一种声表滤波器结构的制作方法

技术特征：
1.一种声表滤波器结构，其特征在于，包括：衬底，其上设有导线和电极；金属线条区域，其部分覆盖于所述衬底的表面；绝缘层，其覆盖于所述金属线条区域的表面；金属层，其覆盖于所述导线和电极的表面。2.根据权利要求1所述的声表滤波器结构，其特征在于，所述衬底包括：钽酸锂、铌酸锂、石英，或者，在硅衬底或者蓝宝石衬底上形成的压电薄膜。3.根据权利要求1所述的声表滤波器结构，其特征在于，所述金属线条区域包括叉指换能器以及分布于所述叉指换能器两端的反射器。4.根据权利要求3所述的声表滤波器结构，其特征在于，所述金属线条区域包括钛薄膜结构或者铝薄膜结构。5.根据权利要求4所述的声表滤波器结构，其特征在于，所述钛薄膜结构的溅射厚度为5～50nm，所述铝薄膜结构的溅射厚度为50～500nm。6.根据权利要求1至5任一项所述的声表滤波器结构，其特征在于，所述绝缘层包括：二氧化硅层、氮化硅层或氧化铝层中的至少一层。7.根据权利要求6所述的声表滤波器结构，其特征在于，所述绝缘层的沉积厚度为100～1000nm。8.根据权利要求1至5任一项所述的声表滤波器结构，其特征在于，所述金属层包括：钛层、铝层、铜层或金层中的至少一层。9.根据权利要求8所述的声表滤波器结构，其特征在于，所述金属层的沉积厚度为1～3μm。

技术总结
本申请公开了一种声表滤波器结构，该结构包括：衬底，其上设有导线和电极；金属线条区域，其部分覆盖于所述衬底的表面；绝缘层，其覆盖于所述金属线条区域的表面；金属层，其覆盖于所述导线和电极的表面。本申请避免了声表滤波器工艺过程中金属颗粒对金属线条区域的污染，降低了金属线条区域短路和尖端放点的可能性，提高了器件的可靠性。提高了器件的可靠性。提高了器件的可靠性。


技术研发人员：徐建卫
受保护的技术使用者：赫芯（浙江）微电子科技有限公司
技术研发日：2021.01.26
技术公布日：2021/10/8