一种光刻机的温度变频调节装置的制作方法

1.本实用新型涉及光刻机技术领域，具体为一种光刻机的温度变频调节装置。


背景技术：

2.光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。其分为两种，一种是模板与图样大小一致的，曝光时模板紧贴晶圆；另一种是利用类似投影机原理的，获得比模板更小的曝光图样。高端光刻机被称为“现代光学工业之花”，制造难度很大，全世界只有少数几家公司能制造，所以需要一种光刻机的温度变频调节装置。
3.目前现有的光刻机的温度变频调节装置的缺陷是:
4.1、现有的光刻机的温度变频调节装置无法较为快速的对防尘板进行更换，长期不更换容易导致灰尘积攒，影响装置运行。
5.2、现有的光刻机的温度变频调节装置的自动化程度较低，不能根据内部温度的高低进行启动或关闭，实用性较差。
6.3、现有的光刻机的温度变频调节装置容易被地面上的物质所侵蚀，造成不必要的经济损失，并且装置容易滑动，与地面的摩擦力较低。


技术实现要素：

7.本实用新型的目的在于提供一种光刻机的温度变频调节装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
8.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻机的温度变频调节装置，包括光刻箱，所述光刻箱的内部设置有光刻腔，所述光刻箱的内部上表面中心位置安装有控制器，所述光刻箱的两侧外壁上下均设置有通孔，所述通孔的内部安装有散热风扇，所述光刻箱的两侧外壁上下边缘处均设置有凹槽，所述凹槽的内部设置有限位块，所述限位块的外壁上设置有卡槽，所述凹槽的内壁上设置有安装槽，所述安装槽的内部设置有弹簧，所述弹簧的一端与圆形卡块相连接，所述光刻箱的两侧内壁下方安装有横板，所述光刻箱的下表面四个拐角处均设置有底座，所述底座的下表面设置有防滑垫。
9.优选的，所述弹簧的另一端与安装槽相连接。
10.优选的，所述圆形卡块的另一端位于卡槽内。
11.优选的，所述限位块的一端设置有防尘板。
12.优选的，所述横板的上表面中心位置安装有光刻装置。
13.优选的，所述光刻箱的内部上表面中心位置安装有温度传感器。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
15.1、通过光刻箱、防尘板、限位块、圆形卡块、安装槽、圆形卡块、弹簧和卡槽的配合设置，当需要对光刻箱上的防尘板进行拆卸清理更换时，拉住防尘板上的限位块向外拉动，向外拉动使得限位块向外位移，限位块向外位移使得圆形卡块向安装槽的内部位移，圆形卡块向安装槽的内部位移便可以将防尘板拿下，安装时，将限位块对准凹槽塞入，塞入使得
圆形卡块向内位移，圆形卡块向内位移使得弹簧受到挤压，当限位块位移至底时，对圆形卡块的挤压力消失，弹簧回弹使得圆形卡块进入到卡槽内，对限位块进行限位固定，可以较为快速对防尘板进行拆装，有效提高了工作人员的工作效率，避免了外界灰尘进入到光刻箱的内部，影响光刻效果。
16.2、通过光刻箱、温度传感器和控制器的配合设置，当光刻箱内部的温度较高时，温度传感器将信号传送给控制器，控制器控制电源对散热风扇进行启动，散热风扇启动对内部进行散热，当内部温度降低时，温度传感器发送信号给控制器，控制器控制电源停止供电，可以有效避免光刻箱内部温度过高的情况，对内部的温度有所调节，实用性强。
17.3、通过底座和防滑垫的配合设置，底座的设置可以使得装置远离地面，避免装置被外界的物质所侵蚀，造成不必要的经济损失，防滑垫的设置可以使得装置与地面的摩擦力增加，避免滑动，提高装置的稳定性。
附图说明
18.图1为本实用新型的内部结构示意图；
19.图2为本实用新型的主视图；
20.图3为本实用新型图1中的a处局部放大结构示意图；
21.图4为本实用新型图1中的b处局部放大结构示意图。
22.图中：1、温度传感器；2、光刻箱；3、光刻装置；4、控制器；5、防滑垫；6、底座；7、横板；8、光刻腔；9、限位块；10、圆形卡块；11、安装槽；12、弹簧；13、卡槽；14、凹槽；15、散热风扇；16、防尘板；17、通孔。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
25.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
26.请参阅图1
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4，本实用新型提供的一种实施例：一种光刻机的温度变频调节装置，包括光刻箱2，光刻箱2的内部设置有光刻腔8，光刻箱2的内部上表面中心位置安装有温度传感器1，光刻箱2的内部上表面中心位置安装有控制器4，光刻箱2的两侧外壁上下均设置
有通孔17，通孔17的内部安装有散热风扇15，当光刻箱2内部的温度较高时，温度传感器1将信号传送给控制器4，控制器4控制电源对散热风扇15进行启动，散热风扇15启动对内部进行散热，当内部温度降低时，温度传感器1发送信号给控制器4，控制器4控制电源停止供电，可以有效避免光刻箱2内部温度过高的情况，对内部的温度有所调节，实用性强；
27.具体的，光刻箱2的两侧外壁上下边缘处均设置有凹槽14，凹槽14的内部设置有限位块9，限位块9的一端设置有防尘板16，限位块9的外壁上设置有卡槽13，凹槽14的内壁上设置有安装槽11，安装槽11的内部设置有弹簧12，弹簧12的一端与圆形卡块10相连接，弹簧12的另一端与安装槽11相连接，光刻箱2的两侧内壁下方安装有横板7，横板7的上表面中心位置安装有光刻装置3，圆形卡块10的另一端位于卡槽13内，当需要对光刻箱2上的防尘板16进行拆卸清理更换时，拉住防尘板16上的限位块9向外拉动，向外拉动使得限位块9向外位移，限位块9向外位移使得圆形卡块10向安装槽11的内部位移，圆形卡块10向安装槽11的内部位移便可以将防尘板16拿下，安装时，将限位块9对准凹槽14塞入，塞入使得圆形卡块10向内位移，圆形卡块10向内位移使得弹簧12受到挤压，当限位块9位移至底时，对圆形卡块10的挤压力消失，弹簧12回弹使得圆形卡块10进入到卡槽13内，对限位块9进行限位固定，可以较为快速对防尘板16进行拆装，有效提高了工作人员的工作效率，避免了外界灰尘进入到光刻箱2的内部，影响光刻效果；
28.具体的，光刻箱2的下表面四个拐角处均设置有底座6，底座6的下表面设置有防滑垫5，底座6的设置可以使得装置远离地面，避免装置被外界的物质所侵蚀，造成不必要的经济损失，防滑垫5的设置可以使得装置与地面的摩擦力增加，避免滑动，提高装置的稳定性。
29.工作原理：当需要对光刻箱2上的防尘板16进行拆卸清理更换时，拉住防尘板16上的限位块9向外拉动，向外拉动使得限位块9向外位移，限位块9向外位移使得圆形卡块10向安装槽11的内部位移，圆形卡块10向安装槽11的内部位移便可以将防尘板16拿下，安装时，将限位块9对准凹槽14塞入，塞入使得圆形卡块10向内位移，圆形卡块10向内位移使得弹簧12受到挤压，当限位块9位移至底时，对圆形卡块10的挤压力消失，弹簧12回弹使得圆形卡块10进入到卡槽13内，对限位块9进行限位固定，可以较为快速对防尘板16进行拆装，有效提高了工作人员的工作效率，避免了外界灰尘进入到光刻箱2的内部，影响光刻效果，当光刻箱2内部的温度较高时，温度传感器1将信号传送给控制器4，控制器4控制电源对散热风扇15进行启动，散热风扇15启动对内部进行散热，当内部温度降低时，温度传感器1发送信号给控制器4，控制器4控制电源停止供电，可以有效避免光刻箱2内部温度过高的情况，对内部的温度有所调节，实用性强，并且底座6的设置可以使得装置远离地面，避免装置被外界的物质所侵蚀，造成不必要的经济损失，防滑垫5的设置可以使得装置与地面的摩擦力增加，避免滑动，提高装置的稳定性。
30.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。