存储阵列的缺陷定位方法、装置、设备及可读存储介质与流程

技术特征：
1.存储阵列的缺陷定位方法，包括：对所述存储阵列的检测图像进行灰度处理以获得所述检测图像中的多个电压衬度的灰度值，其中，所述电压衬度指示所述存储阵列对应的检测位置可能存在的缺陷；在灰度处理后的检测图像中识别出所述多个电压衬度的轮廓；根据识别出的所述轮廓获取所述多个所述检测位置的坐标，以与所述检测位置建立对应关系；以及根据所述灰度值和所述对应关系定位出所述存储阵列的缺陷。2.根据权利要求1所述的缺陷定位方法，其特征在于，通过电子束检测所述存储阵列的所述检测位置获得包括所述多个电压衬度的所述检测图像。3.根据权利要求1所述的缺陷定位方法，其特征在于，所述存储阵列的检测位置包括阵列孔位置。4.根据权利要求1所述的缺陷定位方法，其特征在于，在灰度处理后的检测图像中识别出所述多个电压衬度的轮廓包括：获取灰度处理后的所述检测图像中的轮廓点集合；以及从所述检测图像中的轮廓点集合中提取出所述多个电压衬度的轮廓。5.根据权利要求4所述的缺陷定位方法，其特征在于，从所述检测图像中的轮廓点集合中提取出所述多个电压衬度的轮廓包括：基于所述检测图像中的轮廓点集合计算多个轮廓周长；将多个所述轮廓周长与周长预设值比较；响应于比较结果为所述轮廓周长与所述周长预设值符合预设条件，将该轮廓周长对应的轮廓对应于所述电压衬度的轮廓。6.根据权利要求5所述的缺陷定位方法，其特征在于，根据识别出的所述轮廓获取所述多个所述检测位置的坐标包括：获取多个所述电压衬度的轮廓点坐标；基于所述轮廓点坐标筛选出所述轮廓的重心点坐标作为所述检测位置的坐标。7.根据权利要求6所述的缺陷定位方法，其特征在于，基于所述轮廓点坐标筛选出所述轮廓的重心点坐标作为所述检测位置的坐标包括：基于所述轮廓点的x坐标和y坐标集合得到所述重心点的坐标集合；在所述重心点的坐标集合中筛选出不重复的重心点坐标作为所述检测位置的坐标。8.根据权利要求1所述的缺陷定位方法，其特征在于，根据所述灰度值和所述对应关系定位出所述存储阵列的缺陷包括：通过所述灰度值确定所述电压衬度指示的缺陷；以及基于建立的所述对应关系，确定出所述缺陷的位置。9.根据权利要求8所述的缺陷定位方法，其特征在于，通过所述灰度值确定所述电压衬度指示的缺陷包括：将所述多个电压衬度的灰度值与参考值比较；以及响应于比较结果为所述电压衬度的灰度值符合预设条件，将该电压衬度与所述缺陷对应。10.根据权利要求1所述的缺陷定位方法，其特征在于，所述方法还包括对所述检测位
置的坐标的缺失值进行填充。11.根据权利要求1
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10任一项所述的缺陷定位方法，其特征在于，所述方法应用于三维存储器。12.根据权利要求11所述的缺陷定位方法，其特征在于，所述三维存储器包括三维非易失性存储器。13.存储阵列的缺陷定位装置，包括：灰度处理模块，用于对所述存储阵列的检测图像进行灰度处理以获得所述检测图像中的多个电压衬度的灰度值，其中，所述电压衬度指示所述存储阵列对应的检测位置可能存在的缺陷；轮廓确定模块，用于在灰度处理后的检测图像中识别出所述多个电压衬度的轮廓；位置对应模块，用于根据识别出的所述轮廓获取所述多个所述检测位置的坐标，以与所述检测位置建立对应关系；以及缺陷定位模块，用于根据所述灰度值和所述对应关系定位出所述存储阵列的缺陷。14.根据权利要求13所述的缺陷定位装置，其特征在于，所述轮廓确定模块包括：轮廓点获取子模块，用于获取灰度处理后的所述检测图像中的轮廓点集合；轮廓确定子模块，用于从所述检测图像中的轮廓点集合中提取出所述多个电压衬度的轮廓。15.根据权利要求13所述的缺陷定位装置，其特征在于，缺陷定位模块包括：缺陷确定子模块，通过所述灰度值确定所述电压衬度指示的缺陷；以及缺陷定位子模块，基于建立的所述对应关系，确定出所述缺陷的位置。16.根据权利要求15所述的缺陷定位装置，其特征在于，缺陷确定子模块包括：比较单元，将所述多个电压衬度的灰度值与参考值比较；以及对应单元，响应于比较结果为所述电压衬度的灰度值符合预设条件，将该电压衬度与所述缺陷对应。17.根据权利要求13所述的缺陷定位装置，其特征在于，所述缺陷定位装置还包括缺失值填充模块，用于对所述检测位置的坐标的缺失值进行填充。18.根据权利要求13
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17任一项所述的缺陷定位装置，其特征在于，所述存储阵列包括三维存储器。19.根据权利要求18所述的缺陷定位装置，其特征在于，所述三维存储器包括三维非易失性存储器。20.一种设备，其特征在于，包括：存储器，用于存储计算机指令；处理器，用于与所述存储器通信以执行所述计算机指令，从而实现如权利要求1
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12任一项所述的方法。21.一种可读存储介质，其特征在于，所述可读存储介质中存储有计算机指令，所述计算机指令被处理器执行时实现如权利要求1
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12任一项所述的方法。

技术总结
本申请提供了一种存储阵列的缺陷定位方法、装置、设备及可读存储介质，该方法包括：对存储阵列的检测图像进行灰度处理以获得检测图像中的多个电压衬度的灰度值，其中，电压衬度指示存储阵列对应的检测位置可能存在的缺陷；在灰度处理后的检测图像中识别出多个电压衬度的轮廓；根据识别出的轮廓获取多个检测位置的坐标，以与检测位置建立对应关系；以及根据灰度值和对应关系定位出存储阵列的缺陷。该缺陷定位方法可保证检测图像质量不变的情况下，对庞大的电压衬数据进行自动批处理，运行几秒即可获取缺陷定位结果，避免对数据的多次重复性和手动操作。重复性和手动操作。重复性和手动操作。


技术研发人员：王文琪 王班 陈金星 马霏霏 吴佳琪
受保护的技术使用者：长江存储科技有限责任公司
技术研发日：2021.07.15
技术公布日：2021/10/23