高纯流体介质增压装置的制作方法

技术特征：
1.一种高纯气体的增压装置，其特征在于，包括制冷系统、载冷剂储罐和循环系统，以及高纯介质通路和液体增压泵：所述的制冷系统、载冷剂储罐及循环系统包括第一温度计(21)、第二温度计(22)、载冷剂大储罐(23)和载冷剂小储罐(24)、制冷剂返回管道(25)、蒸发器盘管(26)、节流阀(27)、制冷剂输入管道(28)、载冷剂循环泵(29)、第一阀门(30)、第二阀门(31)、第三阀门(32)，所述的载冷剂储罐包括上下两部分，即载冷剂大储罐(23)和载冷剂小储罐(24)，所述的载冷剂大储罐(23)和载冷剂小储罐(24)相通并分别设有第二温度计(22)和第一温度计(21)，在所述的载冷剂小储罐(24)内设有所述的蒸发器盘管(26)，制冷剂储罐输出的制冷剂依次经所述的制冷剂输入管道(28)、节流阀(27)、蒸发器盘管(26)、制冷剂返回管道(25)返回所述的制冷剂储罐；所述的制冷剂经所述的第三阀门(32)通过管道与所述的载冷剂大储罐(23)的入口相连，在所述的载冷剂小储罐(24)下端的输出口通过管道经所述的循环泵(29)后分别与所述的第一阀门(30)、第二阀门(31)相连，所述的第一阀门(30)的输出端经管道返回所述的制冷剂罐；所述的高纯介质通路和液体增压泵包括进气管(1)、第一压力传感器(2)、出气管(3)、第二压力传感器(4)、换热器(5)、第一连接管道(6)、第二连接管道(7)、液化盘管(8)、第三连接管道(9)和增压泵(10)，所述的液化盘管(8)设在所述的载冷剂小储罐(24)内，在所述的进气管(1)上设有第一压力传感器(2)，所述的进气管(1)经所述的换热器(5)、第一连接管道(6)进入所述的载冷剂小储罐(24)内并与所述的液化盘管(8)相连，该液化盘管(8)的输出端经所述的第三连接管道(9)、管道增压泵(10)、第二连接管道(7)进入所述的换热器(5)，换热后由所述的换热器(5)的输出口接所述的出气管(3)输出，在所述的出气管(3)设有第二压力传感器(4)。2.根据权利要求1所述的高纯气体增压装置，其特征在于，所述的液化盘管(8)被所述的制冷系统直接冷却或通过载冷剂冷却。3.根据权利要求1所述的高纯气体增压装置，其特征在于，所述的增压泵(10)为齿轮泵，无动密封。4.根据权利要求1所述的高纯气体增压装置，其特征在于，所述的制冷系统包括压缩机制冷、半导体制冷、或者低温介质制冷。

技术总结
一种高纯气体的增压装置，包括制冷系统、载冷剂储罐及循环系统、高纯介质通路和液体增压泵，高纯气体进入本发明增压装置后，首先被输出介质冷却，然后被制冷系统进一步冷却，确保液化及一定的过冷度，防止齿轮泵工作过程出现气蚀，增压后的高纯液体介质被输入介质加热气化，气化过程压力不变，实现了气体介质的增压。本发明把液体增压泵的应用范围从液体扩展到气体，可以获得大流量高压力的气体。本发明使用方便，寿命长，适用于高纯气体的增压场合。适用于高纯气体的增压场合。适用于高纯气体的增压场合。


技术研发人员：张涛 刘江来
受保护的技术使用者：上海交通大学
技术研发日：2021.07.22
技术公布日：2021/9/28