交易请求的处理方法及半导体生产系统与流程

技术特征：
1.一种交易请求的处理方法，其特征在于，包括：通过代理模块完成制造执行系统与机台控制系统之间的信息交换；所述信息交换包括，所述机台控制系统将第一交易请求发送给所述代理模块，所述代理模块再将所述第一交易请求发送给所述制造执行系统。2.如权利要求1所述的交易请求的处理方法，其特征在于：所述信息交换还包括，所述制造执行系统接收并执行第一交易请求后，将对应的第一反馈结果发送给所述代理模块，所述代理模块再将所述第一反馈结果发送给所述机台控制系统。3.如权利要求2所述的交易请求的处理方法，其特征在于：在所述机台控制系统发送出所述第一交易请求之后，且在所述机台控制系统接收到所述第一反馈结果之前，所述机台控制系统能够接收由所述制造执行系统发送的第二交易请求。4.如权利要求3所述的交易请求的处理方法，其特征在于：当所述机台控制系统接收到来自所述制造执行系统发送的第二交易请求时响应并执行所述第二交易请求，再将对应的第二反馈结果发送给所述制造执行系统。5.如权利要求2所述的交易请求的处理方法，其特征在于：所述代理模块对所述第一交易请求进行第一信息格式转换以后发送给所述制造执行系统；所述代理模块对所述第一反馈结果进行第二信息格式转换以后发送给所述机台控制系统。6.如权利要求5所述的交易请求的处理方法，其特征在于：所述第一信息格式转换包括由postman协议到web service协议的格式转换；所述第二信息格式转换包括由web service协议到postman协议的格式转换。7.一种半导体生产系统，其特征在于，包括制造执行系统、机台控制系统以及代理模块，其中：所述代理模块分别通信连接所述制造执行系统以及机台控制系统，用于完成所述制造执行系统与所述机台控制系统之间的信息交换；所述代理模块用于接收所述机台控制系统发送出的第一交易请求再发送给所述制造执行系统，以及接收所述制造执行系统发出的与所述第一交易请求对应的第一反馈结果再发送给所述机台控制系统。8.如权利要求7所述的半导体生产系统，其特征在于：所述机台控制系统连接所述制造执行系统，在所述机台控制系统发送出所述第一交易请求之后，且在所述机台控制系统接收到所述第一反馈结果之前，所述机台控制系统能够接收由所述制造执行系统发送的第二交易请求；当所述机台控制系统接收到所述第二交易请求时对所述第二交易请求进行响应并执行，再将对应的第二反馈结果发送给所述制造执行系统。9.如权利要求7所述的半导体生产系统，其特征在于，所述代理模块包括：第一接收单元，其输入端连接所述机台控制系统，用于接收所述机台控制系统发出的第一交易请求；
第一转换处理单元，其输入端连接所述第一接收单元的输出端，用于将所述第一交易请求进行第一信息格式转换；第一发送单元，其输入端连接所述第一转换处理单元的输出端，其输出端连接所述制造执行系统，用于将进行第一信息格式转换后的所述第一交易请求发送给所述制造执行系统。10.如权利要求9所述的半导体生产系统，其特征在于，所述代理模块还包括：第二接收单元，其输入端连接所述制造执行系统，用于接收所述制造执行系统的第一反馈结果；第二转换处理单元，其输入端连接所述第二接收单元的输出端，用于将所述第一反馈结果进行第二信息格式转换；第二发送单元，其输入端连接所述第二转换处理单元的输出端，其输出端连接所述机台控制系统，用于将进行第二信息格式转换后的所述第一反馈结果发送给所述机台控制系统。

技术总结
本发明公开了一种交易请求的处理方法，其包括：通过代理模块完成制造执行系统与机台控制系统之间的信息交换；所述信息交换包括，所述机台控制系统将第一交易请求发送给所述代理模块，所述代理模块再将所述第一交易请求发送给所述制造执行系统。其优点是：通过设置代理模块，透过代理模块替代机台控制模块发送第一交易请求，避免了机台控制系统在接收第一交易请求时被锁定的情况，从而有效地提高制造执行系统向机台控制系统发送的第二交易请求时的预约成功率，进而提升生产效率。进而提升生产效率。进而提升生产效率。


技术研发人员：黎焕诚
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2020.04.21
技术公布日：2021/10/22