一种晶圆烘烤用热板的制作方法

1.本实用新型属于半导体材料技术领域，具体涉及一种晶圆烘烤用热板。


背景技术：

2.众所周知，热板是半导体光刻工艺中非常重要，且不可或缺的一个设备。在光刻工艺中，晶圆的预处理(去除晶圆表面水分)，光刻胶的软烘、硬烘和坚膜都需要使用加热板，且对热板烘烤的温度和时间有严格的要求。对于目前市场上常见的热板，温度比较稳定，但是热板表面平滑的设计，晶圆从热板上取下来的过程是先用镊子将晶圆推到热板的边缘，再夹取下来。这样操作的取样时间不太可控，导致烘烤时间控制不精确；另外会磨损晶圆背面，从而影响双面抛光样品或掩模板样品的质量；镊子推晶圆的过程也有划伤晶圆的风险。


技术实现要素：

3.本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题，提供一种晶圆烘烤用热板，对热板的结构进行了改良，方便了晶圆的取放，另外加入了计时装置；使得晶圆取放非常容易，并且烘烤时间可控。
4.本实用新型的目的是提供一种晶圆烘烤用热板，包括底座(7)和加热板(1)；所述底座(7)的上表面通过多根柱子(2)与加热板(1)的下表面固定连接；在所述加热板(1)上开设有多个竖直方向设置的通孔；至少还包括：
5.位于每个通孔内的立柱(3
‑
1)；所述立柱(3
‑
1)的直径小于通孔的内径；
6.与所述立柱(3
‑
1)下端连接的支架(3)；
7.带动支架(3)在竖直方向运动的传送机构；
8.以及计时器。
9.优选地，所述传送机构包括电机(4)，所述支架(3)与竖直方向设置的传送杆(3
‑
2)固定连接，所述电机(4)的轴承(4
‑
1)与传送杆(3
‑
2)相互垂直，且两者之间相互啮合。
10.优选地，还包括控制电机(4)和加热线圈(1
‑
1)工作状态的电路板(5)。
11.优选地，所述加热板(1)内嵌有加热线圈(1
‑
1)和热电偶(1
‑
2)。
12.优选地，还包括设定和显示温度及烘烤时间的控制器(6)。
13.优选地，所述柱子(2)为四根。
14.优选地，所述通孔为四个。
15.本实用新型具有的优点和积极效果是：
16.本申请通过采用上述技术方案，通过对热板的结构进行了改良，方便了晶圆的取放，另外加入了计时装置；使得晶圆取放非常容易，并且烘烤时间可控；具体工作过程为：
17.1.通过温度控制器设定烘烤温度，等待热板温度到达设定温度并稳定；2.将晶圆放置在凸出的4个立柱上；3.通过计时器设置好烘烤时间，开始执行；4.计时器将信号传送到电路板，电路板控制电机正向转动，由电机上的轴承通过传送杆带动支架向下移动，从而使得晶圆落到加热板表面，电机停止转动，计时启动；5.计时结束后，电机反向转动，再将支
架以及上面的晶圆抬离加热板表面；6.最后用镊子将晶圆取下，烘烤结束。
附图说明
18.图1是本实用新型优选实例的主视图；
19.图2是本实用新型优选实例的俯视图；
20.其中：1、加热板；1
‑
1、加热线圈；1
‑
2、热电偶；2、柱子；3、支架，3
‑
1、立柱；3
‑
2、传送杆；4、电机；4
‑
1、轴承；5、电路板；6、控制器；7、底座。
具体实施方式
21.为能进一步了解本实用新型的

技术实现要素：
、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下：
22.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
23.如图1和图2所示，本实用新型的技术方案为：
24.一种晶圆烘烤用热板，包括：
25.底座7和加热板1；所述底座7的上表面通过多根柱子2与加热板1的下表面固定连接；在所述加热板1上开设有多个竖直方向设置的通孔；
26.位于每个通孔内的立柱3
‑
1；所述立柱3
‑
1的直径小于通孔的内径；
27.与所述立柱3
‑
1下端连接的支架3；
28.带动支架3在竖直方向运动的传送机构；
29.控制电机4和加热线圈1
‑
1工作状态的电路板5；
30.设定和显示温度及烘烤时间的控制器6；
31.以及计时器。
32.如图1所示，在该优选实施例中：所述传送机构包括电机4，所述支架3与竖直方向设置的传送杆3
‑
2固定连接，所述电机4的轴承4
‑
1与传送杆3
‑
2相互垂直，且两者之间相互啮合。
33.所述加热板1内嵌有加热线圈1
‑
1和热电偶1
‑
2。
34.所述柱子2为四根。
35.所述通孔为四个。
36.上述优选实施例的具体工作过程为：
37.1.通过温度控制器设定烘烤温度，再由电路板控制加热线圈工作，等待热板温度到达设定温度并稳定；
38.2.将晶圆放置在凸出的4个立柱上；
39.3.通过计时器设置好烘烤时间，开始执行；
40.4.计时器将信号传送到电路板，电路板控制电机正向转动，由电机上的轴承通过传送杆带动支架向下移动，从而使得晶圆落到加热板表面，电机停止转动，计时启动；
41.5.计时结束后，电机反向转动，再将支架以及上面的晶圆抬离加热板表面；
42.6.最后用镊子将晶圆取下，烘烤结束。
43.以上所述仅是对本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改，等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。


技术特征：
1.一种晶圆烘烤用热板，包括底座(7)和加热板(1)；其特征在于，所述底座(7)的上表面通过多根柱子(2)与加热板(1)的下表面固定连接；在所述加热板(1)上开设有多个竖直方向设置的通孔；至少还包括：位于每个通孔内的立柱(3
‑
1)；所述立柱(3
‑
1)的直径小于通孔的内径；与所述立柱(3
‑
1)下端连接的支架(3)；带动支架(3)在竖直方向运动的传送机构；以及计时器。2.根据权利要求1所述的晶圆烘烤用热板，其特征在于，所述传送机构包括电机(4)，所述支架(3)与竖直方向设置的传送杆(3
‑
2)固定连接，所述电机(4)的轴承(4
‑
1)与传送杆(3
‑
2)相互垂直，且两者之间相互啮合。3.根据权利要求2所述的晶圆烘烤用热板，其特征在于，还包括控制电机(4)和加热线圈(1
‑
1)工作状态的电路板(5)。4.根据权利要求1所述的晶圆烘烤用热板，其特征在于，所述加热板(1)内嵌有加热线圈(1
‑
1)和热电偶(1
‑
2)。5.根据权利要求4所述的晶圆烘烤用热板，其特征在于，还包括设定和显示温度及烘烤时间的控制器(6)。6.根据权利要求1所述的晶圆烘烤用热板，其特征在于，所述柱子(2)为四根。7.根据权利要求1所述的晶圆烘烤用热板，其特征在于，所述通孔为四个。

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆烘烤用热板，属于半导体材料技术领域，包括底座和加热板；其特征在于，所述底座的上表面通过多根柱子与加热板的下表面固定连接；在所述加热板上开设有多个竖直方向设置的通孔；至少还包括：位于每个通孔内的立柱；所述立柱的直径小于通孔的内径；与所述立柱下端连接的支架；带动支架在竖直方向运动的传送机构；以及计时器；所述传送机构包括电机，所述支架与竖直方向设置的传送杆固定连接，所述电机的轴承与传送杆相互垂直，且两者之间相互啮合。本实用新型对热板表面的结构进行了改良，方便了晶圆的取放，另外加入了计时装置；使得晶圆取放非常容易，并且烘烤时间可控。烘烤时间可控。烘烤时间可控。


技术研发人员：王磊 曲迪 白国人 明辰 陈帅 陈景春 梁娟 姬静远
受保护的技术使用者：天津华慧芯科技集团有限公司
技术研发日：2020.12.10
技术公布日：2021/10/8