一种发光二极管及其制作方法与流程

技术特征：
1.一种发光二极管，包含：外延发光层，外延发光层包括第一半导体层、第二半导体层和位于两者之间的有源层，与第一半导体层连接有第一电极，与第二半导体层连接有第二电极，其特征在于，第一电极和/或第二电极依次包括第一反射层、用于打线或者键合的接垫层，其中第一反射层上包覆有应力调整层，应力调整层的成膜应力方向与第一反射层相反。2.根据权利要求1所述的一种发光二极管，其特征在于，第一反射层的材料包括铑、铂或者钌。3.根据权利要求1所述的一种发光二极管，其特征在于，应力调整层为第一反射层厚度的65%至75%。4.根据权利要求1所述的一种发光二极管，其特征在于，第一反射层材料为铂，应力调整层材料为钌或铑。5.根据权利要求1所述的一种发光二极管，其特征在于，第一反射层的厚度为不小于500埃。6.根据权利要求1所述的一种发光二极管，其特征在于，第一电极和/或第二电极的截面为梯形，梯形侧壁与水平面的夹角为60
°
至75
°
，或者为75
°
至80
°
，或者80
°
以上。7.根据权利要求1所述的一种发光二极管，其特征在于，第一反射层为复合结构，第一反射层包括反射材料和应力调整材料的周期性叠层。8.根据权利要求1所述的一种发光二极管，其特征在于，发光二极管具有从2微米到100微米或从100微米到250微米的长度。9.根据权利要求1所述的一种发光二极管，其特征在于，发光二极管具有从2微米到100微米或从100微米到250微米的宽度。10.根据权利要求1所述的一种发光二极管，其特征在于，在外延发光层与第一反射层之间具有接触层，第一反射层至少部分包覆接触层，接触层的材料包括铬或者铬与过渡金属的合金。

技术总结
本发明公开了一种发光二极管，包含与第一半导体层连接有第一电极，与第二半导体层连接有第二电极，第一电极和/或第二电极依次包括第一反射层、接垫层和至少部分包覆接垫层的第二反射层，第二反射层的材料包括铑、铂或者钌，第一反射层和第二反射层通过良好的应力特性制作大角度的电极结构，有利于提升发光二极管的光电特性，提升产品可靠性。提升产品可靠性。提升产品可靠性。


技术研发人员：陈柏羽 邓有财 张中英
受保护的技术使用者：厦门三安光电有限公司
技术研发日：2019.11.15
技术公布日：2021/10/23