一种光刻机的温度变频调节装置的制作方法

技术特征：
1.一种光刻机的温度变频调节装置，包括光刻箱(2)，其特征在于：所述光刻箱(2)的内部设置有光刻腔(8)，所述光刻箱(2)的内部上表面中心位置安装有控制器(4)，所述光刻箱(2)的两侧外壁上下均设置有通孔(17)，所述通孔(17)的内部安装有散热风扇(15)，所述光刻箱(2)的两侧外壁上下边缘处均设置有凹槽(14)，所述凹槽(14)的内部设置有限位块(9)，所述限位块(9)的外壁上设置有卡槽(13)，所述凹槽(14)的内壁上设置有安装槽(11)，所述安装槽(11)的内部设置有弹簧(12)，所述弹簧(12)的一端与圆形卡块(10)相连接，所述光刻箱(2)的两侧内壁下方安装有横板(7)，所述光刻箱(2)的下表面四个拐角处均设置有底座(6)，所述底座(6)的下表面设置有防滑垫(5)。2.根据权利要求1所述的一种光刻机的温度变频调节装置，其特征在于：所述弹簧(12)的另一端与安装槽(11)相连接。3.根据权利要求1所述的一种光刻机的温度变频调节装置，其特征在于：所述圆形卡块(10)的另一端位于卡槽(13)内。4.根据权利要求1所述的一种光刻机的温度变频调节装置，其特征在于：所述限位块(9)的一端设置有防尘板(16)。5.根据权利要求1所述的一种光刻机的温度变频调节装置，其特征在于：所述横板(7)的上表面中心位置安装有光刻装置(3)。6.根据权利要求1所述的一种光刻机的温度变频调节装置，其特征在于：所述光刻箱(2)的内部上表面中心位置安装有温度传感器(1)。

技术总结
本实用新型公开了一种光刻机的温度变频调节装置，包括光刻箱，所述光刻箱的内部设置有光刻腔，所述光刻箱的内部上表面中心位置安装有控制器，所述光刻箱的两侧外壁上下均设置有通孔，所述通孔的内部安装有散热风扇，所述光刻箱的两侧外壁上下边缘处均设置有凹槽，所述凹槽的内部设置有限位块，所述限位块的外壁上设置有卡槽，所述凹槽的内壁上设置有安装槽，所述安装槽的内部设置有弹簧，所述弹簧的一端与圆形卡块相连接，所述光刻箱的两侧内壁下方安装有横板。本实用新型可以快速对防尘板进行拆卸更换，提高了工作人员的工作效率，可以有效对光刻腔内部的温度进行调节，实用性强。强。强。


技术研发人员：冯艳
受保护的技术使用者：深圳市台工爱德利科技有限公司
技术研发日：2021.03.02
技术公布日：2021/10/8