交易请求的处理方法及半导体生产系统与流程

1.本发明涉及半导体生产系统技术领域，具体涉及交易请求的处理方法及半导体生产系统。


背景技术：

2.如图1所示，为减轻人力的负担、提升操作的质量以及降低制造成本，半导体领域(semiconductor)一般会用到制造执行系统1’(manufacturing execution system，mes)与机台控制系统2’(tool control system，tcs)来提高工作效率。
3.但当制造执行系统1’与机台控制系统2’同时发送交易请求时，将由机台控制系统2’拒绝制造执行系统1’的请求以保证安全运行避免死锁，因此经常会导致制造执行系统1’预约失败；根据日常数据统计，正常生产中，半导体厂一天内产生上述预约失败的次数可高达成百上千次，由此可见，上述问题对生产效率造成了比较大的影响。


技术实现要素：

4.基于此，有必要针对上述的当机台控制系统与制造执行系统双边同时发送交易请求时，机台控制系统的主进程与制造执行系统的机台物件同时被锁定，系统程序默认执行机台控制系统拒绝制造执行系统的交易请求，降低制造执行系统预约成功率的问题，提供一种交易请求的处理方法及半导体生产系统，可以有效提高制造执行系统的交易请求预约成功率。
5.为实现上述目的，本发明提供一种交易请求的处理方法，其特征是，包括：
6.通过代理模块完成制造执行系统与机台控制系统之间的信息交换；
7.所述信息交换包括，所述机台控制系统将第一交易请求发送给所述代理模块，所述代理模块再将所述第一交易请求发送给所述制造执行系统。
8.上述的交易请求的处理方法，其中：
9.所述信息交换还包括，所述制造执行系统接收并执行第一交易请求后，将对应的第一反馈结果发送给所述代理模块，所述代理模块再将所述第一反馈结果发送给所述机台控制系统。
10.上述的交易请求的处理方法，其中：
11.在所述机台控制系统发送出所述第一交易请求之后，且在所述机台控制系统接收到所述第一反馈结果之前，所述机台控制系统能够接收由所述制造执行系统发送的第二交易请求。
12.上述的交易请求的处理方法，其中：
13.当所述机台控制系统接收到来自所述制造执行系统发送的第二交易请求时响应并执行所述第二交易请求，再将对应的第二反馈结果发送给所述制造执行系统。
14.上述的交易请求的处理方法，其中：
15.所述代理模块对所述第一交易请求进行第一信息格式转换以后发送给所述制造
执行系统；
16.所述代理模块对所述第一反馈结果进行第二信息格式转换以后发送给所述机台控制系统。
17.上述的交易请求的处理方法，其中：
18.所述第一信息格式转换包括由postman协议到web service协议的格式转换；
19.所述第二信息格式转换包括由web service协议到postman协议的格式转换。
20.一种半导体生产系统，其特征是，包括制造执行系统、机台控制系统以及代理模块，其中：
21.所述代理模块分别通信连接所述制造执行系统以及机台控制系统，用于完成所述制造执行系统与所述机台控制系统之间的信息交换；
22.所述代理模块用于接收所述机台控制系统发送出的第一交易请求再发送给所述制造执行系统，以及接收所述制造执行系统发出的与所述第一交易请求对应的第一反馈结果再发送给所述机台控制系统。
23.上述的半导体生产系统，其中：
24.所述机台控制系统连接所述制造执行系统，在所述机台控制系统发送出所述第一交易请求之后，且在所述机台控制系统接收到所述第一反馈结果之前，所述机台控制系统能够接收由所述制造执行系统发送的第二交易请求；
25.当所述机台控制系统接收到所述第二交易请求时对所述第二交易请求进行响应并执行，再将对应的第二反馈结果发送给所述制造执行系统。
26.上述的半导体生产系统，其中，所述代理模块包括：
27.第一接收单元，其输入端连接所述机台控制系统，用于接收所述机台控制系统发出的第一交易请求；
28.第一转换处理单元，其输入端连接所述第一接收单元的输出端，用于将所述第一交易请求进行第一信息格式转换；
29.第一发送单元，其输入端连接所述第一转换处理单元的输出端，其输出端连接所述制造执行系统，用于将进行第一信息格式转换后的所述第一交易请求发送给所述制造执行系统。
30.上述的半导体生产系统，其中，所述代理模块还包括：
31.第二接收单元，其输入端连接所述制造执行系统，用于接收所述制造执行系统的第一反馈结果；
32.第二转换处理单元，其输入端连接所述第二接收单元的输出端，用于将所述第一反馈结果进行第二信息格式转换；
33.第二发送单元，其输入端连接所述第二转换处理单元的输出端，其输出端连接所述机台控制系统，用于将进行第二信息格式转换后的所述第一反馈结果发送给所述机台控制系统。
34.本发明采用上述技术方案，具体有以下优点：透过代理模块替代机台控制系统发送第一交易请求，避免了原先机台控制系统在发送第一交易请求时需要被锁定的情况，从而有效地提高制造执行系统向机台控制系统发送的第二交易请求时的预约成功率，进而提升生产效率。
附图说明
35.图1为现有技术中的机台控制系统与制造执行系统在双边同时发送交易请求时的工作原理图；
36.图2为现有技术中的机台控制系统与制造执行系统在双边同时发送交易请求时的时序流程图；
37.图3为本发明的交易请求的处理方法的流程图；
38.图4为本发明的一实施例中的交易请求的处理方法的机台控制系统与制造执行系统在双边同时发送交易请求时的时序流程图；
39.图5为本发明的半导体生产系统的结构框图；
40.图6为本发明的一实施例中的半导体生产系统中的代理模块的结构框图。
具体实施方式
41.为了更好地理解本发明的目的、技术方案以及技术效果，以下结合附图和实施例对本发明进行进一步的讲解说明。同时声明，以下所描述的实施例仅用于解释本发明，并不用于限定本发明。
42.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
43.在使用本文中描述的“包括”、“具有”、和“包含”的情况下，除非使用了明确的限定用语，例如“仅”、“由
……
组成”等，否则还可以添加另一部件或方法。除非相反地提及，否则单数形式的术语可以包括复数形式，并不能理解为其数量为一个。
44.如图1所示，现有的半导体生产系统包括：制造执行系统1’、连接制造执行系统1’的机台控制系统2’、连接制造执行系统1’的操作客户端/监控程序5’，连接机台控制系统2’的设备自动化系统3’以及连接设备自动化系统3’的操作机台4’；其中，用户通过操作客户端向制造执行系统1’发送请求以及通过操作客户端显示制造执行系统1’的执行结果，监控程序5’用于控制制造执行系统1’自动定时启动运行，将待生产的货预约并传送至符合生产条件的操作机台4’上，上述各设备、系统之间的信息交互需要通过相应的通信协议来完成，例如，所述制造执行系统1’与所述机台控制系统2’、操作客户端以及监控程序5’之间分别通过corba协议(common object request broker architecture，通用对象请求代理体系)完成通信，所述设备自动化系统3’与所述机台控制系统2’之间通过postman协议完成通信，所述机台控制系统2’与所述操作机台4’之间通过secs协议完成通信。
45.如图2所示，现有的制造执行系统1’与机台控制系统2’在运行时，当制造执行系统1’与机台控制系统2’同时向对方发送交易请求(transaction request，tx)时存在如下情况：由机台控制系统1’向制造执行系统2’发送“更新机台状态请求”(update eqp state)时，机台控制系统2’的主进程将预先“启动忙碌标志”(enable busy flag)使主进程进入锁定，如果与此同时制造执行系统也向机台控制系统发送“预约派送交易请求”(lot reserve tx)，则同时制造执行系统1’的机台物件(eqp object)也进入锁定，为了避免死锁(dead lock)，机台控制系统2’将首先“检查忙碌标志”(check busy flag)，并且由于检查到忙碌
标志已经被启动，因此机台控制系统2’将向制造执行系统1’反馈“拒绝预约交易请求”(reject reserve tx)以提示制造执行系统1’的交易请求预约失败。也就是说，当出现机台控制系统1’与制造执行系统2’双边同时发送交易请求时，机台控制系统1’的主进程与制造执行系统2’的机台物件同时被锁定，系统程序默认执行机台控制系统2’拒绝制造执行系统1’的预约交易请求，这一过程直接导致制造执行系统预约失败。
46.为了解决上述当机台控制系统2’与制造执行系统1’双边同时发送交易请求时由机台控制系统2’拒绝制造执行系统1’以避免死锁，因此导致制造执行系统1’预约失败的问题，请参阅图4、图5，本发明提供了一种交易请求的处理方法，其包括：通过代理模块6完成制造执行系统1与机台控制系统2之间的信息交换。可以理解的是，这里所说的信息交换，可以是机台控制系统2与制造执行系统1之间所有需要进行交互的信息，也可以是部分。
47.在一实施例中，交易请求的处理方法中的信息交换包括：机台控制系统2将第一交易请求发送给所述代理模块6，代理模块6将第一交易请求发送给制造执行系统1，由此，避免了原先机台控制系统2在发送第一交易请求时需要被锁定的情况，从而有效地提高制造执行系统1向机台控制系统2发送的第二交易请求时的预约成功率，进而提升生产效率。
48.作为示例，信息交换还可以包括：制造执行系统1接收并执行第一交易请求后，将对应的第一反馈结果发送给代理模块6，代理模块6再将第一反馈结果发送给机台控制系统2。在一实施例中，代理模块6实时地从制造执行系统1接收所述第一反馈结果。
49.在一实施例中，交易请求的处理方法还包括：在机台控制系统2发送出第一交易请求之后，且在机台控制系统2接收到第一反馈结果之前，机台控制系统2能够接收由制造执行系统1发送的第二交易请求。
50.当机台控制系统2接收到来自制造执行系统1发送的第二交易请求时响应并执行第二交易请求，再将对应的第二反馈结果发送给制造执行系统1。
51.由于采用的是外部代理模块6，因此为了达到机台控制系统2与制造执行系统1之间收发信息格式匹配的目的，具体的，在一实施例中，代理模块6对第一交易请求进行第一信息格式转换以后发送给制造执行系统1；代理模块6对第一反馈结果进行第二信息格式转换以后发送给机台控制系统2。具体的：第一信息格式转换包括由postman协议到web service协议的格式转换；第二信息格式转换包括由web service协议到postman协议的格式转换。
52.接下来，将结合一个具体实施例，对本发明的交易请求的处理方法的工作原理以及所能达到的技术效果进行详细解释：
53.如图3、图4所示，在本实施例中，交易请求的处理方法具体包括如下步骤：
54.s1、通过代理模块6将机台控制系统2的第一交易请求发送给制造执行系统1；制造执行系统1接收并执行第一交易请求后，将对应的第一反馈结果发送给代理模块6；
55.作为示例，第一交易请求可以包括“更新机台状态(update eqp state)”；具体的，将“更新机台状态”进行postman协议到web service协议的转换，然后将基于web service协议的“更新机台状态”请求发送到制造执行系统1的进程2中；所述制造执行系统1可以提供多个web service信息接收模块用于接收所述“更新机台状态”请求；
56.通过代理模块6将“更新机台状态”的请求进行发送后，就可以取消或者不执行机台控制系统2中主进程中的锁定程序，从而提高了制造执行系统1的预约成功率；
57.作为示例，第一反馈结果可以包括：制造执行系统2执行完第一交易请求后的反馈结果(return result)，例如：成功(normal end)、失败(error code)与失败原因(error description)。具体的，执行结果被发送到机台控制系统2的主进程(main thread)。
58.s2、当机台控制系统2接收到来自制造执行系统1的第二交易请求时保留第二交易请求，响应并执行第二交易请求，同时将对应的第二反馈结果发送给制造执行系统1，第二反馈结果可以包括交易请求成功(normal end)；
59.这里，对第二交易请求进行保留后机台控制系统2还将第二交易请求转到主进程中进行执行；
60.作为示例，第二交易请求可以包括“预约派送交易请求(lot reserve tx)”，当制造执行系统1发送“预约派送交易请求”给机台控制系统2时，会同时对机台物件进行锁定，因此，制造执行系统1的交易请求成功是从服务器进程(server thread)反馈到所述制造执行系统1的进程1中，以解除之前机台物件的锁定，便于第一交易请求的顺利执行；所述的“预约派送交易请求”是发送到机台控制系统2的服务器进程中的。
61.s3、代理模块6将制造执行系统1的第一反馈结果发送给机台控制系统2；
62.具体的，将“反馈结果”进行web service协议到postman协议的转换，然后将基于postman协议的“反馈结果”发送到制造执行系统1的进程2中。
63.可以理解的是，上述方法中，步骤s1～s2可以同时进行也可以按照任意顺序进行，都可以达到本发明目的。
64.所述的步骤s1之前还可以包括：
65.s0：机台控制系统2将第一交易请求发送给代理模块6；具体的，第一交易请求从机台控制系统2的主进程发出。
66.本发明还提出一种半导体生产系统，其包括制造执行系统1、机台控制系统2以及代理模块6，其中：
67.代理模块6分别通信连接制造执行系统1以及机台控制系统2，用于完成制造执行系统1与机台控制系统2之间的信息交换；
68.具体的，代理模块6用于接收机台控制系统2发送出的第一交易请求再发送给制造执行系统1，以及接收制造执行系统1发出的与第一交易请求对应的第一反馈结果再发送给机台控制系统2。
69.所述的半导体生产系统中：机台控制系统2连接所述制造执行系统1，在机台控制系统2发送出所述第一交易请求之后，且在机台控制系统2接收到第一反馈结果之前，机台控制系统2能够接收由制造执行系统1发送的第二交易请求；
70.当机台控制系统2接收到第二交易请求时对第二交易请求进行响应并执行，再将对应的第二反馈结果发送给制造执行系统1。
71.如图6所示，所述的半导体生产系统中，代理模块6包括：
72.第一接收单元61，其输入端连接机台控制系统2，用于接收机台控制系统2发出的第一交易请求；
73.第一转换处理单元62，其输入端连接第一接收单元61的输出端，用于将第一交易请求进行第一信息格式转换；
74.第一发送单元63，其输入端连接第一转换处理单元62的输出端，其输出端连接制
造执行系统1，用于将进行第一信息格式转换后的第一交易请求发送给制造执行系统1。
75.所述的半导体生产系统，其中，代理模块6还包括：
76.第二接收单元64，其输入端连接制造执行系统1，用于接收制造执行系统1的第一反馈结果；
77.第二转换处理单元65，其输入端连接第二接收单元64的输出端，用于将第一反馈结果进行第二信息格式转换；
78.第二发送单元66，其输入端连接第二转换处理单元65的输出端，其输出端连接机台控制系统2，用于将进行第二信息格式转换后的第一反馈结果发送给机台控制系统2。
79.本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。非易失性存储器可包括只读存储器(read-only memory，rom)、磁带、软盘、闪存或光存储器等。易失性存储器可包括随机存取存储器(random access memory，ram)或外部高速缓冲存储器。作为说明而非局限，ram可以是多种形式，比如静态随机存取存储器(static random access memory，sram)或动态随机存取存储器(dynamic random access memory，dram)等。
80.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
81.以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。