一种液态金属全向多阈值惯性开关的制作方法

技术特征：
1.一种液态金属全向多阈值惯性开关，其特征在于，包括：衬底、功能结构层和封装盖；所述衬底为正多边形结构；所述衬底表面分布有多个电极组；所述电极组的数量与所述衬底的边数对应，且绕所述衬底的中心一一对应固定于所述衬底的各个边位置处；所述功能结构层层叠粘结于所述衬底表面，并与所述衬底的中心重合；所述功能结构层上设置有储液池、多个微流控变截面通道和多个卡槽；所述储液池位于所述功能结构层的中心位置，且其内部盛装有液态金属；所述微流控变截面通道绕所述储液池径向设置，并与所述储液池相连通；所述电极组与所述卡槽一一对应，并适配卡接，且每个所述电极组的触头位于与其位置相对应的所述微流控变截面通道内部；所述封装盖层叠粘结于所述功能结构层表面。2.根据权利要求1所述的一种液态金属全向多阈值惯性开关，其特征在于，每个所述电极组包括1
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20个电极对；每个所述电极组中的各个电极对的长度均不相同，且各个电极对远离所述储液池的一端对齐，其触头相对所述储液池之间的距离呈梯度递增。3.根据权利要求2所述的一种液态金属全向多阈值惯性开关，其特征在于，每组所述电极组中的各个电极对按照其自身长度的递减关系，自两侧向中间依次排布。4.根据权利要求2所述的一种液态金属全向多阈值惯性开关，其特征在于，每个所述电极组中的电极对的长度为10
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1000微米，厚度为1
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500微米；相邻两个电极对之间的间距为10
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1000微米。5.根据权利要求1所述的一种液态金属全向多阈值惯性开关，其特征在于，所述衬底的材质为无机非金属材料。6.根据权利要求1所述的一种液态金属全向多阈值惯性开关，其特征在于，所述衬底的边数为3
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36边；所述衬底的内切圆直径为2
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100毫米。7.根据权利要求1所述的一种液态金属全向多阈值惯性开关，其特征在于，所述卡槽开设于所述功能结构层背面，且自所述微流控变截面通道远离所述储液池的一端向所述功能结构层的边缘径向设置。8.根据权利要求1所述的一种液态金属全向多阈值惯性开关，其特征在于，所述微流控变截面通道为v形结构；所述微流控变截面通道的角度为0
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75
°
，且其截面积自与所述储液池连通的一端向另一端逐渐减小。9.根据权利要求1所述的一种液态金属全向多阈值惯性开关，其特征在于，所述液态金属为常温下呈液态的金属或导电液体。10.根据权利要求1所述的一种液态金属全向多阈值惯性开关，其特征在于，所述封装盖与所述功能结构层相接触的一面刻蚀有环形槽；所述环形槽的中心与所述功能结构层的中心重合，且所述环形槽覆盖于所述微流控变截面通道表面。

技术总结
本发明公开了一种液态金属全向多阈值惯性开关，包括：自下而上依次层叠粘结的衬底、功能结构层和封装盖；衬底为正多边形结构；衬底表面分布有多个绕其中心设置，并与其边数对应的电极组；功能结构层上设置有储液池、多个微流控变截面通道和多个卡槽；储液池位于功能结构层的中心位置，且其内部盛装有液态金属；微流控变截面通道绕储液池径向设置，并与储液池相连通；电极组与卡槽一一对应，并适配卡接，且每个电极组的触头位于与其位置相对应的微流控变截面通道内部。本发明使用液态金属作为可动部件，并在受惯性力时伸缩变形进入微流控变截面通道，与相应阈值处的电极对接触使外部电路导通，实现对加速度进行多阈值稳定测量。实现对加速度进行多阈值稳定测量。实现对加速度进行多阈值稳定测量。


技术研发人员：陈文国 朱蓉辉 高婷 曹晓健 王瑞 王慧颖
受保护的技术使用者：曲靖师范学院
技术研发日：2021.04.15
技术公布日：2021/10/18