控制装置以及对位装置的制作方法

1.本公开涉及能够应用于对位装置的控制装置以及具备该控制装置的对位装置。


背景技术：

2.在专利文献1中公开了一种位置控制系统，其具备：位置决定部，其决定控制对象物的估计位置；以及反馈控制部，其使用由位置决定部决定的估计位置，将使控制对象物对准目标位置的控制数据输出到驱动装置。在所述位置控制系统中，使用来自使控制对象物移动的驱动装置的来自使控制对象物移动的驱动装置的反复取得的与控制对象物相关的位置关联数据、和通过图像处理测量控制对象物与目标位置的位置关系而得到的测量数据，来决定控制对象物的估计位置。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开2019
‑
003388号公报


技术实现要素：

6.发明要解决的课题
7.在所述位置控制系统中，若来自驱动装置的位置关联数据以及对控制对象物与目标位置的位置关系进行测量所得的测量数据中的至少任一个存在偏差、或包含振动成分等，则所决定的控制对象物的估计位置的精度存在偏差，有时难以缩短使控制对象物对准目标位置的时间。
8.本公开的课题在于提供一种控制装置以及具备该控制装置的对位装置，该控制装置能够控制对位装置的移动装置，使得能够缩短对象物对于目标位置的对位时间。
9.用于解决课题的手段
10.本公开的一个例子的控制装置能够控制对位装置的移动装置，所述对位装置具有：
11.保持装置，其能够保持对象物；
12.移动装置，其能够使所述保持装置移动而使所述对象物向目标位置移动；以及
13.位置传感器，其计算所述保持装置相对于所述对象物移动到所述目标位置时的位置的相对位置；以及
14.视觉传感器，其配置为在通过所述移动装置使所述对象物向所述目标位置移动时，能够同时拍摄所述对象物和所述目标位置，能够反复根据拍摄到的图像计算所述对象物相对于所述目标位置的相对位置，
15.所述控制装置具备：
16.第一统计处理部，其取得由所述视觉传感器计算出的所述对象物的多个相对位置，对取得的所述对象物的多个相对位置进行统计处理；
17.第二统计处理部，其从所述位置传感器取得与由所述视觉传感器算出的所述对象
物的多个相对位置分别对应的所述保持装置的相对位置，对所取得的所述保持装置的多个相对位置进行统计处理；以及
18.移动控制部，其基于由所述第一统计处理部统计处理后的所述对象物的相对位置和由所述第二统计处理部统计处理后的所述保持装置的相对位置，对所述移动装置进行反馈控制，一边使所述对象物接近所述目标位置一边相对于所述目标位置进行对位。
19.本公开的一个例子的对位装置具备：
20.所述视觉传感器；
21.所述保持装置；
22.所述移动装置；以及
23.所述控制装置。
24.在本公开的一例的对位方法中，
25.在通过移动装置使保持装置所保持的对象物向目标位置移动时，对根据反复同时拍摄所述对象物和所述目标位置得到的各图像而计算出的所述对象物的多个相对位置进行统计处理，
26.对与计算出的所述对象物的多个相对位置分别对应的所述保持装置的相对位置进行统计处理，
27.基于所述对象物的相对位置和统计处理后的所述保持装置的相对位置，对所述移动装置进行反馈控制，一边使所述对象物接近所述目标位置一边相对于所述目标位置进行对位。
28.发明效果
29.根据所述控制装置，基于由第一统计处理部统计处理后的对象物的相对位置和由第二统计处理部统计处理后的保持装置的相对位置，对移动装置进行反馈控制，一边使对象物接近目标位置一边相对于所述目标位置进行对位。因此，能够实现一种控制装置，该控制装置能够将对象物的相对位置与保持装置的相对位置更准确地建立对应，能够以能够缩短对象物相对于目标位置的对位时间的方式控制对位装置的移动装置。
30.根据所述对位装置，通过所述控制装置，能够实现能够缩短对象物相对于目标位置的对位时间的对位装置。
31.根据所述对位方法，基于统计处理后的对象物的相对位置和统计处理后的保持装置的相对位置，对移动装置进行反馈控制，一边使对象物接近目标位置一边相对于所述目标位置进行对位。因此，能够将对象物的相对位置与保持装置的相对位置更准确地建立对应，缩短对象物相对于目标位置的对位时间。
附图说明
32.图1是表示本公开的一个实施方式的对位装置的立体图。
33.图2是图1的对位装置的载置台以及移动装置的俯视图。
34.图3是表示图1的对位装置的结构的框图。
35.图4是示出本公开的一个实施方式的控制装置的第一定时信号和第二定时信号的关系的曲线图。
36.图5是用于说明图4的控制装置的对位处理的第一流程图。
37.图6是用于说明图4的控制装置的对位处理的第二流程图。
具体实施方式
38.以下，根据附图对本公开的一个例子进行说明。此外，在以下的说明中，根据需要使用表示特定的方向或者位置的用语(例如，包括“上”、“下”、“右”、“左”的用语)，但这些用语的使用是为了使得参照附图容易理解本公开，并不通过这些用语的意思来限定本公开的技术范围。另外，以下的说明本质上只不过是例示，并不意图限制本公开、其应用物、或者其用途。而且，附图是示意性的，各尺寸的比率等未必与现实一致。
39.如图1所示，本公开的一个实施方式的控制装置100构成为能够控制对位装置1的移动装置20。作为一例，对位装置1具备：载置台10，其能够保持工件2；移动装置20，其使载置台10移动；视觉传感器30，其能够反复拍摄保持于载置台10的工件2；以及控制装置100，其控制移动装置20。此外，工件2是对象物的一例，载置台10是保持装置的一例。
40.载置台10具有能够保持工件2的保持面11，构成为能够与保持于保持面11的工件2一起沿着保持面11移动。
41.需要说明的是，保持装置不限于载置台10，例如也可以是末端执行器。
42.如图2所示，移动装置20构成为能够使载置台10移动而使工件2向目标位置p移动。
43.详细而言，如图2所示，作为一例，移动装置20具有：第一驱动部21，其使载置台10在沿着保持面11的x方向上移动；以及第二驱动部22，其使载置台10在沿着保持面11且与x方向交叉(例如，正交)的y方向上移动。第一驱动部21由与载置台10连接的第一工作台211和使载置台10沿x方向移动的马达212构成。第二驱动部22由与第一工作台211连接的第二工作台221和使载置台10与第一工作台211一起沿y方向移动的马达222构成。
44.在各驱动部21、22设置有检测马达212、222的旋转的编码器23(图3所示)。该编码器23是位置传感器的一例，计算相对于所保持的工件2位于目标位置p时的载置台10的xy方向的位置的、载置台10的xy方向的相对位置(以下，简称为载置台10的相对位置)。计算出的载置台10的位置被输出至控制装置100。
45.另外，移动装置20不限于构成为使载置台10沿着xy平面移动(即，2维移动)的情况。移动装置20例如可以构成为使载置台10进行3维移动，也可以构成为除了2维移动及3维移动以外还伴有旋转移动。另外，移动装置20例如也可以是多轴机械臂。在该情况下，多轴机械臂也可以包括由末端执行器构成的保持装置。即，也可以由多轴机械臂构成保持装置以及移动装置20。
46.如图1所示，作为一例，视觉传感器30由图像处理部32以及具有拍摄轴与z方向平行的1个照相机311的拍摄部31构成。拍摄部31的照相机311配置为在通过移动装置20使保持于载置台10的工件2向目标位置p移动(图2所示)时，能够同时拍摄工件2的基准点201(图2所示)和目标位置p。图像处理部32构成为能够反复根据由拍摄部31拍摄到的图像来计算工件2的基准点201相对于目标位置p在xy方向上的相对位置(以下，简称为工件2的相对位置)。
47.工件2的基准点201是使工件2对准目标位置p时的基准，对于工件2设置有至少1个基准点。目标位置p根据对位装置1的设计等而任意设定。
48.另外，拍摄部31不限于由1个照相机311构成的情况，也可以由2个以上的照相机构
成。另外，照相机311不限于配置成拍摄轴与z方向平行的情况，也可以配置成拍摄轴与x方向或y方向平行。
49.控制装置100例如是plc(可编程逻辑控制器)，具有进行运算等的cpu等处理器、预先存储移动装置20的控制所需的程序或者数据的rom以及ram等存储介质、以及与对位装置1的外部之间进行信号的输入输出的接口。
50.详细而言，如图3所示，控制装置100具有第一统计处理部101、第二统计处理部102、移动控制部103、第一定时生成部104以及第二定时生成部105。这些控制装置100的各部是通过处理器执行规定的程序而实现的功能。
51.第一统计处理部101对由视觉传感器30计算出的工件2的多个相对位置进行统计处理。
52.详细而言，第一统计处理部101根据目标位置p与由视觉传感器30计算出的工件2的基准点201之间的直线距离d(图2所示)，判定是否对由视觉传感器30计算出的工件2的多个相对位置进行统计处理。而且，第一统计处理部101在从判定为对由视觉传感器30计算出的工件2的多个相对位置进行统计处理时起至工件2相对于目标位置p的对位处理结束为止的期间，取得由视觉传感器30的图像处理部32计算出的工件2的多个相对位置，并通过移动平均对取得的工件2的多个相对位置进行平滑化。
53.第二统计处理部102从编码器23取得与由视觉传感器30计算出的工件2的多个相对位置分别对应的载置台10的相对位置，并对取得的载置台10的多个相对位置进行统计处理。
54.详细而言，第二统计处理部102与第一统计处理部101同样地，根据目标位置p与由视觉传感器30计算出的工件2的基准点201之间的直线距离d(图2所示)，判定是否对由视觉传感器30计算出的工件2的多个相对位置进行统计处理。而且，第二统计处理部102在从判定为对由视觉传感器30计算出的工件2的多个相对位置进行统计处理时起至工件2相对于目标位置p的对位处理结束为止的期间，每当接收到从第二定时生成部105输出的第二定时信号时，取得由编码器23计算出的载置台10的装置位置，并通过移动平均对取得的载置台10的多个相对位置进行平滑化。
55.移动控制部103基于由第一统计处理部101统计处理后的工件2的相对位置和由第二统计处理部102统计处理后的载置台10的相对位置，对移动装置20进行反馈控制。详细而言，移动控制部103使用统计处理后的工件2的相对位置和统计处理后的载置台10的相对位置来计算工件2的估计位置。然后，移动控制部103使用计算出的工件2的估计位置对移动装置20进行反馈控制，一边使工件2的基准点201接近目标位置p一边相对于目标位置p进行对位。此时，工件2的相对位置的坐标系使用校正参数被变换为载置台10的相对位置的坐标系。即，移动控制部103构成为进行视觉反馈控制，该视觉反馈控制反复进行使工件2的基准点201的当前位置与目标位置p之间的位置偏差最小化的反馈控制。
56.第一定时生成部104输出使视觉传感器30的拍摄部31拍摄工件2的第一定时信号。拍摄部31在每次被输入第一定时信号时，同时拍摄工件2的基准点201和目标位置p。
57.第二定时生成部105在由第一定时生成部104输出了第一定时信号以后，输出使第二统计处理部102取得由编码器23计算出的载置台10的相对位置的第二定时信号。第二定时信号的输出是基于从输出第一定时信号时到视觉传感器30拍摄工件2为止的响应时间
(即，响应延迟时间)以及由视觉传感器30拍摄工件2时的曝光时间而输出的。
58.视觉传感器30具有从输出第一定时信号时起到由拍摄部31拍摄工件2时为止的响应时间。另外，根据拍摄部31拍摄工件2并取得图像所需的曝光时间(即，由视觉传感器30拍摄工件2时的曝光时间)和该曝光时间内的工件2的移动量，拍摄结果(即，计算出的工件2的相对位置)产生变形(所谓的抖动)。因此，如图4所示，通过从输出第一定时信号时(在图4中用t1表示)起延迟如下的时间δt而输出第二定时信号(在图4中用t2表示)，抑制了拍摄结果的变形，该时间δt是将到拍摄工件2时为止的响应时间和与由视觉传感器30拍摄工件2时的曝光时间对应的调整时间相加而得到的。
59.此外，从输出第一定时信号时到视觉传感器30拍摄工件2为止的响应时间例如根据视觉传感器30的性能等而预先设定。具体而言，例如，在经由数字on/off信号进行交接的情况下，响应时间为数μs至数十μs，在经由现场网络等的通信的情况下，为数十μs至数ms。由视觉传感器30拍摄工件2时的曝光时间例如基于照明环境、图像元件的性能以及所使用的镜头等条件来设定，大致为数十ms至数百ms。
60.接下来，参照图5以及图6，对一边使工件2的基准点201接近目标位置p一边相对于目标位置p进行对位的对位处理的一个例子进行说明。以下说明的这些处理通过控制装置100执行规定的程序来实施。
61.如图5所示，控制装置100从视觉传感器30取得工件2的相对位置，并取得从编码器23取得的与工件2的相对位置对应的载置台10的相对位置(步骤s1)。
62.步骤s1如图6所示那样进行处理。即，第一统计处理部101判定是否从第一定时生成部104输出了第一定时信号(步骤s11)。重复该步骤s11，直到判定为从第一定时生成部104输出了第一定时信号为止。当输出第一定时信号时，由视觉传感器30的拍摄部31拍摄工件2，由图像处理部32计算工件2的相对位置。
63.当判定为从第一定时生成部104输出了第一定时信号时，第二定时生成部105判定从输出了第一定时信号时起是否经过了例如以(预先取得的响应时间 预先取得的曝光时间)/2计算出的时间(以下，称为校正时间)(步骤s12)。重复该步骤s12，直到判定为从输出了第一定时信号时起经过了校正时间为止。
64.此外，校正时间是根据视觉传感器30的特性决定的确定工件2的拍摄定时的时间即可。例如，在如一般的静态照相机的自定时器那样以预先决定的任意的时间来确定拍摄定时的情况下，使用在校正时间中包含该任意的时间的决定式。
65.当判定为从输出第一定时信号时起经过了校正时间时，第二定时生成部105输出第二定时信号(步骤s13)。当输出了第二定时信号时，第二统计处理部102取得输出第二定时信号时的载置台10的相对位置(即，与在步骤s16中取得的工件2的相对位置对应的载置台10的相对位置)(步骤s14)。
66.当取得载置台10的相对位置时，第一统计处理部101判定是否由视觉传感器30计算出了工件2的相对位置(步骤s15)。重复该步骤15，直到判定为计算出了工件2的相对位置为止。当判定为计算出了工件2的相对位置时，第一统计处理部101取得输出第一定时信号时的工件2的相对位置(步骤s16)。
67.如图5所示，当在步骤s1中取得工件2的相对位置及载置台10的相对位置时，移动控制部103判定所取得的工件2的相对位置与目标位置p之间的距离d是否为第一阈值以下
(步骤s2)。第一阈值例如是工件2的基准点201相对于目标位置p的对位的容许误差的最大值，是预先设定的。即，若判定为距离d为第一阈值以下，则对位处理结束。
68.在判定为距离d比第一阈值大的情况下，第一统计处理部101以及第二统计处理部102分别判定距离d是否为第二阈值(＞第一阈值)以下(步骤s3)。第二阈值例如考虑以下的2点来预先设定。
69.(1)在对位处理刚开始后，由视觉传感器30计算出的工件2的相对位置与目标位置p之间的距离d大，载置台10的动作量也大。但是，随着对位处理的进行，计算出的工件2的相对位置与目标位置p之间的距离d变小，伴随于此，载置台10的动作量也变小。因此，不需要考虑对位处理刚开始后的工件2的相对位置以及载置台的相对位置。
70.(2)在统计处理中利用移动平均等过去的信息的情况下，若考虑偏差大的对位处理刚开始后的工件2的相对位置以及载置台的相对位置，则成为由过度的操作引起的过冲(overshoot)的原因。
71.在判定为距离d为第二阈值以下的情况下，第一统计处理部101以及第二统计处理部102分别判定是否取得了统计处理所需的数量的工件2的相对位置以及载置台的相对位置(步骤s4)。关于统计处理所需的数量，在实施平均化的情况下，例如设所取得的各相对位置的偏差遵循正态分布，则基于根据将所要求的精度作为置信区间的情况下的置信系数和所取得的各相对位置的方差而计算出的统计学上的数值来设定统计处理所需的数量。详细而言，考虑实际一边使对位装置1动作一边使样本数(即，平均数)减少的情况下的对位装置1的动作结果和所要求的对准时间，使计算出的统计学上的数值增减。
72.在判定为取得了统计处理所需的数量的工件2的相对位置以及载置台的相对位置的情况下，第一统计处理部101以及第二统计处理部102分别对取得的工件2的多个相对位置以及载置台的多个相对位置进行统计处理(步骤s5)。
73.在步骤s3中判定为距离d大于第二阈值的情况、步骤s4中判定为没有取得统计处理所需的数量的工件2的相对位置和载置台的相对位置的情况下，移动控制部103根据之前最新获得的工件2的相对位置和载置台的相对位置，对移动装置20进行反馈控制而使载置台10移动，使工件2的基准点201接近目标位置p。另一方面，在步骤s5中对工件2的多个相对位置以及载置台的多个相对位置进行了统计处理的情况下，移动控制部103基于统计处理后的工件2的相对位置以及载置台10的相对位置，对移动装置20进行反馈控制而使载置台10移动，使工件2的基准点201接近目标位置p(步骤s6)。
74.当步骤s6结束时，返回步骤s1，再次取得工件2的相对位置和与工件2的相对位置对应的载置台10的相对位置。此外，在基于在再次的步骤s1中新取得的工件2的相对位置以及载置台的相对位置进行移动装置20的控制之前，基于之前最新取得的工件2的相对位置以及载置台的相对位置进行移动装置20的控制。即，载置台10一旦开始移动，则在对位处理结束之前不停止地持续移动。
75.这样，根据控制装置100，基于由第一统计处理部101统计处理后的工件2的相对位置和由第二统计处理部102统计处理后的载置台10的相对位置，对移动装置20进行反馈控制，一边使工件2的基准点201接近目标位置p一边相对于目标位置p进行对位。通过这样的结构，能够准确地将以相对长周期更新的工件2的相对位置与以相对短周期更新的载置台10的相对位置建立对应。其结果是，能够实现如下的控制装置100：能够将工件2的相对位置
与载置台10的相对位置更准确地建立对应，能够以能够缩短工件2相对于目标位置p的对位时间的方式控制对位装置1的移动装置20。
76.另外，根据由控制装置100执行的对位方法，基于统计处理后的工件2的相对位置和统计处理后的载置台10的相对位置，对移动装置20进行反馈控制，一边使工件2接近目标位置p一边相对于目标位置p进行对位。因此，即使在由视觉传感器30计算出的工件2的相对位置以及由编码器23计算出的载置台10的相对值存在偏差的情况下，也能够使工件2相对于目标位置p高精度地对位。
77.另外，还具备：第一定时生成部104，其输出使视觉传感器30拍摄工件2的第一定时信号；以及第二定时生成部105，其在由第一定时生成部104输出了第一定时信号以后，基于从输出了第一定时信号时起至视觉传感器30拍摄工件2为止的响应时间和由视觉传感器30拍摄工件2时的曝光时间，输出使第二统计处理部102取得由编码器23计算出的载置台10的相对位置的第二定时信号。通过这样的结构，能够更准确地将工件2的相对位置与载置台10的相对位置建立对应。
78.另外，由第一统计处理部101以及第二统计处理部102各自进行的统计处理是移动平均。通过这样的结构，能够减轻控制装置100的处理负荷。
79.另外，第一统计处理部101根据目标位置p与由视觉传感器30计算出的工件2的相对位置之间的距离d，判定是否对由视觉传感器30计算出的工件2的多个相对位置进行统计处理。第二统计处理部102根据距离d，判定是否对取得的载置台10的多个相对位置进行统计处理。通过这样的结构，能够更准确地将工件2的相对位置与载置台10的相对位置建立对应。
80.即，通过控制装置100，能够实现能够缩短工件2相对于目标位置p的对位时间的对位装置1。
81.此外，控制装置100具备第一统计处理部101、第二统计处理部102以及移动控制部103即可。例如，也可以省略第一定时生成部104以及第二定时生成部105。在该情况下，各统计处理部101、102能够构成为在预先设定的一体的定时自主地取得工件2的相对位置以及载置台10的相对位置。
82.由第一统计处理部101以及第二统计处理部102各自进行的统计处理不限于使用移动平均的情况，也可以使用中值(即，中央值)。
83.第一统计处理部101以及第二统计处理部102各自能够对取得的工件2的多个相对位置或者取得的载置台10的多个相对位置进行统计处理即可。即，能够省略图5的步骤s3以及s4。
84.以上，参照附图对本公开中的各种实施方式进行了详细说明，最后对本公开的各种方式进行说明。此外，在以下的说明中，作为一个例子，也添加附图标记进行记载。
85.本公开的第一方式的控制装置100能够控制对位装置1的移动装置20，该对位装置1具有：
86.保持装置10，其能够保持对象物2；
87.所述移动装置20，其能够使所述保持装置10移动而使所述对象物2向目标位置p移动；
88.位置传感器23，其计算所述保持装置10相对于所述对象物2移动到所述目标位置p
时的位置的相对位置；以及
89.视觉传感器30，其被配置为在通过所述移动装置20使所述对象物2向所述目标位置p移动时，能够同时拍摄所述对象物2和所述目标位置p，能够反复根据拍摄到的图像计算所述对象物2相对于所述目标位置p的相对位置，
90.所述控制装置100具备：
91.第一统计处理部101，其取得由所述视觉传感器30计算出的所述对象物2的多个相对位置，对取得的所述对象物的多个相对位置进行统计处理；
92.第二统计处理部102，其从所述位置传感器23取得与由所述视觉传感器30计算出的所述对象物2的多个相对位置分别对应的所述保持装置10的相对位置，对取得的所述保持装置10的多个相对位置进行统计处理；以及
93.移动控制部103，其基于由所述第一统计处理部101统计处理后的所述对象物2的相对位置和由所述第二统计处理部102统计处理后的所述保持装置10的相对位置，对所述移动装置20进行反馈控制，一边使所述对象物2接近所述目标位置p一边相对于所述目标位置p进行对位。
94.根据第一方式的控制装置100，能够准确地将以相对长周期更新的对象物2的相对位置与以相对短周期更新的保持装置10的相对位置建立对应。其结果是，能够实现如下的控制装置100：能够将对象物2的相对位置与保持装置10的相对位置更准确地建立对应，能够以能够缩短对象物2相对于目标位置p的对位时间的方式控制对位装置1的移动装置20。
95.本公开的第二方式的控制装置100还具备：
96.第一定时生成部104，其输出使所述视觉传感器30拍摄所述对象物2的第一定时信号；
97.第二定时生成部105，其在由所述第一定时生成部104输出了第一定时信号以后，基于从输出了所述第一定时信号时到所述视觉传感器30拍摄所述对象物2为止的响应时间和由所述视觉传感器30拍摄所述对象物2时的曝光时间，输出使所述第二统计处理部102取得由所述位置传感器23计算出的所述保持装置10的相对位置的第二定时信号。
98.根据第二方式的控制装置100，能够更准确地将工件2的相对位置与载置台10的相对位置建立对应。
99.在本公开的第三方式的控制装置100中，
100.由所述第一统计处理部101以及所述第二统计处理部102各自进行的统计处理是移动平均。
101.根据第三方式的控制装置100，能够减轻控制装置100的处理负荷。
102.在本公开的第四方式的控制装置100中，
103.所述第一统计处理部101根据所述目标位置p与由所述视觉传感器30计算出的所述对象物的相对位置之间的距离d，判定是否对由所述视觉传感器30计算出的所述对象物2的多个相对位置进行统计处理，
104.所述第二统计处理部102根据所述距离d，判定是否对所取得的所述保持装置10的多个相对位置进行统计处理。
105.在对位控制刚开始之后，由视觉传感器30计算出的对象物2的相对位置与目标位置p之间的距离d大，保持装置10的动作量也大。若考虑这样偏差大的对位处理刚开始后的
工件2的相对位置以及载置台的相对位置，则成为由过度的操作引起的过冲的原因，有可能导致对位时间的增大。根据第四方式的控制装置100，能够不考虑对位处理刚开始后的工件2的相对位置以及载置台的相对位置而进行对象物2相对于目标位置p的对位，因此能够更可靠地缩短对象物2相对于目标位置p的对位时间。
106.本公开的第五方式的对位装置1包括：
107.所述保持装置10；
108.所述移动装置20；
109.所述位置传感器23；
110.所述视觉传感器30；以及
111.上述方式的控制装置100。
112.根据第五方式的对位装置1，通过控制装置100，能够实现能够缩短对象物2相对于目标位置p的对位时间的对位装置1。
113.在本公开的第六方式的对位方法中，
114.在通过移动装置20使保持装置10所保持的对象物2向目标位置p移动时，对根据反复同时拍摄所述对象物2以及所述目标位置p得到的各图像而计算出的所述对象物2的多个相对位置进行统计处理，
115.对与计算出的所述对象物2的多个相对位置分别对应的所述保持装置10的相对位置进行统计处理，
116.基于所述对象物2的相对位置和统计处理后的所述保持装置10的相对位置，对所述移动装置20进行反馈控制，一边使所述对象物2接近所述目标位置p一边相对于所述目标位置p进行对位。
117.根据第六方式的对位方法，能够将对象物2的相对位置与保持装置10的相对位置更准确地建立对应，从而缩短对象物2相对于目标位置p的对位时间。
118.此外，通过适当组合上述各种实施方式或变形例中的任意的实施方式或变形例，能够起到各自所具有的效果。另外，能够进行实施方式彼此的组合或实施例彼此的组合或实施方式与实施例的组合，并且也能够进行不同的实施方式或实施例中的特征彼此的组合。
119.参照附图并与优选的实施方式相关联地充分记载了本公开，但对于熟练该技术的人来说，各种变形、修正是显而易见的。这样的变形、修正只要不脱离基于所附权利要求书的本公开的范围，就应理解为包含于其中。
120.产业上的可利用性
121.本公开的控制装置例如能够应用于对位装置。
122.本公开的对位装置例如能够应用于自动组装装置。
123.标号说明
124.1：对位装置；2：工件；201：基准点；10：载置台；11：保持面；20：移动装置；21：第一驱动部；211：第一工作台；212：马达；22：第二驱动部；221：第二工作台；222：马达；23：编码器；30：视觉传感器；31：拍摄部；311：照相机；32：图像处理部；100：控制装置；101：第一统计处理部；102：第二统计处理部；103：移动控制部；104：第一定时生成部；105：第二定时生成部；p：目标位置。