如此多的优良特性,其电介质薄膜在制造也就十分严谨重要,而介质薄膜在制造加工过程中,也存在很多不足,比如在进行喷涂材料时,喷涂不均匀,以及供热烘干不充分,造成切割后,使电介质薄膜成品的质量层次不齐,总体质量下降,从而影响电容器的工作性能,同时对薄膜的切割方式多多采用气切,频繁切割造成较大噪音,造成工作环境恶劣。


技术实现要素:

3.本发明提供一种电容器的电介质薄膜加工装置,解决了电介质薄膜加工装置薄膜加热不充分,以及喷涂材料不均匀的问题。
4.为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种电容器的电介质薄膜加工装置,包括壳体、位于壳体内部的涂覆机构以及热处理机构,所述壳体内壁之间设有若干个用于支撑的支撑架;
5.涂覆机构,包括喷涂组件以及输送组件,所述喷涂组件包括第一圆壳、第一转动杆以及若干个喷头,所述输送组件将介质薄膜输送至所述喷涂组件的喷射区域,所述第一转动杆两端插在所述壳体侧壁上,所述第一圆壳套在所述第一转动杆上,且所述第一圆壳在所述第一转动杆上自由转动,所述喷头位于所述第一圆壳外壁,且所述喷头在所述第一圆壳外壁呈环绕式安装,所述喷头下端接有管道,所述管道位于所述第一圆壳内部,所述管道一端与喷头尾端相连,所述管道另一端设有一喷射泵,所述喷射泵将涂覆材料沿着管道输送至喷头,再经过喷头射出,且在所述喷头射出过程中,所述第一圆壳一同转动,转动过程中所述喷头将涂覆材料均匀喷射在薄膜的一侧表面;
6.所述驱动组件包括第一电机、第一锥齿轮以及第一套筒,所述第一电机固定在所述壳体一侧外壁,所述壳体外壁设有一保护罩,所述驱动组件均位于所述保护罩内,所述第一锥齿轮卡套在所述第一电机输出端,所述第一套筒卡套在所述第二转杆一端,所述第一套筒一端设有第二锥齿轮,所述第二锥齿轮与所述第一锥齿轮啮合,所述第一套筒另一端与所述加热套筒一端外壁固连,所述第二转动杆杆身设有第三锥齿轮,所述第三锥齿轮与所述第一锥齿轮啮合,所述第一电机转动,带动加热组件中的所述螺旋叶片转动,且同时带动加热套筒朝与所述螺旋叶片相反方向转动;
7.热处理机构,包括加热组件以及驱动组件,所述加热组件包括加热套筒、第二转动
杆、加热管以及螺旋叶片,所述加热套筒卡套在所述第二转动杆外壁,所述加热管以及螺旋叶片均位于所述加热套筒内部,所述螺旋叶片套在所述第二转动杆外壁,且所述第二转动杆与所述螺旋叶片联动,所述加热管内部为中空结构,所述螺旋叶片位于所述加热管内部,所述加热管外壁与所述加热套筒内部固连,所述加热套筒与所述加热管联动,所述驱动组件位于所述第二转动杆一端,所述驱动组件控制所述加热组件转动,所述加热套筒和加热管转动方向与所述第二转动杆和螺旋叶片转动方向相反,所述螺旋叶片转动过程中所述加热管热量均匀吹散到所述加热套筒壁上,保持加热套筒外壁受热均匀。
8.优选的,所述输送组件包括若干个第一支撑杆以及第二支撑杆,所述第一支撑杆与所述第二支撑杆两端分别固定在所述壳体内壁,所述第一支撑杆外壁分别套有第一卷辊,所述第二支撑杆外壁分别套有第二卷辊,所述第一卷辊与第二卷辊分别在所述第一支撑杆与第二支撑杆上平滑转动,若干个所述第一支撑杆与所述第二支撑杆安装过程中,安装的位置使路线轨迹呈s型,其中所述第一支撑杆组成s型轨迹的上半部分,所述第二支撑杆组成s型轨迹的下半部分,所述喷涂组件分别位于所述s型轨迹的上半部中心位置以及下半部中心位置,介质薄膜在第一卷辊以及第二卷辊输送过程中,介质薄膜的两侧表面分别经过上、下两处的喷涂组件的喷射范围,涂覆材料均匀分布在介质薄膜的两侧表面。
9.优选的,所述加热组件包括上下两部分,介质薄膜经过涂覆机构进行涂覆工艺后,经过所述加热组件,所述加热套筒对介质薄膜进行加热烘干,上方所述加热套筒与下方所述加热套筒进行压实操作。
10.优选的,所述加热管侧壁设有若干个长槽,所述螺旋叶片在转动过程将产生风力,带动所述加热管的热量通过所述长槽均匀冲击到所述加热套筒内壁。
11.优选的,所述螺旋叶片呈单向螺旋结构,所述螺旋叶片转动,风的流向在加热管内朝一个方向输送,热浪透过所述长槽后,在所述加热套筒内一端向所述螺旋叶片输送风力相反方向折返,且风力沿着所述加热套筒内壁,形成一个热力循环对加热套筒进行加热。
12.优选的,所述壳体内壁首尾端设于第三卷辊与第四卷辊,所述第三卷辊用于放置未加工的介质薄膜,所述第三卷辊用于放置经过加工后的介质薄膜。
13.优选的,所述壳体侧壁设有一控制台,所述控制台与所述涂覆机构以及热处理机构通过电连接。
14.与现有技术相比,本发明的有益效果:
15.1、本发明中,涂覆机构包括喷涂组件与输送组件,利用喷涂组件中,旋转的第一圆壳,使涂覆材料可以经过管道由安装在第一圆壳外壁的喷头射出,进而对薄膜的表面进行涂覆处理,且配合输送组件中对薄膜s型的输送轨迹,使薄膜在输送过程中,薄膜的两个表面将分别经过上方的喷涂组件与下方的喷涂组件,可对薄膜两个表面同时进行喷涂,且旋转喷涂可对薄膜的侧面进行两次喷涂,可有效避免了涂覆过程中涂覆材料在薄膜上分布的不均匀。
16.2、本发明中,通过加热组件中的加热套筒相互配合,在对经过涂覆处理后的薄膜进行压实处理,且在挤压过程中,加热套筒不断发热,加快对薄膜上的涂覆材料的烘干,其中加热套筒的内壁与加热管相互固定,二者联动旋转,加热管内部设有螺旋叶片,通过第二转动杆带动螺旋叶片转动,且螺旋叶片转动过程中将加热管内部气流朝向一个方向流动,并经过加热管上的长槽进行加热,然后到达加热套筒与加热管之间,并沿着加热套筒内壁
折返会另一端,并再次进入加热管内部,并继续随着螺旋叶片移动,形成循环加热气流,可以使加热套筒受热更均匀,增强了对薄膜的烘干效果,提高了介质薄膜的生产质量。
17.3、本发明中,通过在加热组件一端设置的驱动组件,利用驱动组件中的第一电机带动第一锥齿轮转动,使与之啮合的第二锥齿轮与第三锥齿轮同时转动,且第二锥齿轮与第三锥齿轮转动方向相反,第二锥齿轮转动过程中将带动所述第一套筒转动,第一套筒另一端与加热套筒侧壁相连,加热套筒随第二锥齿轮转动,第三锥齿轮与第二转动杆固连,二者联动,在第一电机工作时,使加热组件中加热套筒与螺旋叶片异方向转动,使加热套筒的加热速度更快,提高了装置的工作效率。
附图说明
18.附图用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本发明的实施例一起用于解释本发明,并不构成对本发明的限制。
19.在附图中:
20.图1是本发明的薄膜加工装置一视角的结构示意图;
21.图2是本发明的薄膜加工装置另一视角的结构示意图;
22.图3是本发明的壳体的侧视剖面图;
23.图4是本发明的涂覆机构的结构示意图;
24.图5是本发明的热处理机构的结构示意图;
25.图6是本发明的热处理机构的俯视剖面图;
26.图中标号:1、壳体;101、支撑架;102、第三卷辊;103、第四卷辊;104、控制台;105、控制面板;106、保护罩;107、螺杆;108、凹口;109、导向辊;2、涂覆机构;3、喷涂组件;301、第一圆壳;302、第一转动杆;303、喷头;4、输送组件;401、第一支撑杆;402、第二支撑杆;403、第一卷辊;404、第二卷辊;5、热处理机构;6、加热组件;601、加热套筒;602、第二转动杆;603、加热管;604、螺旋叶片;605、长槽;7、驱动组件;701、第一电机;702、第一锥齿轮;703、第一套筒;704、第二锥齿轮;705、第三锥齿轮。
具体实施方式
27.以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明,并不用于限定本发明。
28.实施例:如图1

3所示,一种电容器的电介质薄膜加工装置,包括壳体1、位于壳体1内部的涂覆机构2以及热处理机构5,所述壳体1内壁之间设有若干个用于支撑的支撑架101,所述壳体1内壁首尾端设于第三卷辊102与第四卷辊103,所述第三卷辊102用于放置未加工的介质薄膜,所述第三卷辊102两端与壳体1前端设有的凹口108相互卡套,并利用凹口108上端的设置的螺杆107进行固定,通过螺旋操作,使第三卷辊102可以进行更换,所述第四卷辊103用于放置经过加工后的介质薄膜,所述壳体1侧壁设有一控制台104,所述控制台104与所述涂覆机构2以及热处理机构5通过电连接;所述控制台104通过控制面板105,控制装置中的涂覆机构2与热处理机构5,实现对电容器的电介质薄膜进行加工。
29.其中,如图4所示,涂覆机构2,包括喷涂组件3以及输送组件4,所述喷涂组件3包括第一圆壳301、第一转动杆302以及若干个喷头303,所述输送组件4将介质薄膜输送至所述
喷涂组件3的喷射区域,所述输送组件4包括若干个第一支撑杆401以及第二支撑杆402,所述第一支撑杆401与所述第二支撑杆402两端分别固定在所述壳体1内壁,所述第一支撑杆401外壁分别套有第一卷辊403,所述第二支撑杆402外壁分别套有第二卷辊404,所述第一卷辊403与第二卷辊404分别在所述第一支撑杆401与第二支撑杆402上平滑转动,若干个所述第一支撑杆401与所述第二支撑杆402安装过程中,安装的位置使路线轨迹呈s型,其中所述第一支撑杆401组成s型轨迹的上半部分,所述第二支撑杆402组成s型轨迹的下半部分,所述喷涂组件3分别位于所述s型轨迹的上半部中心位置以及下半部中心位置,介质薄膜在第一卷辊403以及第二卷辊404输送过程中,介质薄膜的两侧表面分别经过上、下两处的喷涂组件3的喷射范围,涂覆材料均匀分布在介质薄膜的两侧表面,所述第一转动杆302两端插在所述壳体1侧壁上,所述第一圆壳301套在所述第一转动杆302上,且所述第一圆壳301在所述第一转动杆302上自由转动,所述喷头303位于所述第一圆壳301外壁,且所述喷头303在所述第一圆壳301外壁呈环绕式安装,所述喷头303下端接有管道,所述管道位于所述第一圆壳301内部,所述管道一端与喷头303尾端相连,所述管道另一端设有一喷射泵,所述喷射泵将涂覆材料沿着管道输送至喷头303,再经过喷头303射出,且在所述喷头303射出过程中,所述第一圆壳301一同转动,转动过程中所述喷头303将涂覆材料均匀喷射在薄膜的一侧表面。
30.其中,如图5和图6所示,热处理机构5,包括加热组件6以及驱动组件7,所述加热组件6包括上下两部分,介质薄膜经过涂覆机构2进行涂覆工艺后,经过所述加热组件6,所述加热套筒601对介质薄膜进行加热烘干,上方所述加热套筒601与下方所述加热套筒601进行压实操作,所述加热组件6包括加热套筒601、第二转动杆602、加热管603以及螺旋叶片604,所述加热套筒601卡套在所述第二转动杆602外壁,所述加热管603以及螺旋叶片604均位于所述加热套筒601内部,所述螺旋叶片604套在所述第二转动杆602外壁,且所述第二转动杆602与所述螺旋叶片604联动,通过在加热管603一端通电,使加热管603侧壁持续供热,所述加热管603内部为中空结构,所述加热管603侧壁设有若干个长槽605,所述螺旋叶片604在转动过程将产生风力,带动所述加热管603的热量通过所述长槽605均匀冲击到所述加热套筒601内壁,所述螺旋叶片604位于所述加热管603内部,所述螺旋叶片604呈单向螺旋结构,所述螺旋叶片604转动,风的流向在加热管603内朝一个方向输送,热浪透过所述长槽605后,在所述加热套筒601内一端向所述螺旋叶片604输送风力相反方向折返,且风力沿着所述加热套筒601内壁,形成一个热力循环对加热套筒601进行加热,所述加热管603外壁与所述加热套筒601内部固连,所述加热套筒601与所述加热管603联动,所述驱动组件7位于所述第二转动杆602一端,所述驱动组件7控制所述加热组件6转动。
31.如图5和图6所示,所述驱动组件7包括第一电机701、第一锥齿轮702以及第一套筒703,所述第一电机701固定在所述壳体1一侧外壁,所述壳体1外壁设有一保护罩106,所述驱动组件7均位于所述保护罩106内,所述第一锥齿轮702卡套在所述第一电机701输出端,所述第一套筒703卡套在所述第二转杆一端,所述第一套筒703一端设有第二锥齿轮704,所述第二锥齿轮704与所述第一锥齿轮702啮合,所述第一套筒703另一端与所述加热套筒601一端外壁固连,所述第二转动杆602杆身设有第三锥齿轮705,所述第三锥齿轮705与所述第一锥齿轮702啮合,所述第一电机701转动,带动加热组件6中的所述螺旋叶片604转动,且同时带动加热套筒601朝与所述螺旋叶片604相反方向转动,所述加热套筒601和加热管603转
动方向与所述第二转动杆602和螺旋叶片604转动方向相反,所述螺旋叶片604转动过程中所述加热管603热量均匀吹散到所述加热套筒601壁上,保持加热套筒601外壁受热均匀。
32.使用时,通过输送组件4将位于第三卷辊102上的薄膜进行输送,使薄膜先绕过导向辊109,使薄膜进入涂覆机构2,利用第一支撑杆401与第二支撑杆402的s型安装方式,使薄膜在第一卷辊403与第二卷辊404的轨迹也形成s型路线,此时位于s型路线的上半部与下半部中间位置分别设有喷涂组件3,从第一圆壳301上的喷头303对薄膜进行涂覆材料的加工,此过程中,第一圆壳301子在所述第一转动杆302上转动,使涂覆材料可以均匀的对上下端的薄膜表面进行旋转喷涂,双重喷涂避免了涂覆材料在薄膜表面的不均匀性,且优选的上半部喷涂组件3与下半部喷涂组件3分别负责对薄膜上表面与下表面的涂覆处理,经过涂覆处理后,薄膜进入热处理机构5,由第一卷辊403移出涂覆机构2,然后由位于上下端的加热套筒601之间进入,此时通过电源给加热管603加热,加热管603被加热后,位于第二转动杆602上的螺旋叶片604转动,螺旋叶片604转动时,利用风力将热浪沿着解热管的长槽605吹入加热套筒601的内壁,且螺旋叶片604与第二转动轴转动过程中,所述加热管603与加热套筒601沿着相反方向转动,二者向不同方向使加热套筒601内部,可以均匀加热,同时螺旋叶片604为反方向叶片,螺旋叶片604转动过程中,热风浪只可以沿着一个方向移动,在经过长槽605移动到加热套筒601一端内壁时,所述热浪将沿着加热套筒601内壁折返会另一端并进入加热管603内,并再次随着螺旋叶片604输送,以此形成热力循序,增大了加热套筒601的加热效率,且加热套筒601表面温度相近,在薄膜经过两个加热套筒601之间时,薄膜表面的涂覆材料可以得以有效的加热烘干,且加热套筒601与加热管603与第一套筒703相连,三者联动,螺旋叶片604与第二转动杆602相连,二者联动,在经过第一电机701输出端安装的第一锥齿轮702分别与第二锥齿轮704和第三锥齿轮705啮合转动,使加热套筒601和加热管603与螺旋叶片604转动方向不同,提高了加热套筒601的加热效率。
33.最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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