一种用于真空镀膜的真空油扩散泵的制作方法

技术特征：
1.一种用于真空镀膜的真空油扩散泵，包括泵体(1)，其特征在于：所述泵体(1)的上端固定安装有清洗壳体(2)，所述清洗壳体(2)的内部中轴位置固定安装有固定座(12)，所述固定座(12)的下端面上旋转安装有连通座(13)，所述连通座(13)与固定座(12)内部相通，所述连通座(13)的外表面上设置有同步带轮槽，所述清洗壳体(2)的内壁上固定安装有交流电机(15)，所述交流电机(15)的旋转轴一端固定安装有同步带轮，且同步带轮的外部套接有传动皮带(16)，所述传动皮带(16)的另一端套接在连通座(13)外表面上的同步带轮槽内，所述连通座(13)下端外表面的中轴位置处固定连接有第二清洗管(14)，所述第二清洗管(14)的外表面上安装有清洗喷嘴(18)。2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的真空油扩散泵，其特征在于：所述泵体(1)的内部中轴位置处设置有泵芯(3)，所述泵体(1)内部底端外表面的中轴位置处固定安装有第一清洗管(5)，所述第一清洗管(5)置于泵芯(3)内部中轴位置处，所述第一清洗管(5)的外表面上固定安装有清洗喷嘴(18)，所述第一清洗管(5)的进水端以及固定座(12)的上端外表面上均安装有清洗软管(11)。3.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜的真空油扩散泵，其特征在于：所述泵体(1)的内部底端盛装有扩散泵油(9)，且扩散泵油(9)位于泵芯(3)下端，所述泵体(1)的内壁上固定安装有电阻加热管(4)，所述电阻加热管(4)浸泡在扩散泵油(9)的内部。4.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜的真空油扩散泵，其特征在于：所述泵芯(3)的外表面上设置有多个喷射嘴(17)，且喷射嘴(17)的喷射方向倾斜朝下，所述泵芯(3)的外表面上设置有第一排气管(7)，所述泵体(1)的外表面上固定连接有第二排气管(8)，所述第一排气管(7)的出气端与第二排气管(8)的进气端位置对应。5.根据权利要求4所述的一种用于真空镀膜的真空油扩散泵，其特征在于：所述第二排气管(8)和泵体(1)的外表面上均设置有冷凝管(10)，所述冷凝管(10)螺旋分布。6.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的真空油扩散泵，其特征在于：所述泵体(1)的下端外表面上固定连接有排料管(6)，所述排料管(6)的管路中固定安装有阀门。

技术总结
本实用新型公开了一种用于真空镀膜的真空油扩散泵，涉及真空油扩散泵技术领域，为解决现有的真空油扩散泵在清洗时操作不便，不具备自主清洗结构的问题。所述泵体的上端固定安装有清洗壳体，所述清洗壳体的内部中轴位置固定安装有固定座，所述固定座的下端面上旋转安装有连通座，所述连通座与固定座内部相通，所述连通座的外表面上设置有同步带轮槽，所述清洗壳体的内壁上固定安装有交流电机，所述交流电机的旋转轴一端固定安装有同步带轮，且同步带轮的外部套接有传动皮带，所述传动皮带的另一端套接在连通座外表面上的同步带轮槽内。一端套接在连通座外表面上的同步带轮槽内。一端套接在连通座外表面上的同步带轮槽内。


技术研发人员：王伟平 王金泉 王菊姿
受保护的技术使用者：莱糸真空科技（常州）有限公司
技术研发日：2020.12.31
技术公布日：2021/9/17