一种FFU系统安装结构的制作方法

一种ffu系统安装结构
技术领域
1.本实用新型涉及ffu安装技术领域，更具体的说是涉及一种ffu系统安装结构。


背景技术：

2.半导体设备包括外壳，在外壳内通常需要进行湿法化学反应，湿法化学反应产生的气体导致外壳内部的工艺区域的气体环境变得不纯净，为了让外壳内部维持纯净稳定的气体环境，通常需要在外壳上安装ffu系统，利用ffu系统使外壳内建立良好的循环气场流，ffu系统包括ffu壳体。
3.ffu系统需要布线，现有的ffu系统的电线通过线卡固定在外壳上，电线长时间裸露在空气中会使得电线上堆积大量的灰尘，从而加快电线老化的速度，增加安全隐患。


技术实现要素：

4.针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种ffu系统安装结构，用于将电线进行收纳，防止积灰，防止电线老化。
5.为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种ffu系统安装结构，包括外壳，所述外壳上设置有隐蔽组件，所述隐蔽组件包括走线壳体，所述走线壳体位于所述外壳顶面，所述走线壳体上开设有走线槽，所述走线槽用以收纳ffu壳体的电线，所述走线壳体包括两个第一侧板，其中一个所述第一侧板上开设有第一通孔，所述第一通孔与所述走线槽相互贯通，所述外壳上设置有定位组件，所述定位组件包括两个定位部，两个所述定位部之间形成有容纳空间，所述容纳空间与ffu壳体相适配，所述定位部包括第一定位板，其中一个所述第一定位板位于所述走线壳体和ffu壳体之间，且开设有第二通孔，所述走线壳体与ffu壳体之间设置有嵌合组件，所述嵌合组件包括连接件，所述连接件靠近ffu壳体的一端贯穿所述第二通孔，并与ffu壳体固定连接，所述连接件与所述走线壳体之间设置有嵌合部，所述嵌合部包括弹压键，所述弹压键与所述第一通孔相适配，以使所述弹压键的一部分位于所述走线槽内，ffu壳体内的电线穿过所述连接件和所述弹压键进入所述走线槽内。
6.作为本实用新型的进一步改进，所述走线壳体包括两个第二侧板，所述第二侧板与两个所述第一侧板均相互垂直，所述第二侧板上开设有第一走线孔，两个第一走线孔通过所述走线槽相互贯通。
7.作为本实用新型的进一步改进，所述定位部包括两个第二定位板，所述第一定位板和所述第二定位板均与所述外壳顶面固定连接，两个所述第二定位板通过所述第一定位板一体形成，同一组定位部内的两个所述第二定位板相互平行，且所述第一定位板与两个所述第二定位板均相互垂直。通过两组所述定位部使得ffu壳体能有效安装。
8.作为本实用新型的进一步改进，所述弹压键上开设有第二走线孔，所述第二走线孔与所述连接件连通，使得所述连接件内的电线可以进入所述弹压键的所述第二走线孔内。
9.作为本实用新型的进一步改进，所述第二走线孔的孔径大于所述第一走线孔的孔
径，所述第一走线孔和所述第二走线孔上均设置有橡胶圈，保护所述第一走线孔和所述第二走线孔内的电线不受损伤。
10.作为本实用新型的进一步改进，所述走线壳体上铰接有盖体，所述走线槽内设置有若干线卡，可以打开盖体，使用线卡对所述走线壳体内的电线进行整理。
11.作为本实用新型的进一步改进，所述第一通孔内壁上周向开设有凹槽，所述弹压键外侧面周向形成有凸部，所述凸部与所述凹槽相适配，通过所述凸部与所述凹槽卡合，使得所述弹压键与所述第一通孔相互卡合。
12.作为本实用新型的进一步改进，所述凸部的材料为橡胶，防止所述凹槽被磨损。
13.作为本实用新型的进一步改进，所述弹压键包括第一弹压块、第二弹压块和第三弹压块，所述第一弹压块、所述第二弹压块和所述第三弹压块一体形成，所述第二弹压块与所述第一通孔相适配，所述第一弹压块位于所述走线壳体外侧，所述第三弹压块位于所述走线外壳内侧，所述第一弹压块和所述第三弹压块上均形成有若干凸起，所述凸起的材料为橡胶，通过所述第一弹压块和所述第三弹压块上的凸起使得所述弹压键与所述第一通孔相互卡合。
14.作为本实用新型的进一步改进，所述外壳顶面上开设有两个第一定位孔，所述走线壳体两端均形成有折边，所述折边上开设有第二定位孔，所述第一定位孔与所述第二定位孔一一对应，通过相对应的所述第一定位孔和所述第二定位孔将所述走线壳体固定在所述外壳上。
15.本实用新型的有益效果：本实用新型通过在外壳上设置走线壳体以收纳ffu设备的电线，通过在走线壳体的其中一个第一侧板上开设第一通孔，通过在外壳上设置两个定位部，两个定位部之间形成有容纳空间，容纳空间用以容纳ffu壳体，通过在其中一个第一定位板上开设第二通孔，通过在走线壳体和ffu壳体之间设置嵌合组件，连接件靠近ffu壳体的一端贯穿第二通孔并与ffu壳体固定连接，通过在连接件和走线壳体之间设置弹压键，弹压键嵌入第一通孔内，使得ffu壳体内的电线穿过连接件和弹压键进入走线槽内，使得电线不会暴露在空气中，防止电线老化过快。
附图说明
16.图1是本实用新型的主视结构示意图；
17.图2是本实用新型图1中a处的放大结构示意图；
18.图3是本实用新型的俯视结构示意图。
19.附图标记：1、外壳；2、隐蔽组件；21、走线壳体；22、第一侧板；23、第二侧板；3、定位组件；31、定位部；32、第一定位板；33、第二定位板；4、嵌合组件；41、连接件；42、嵌合部；43、弹压键。
具体实施方式
20.下面结合附图和实施例，对本实用新型进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
21.参照图1至图3所示，本实施例的一种ffu系统安装结构，包括外壳1，外壳1上设置有隐蔽组件2，隐蔽组件2包括走线壳体21，ffu系统需要布线，现有的ffu系统的电线通过线卡固定在外壳1上，电线长时间裸露在空气中会使得电线上堆积大量的灰尘，从而加快电线老化的速度，增加安全隐患，通过设置走线壳体21使得ffu系统的电线可以被收纳在走线槽内，防止电线上积灰，以防止电线老化，走线壳体21位于外壳1顶面，走线壳体21上铰接有盖体(图中未示出)，走线槽内设置有若干线卡(图中未示出)，电线直接放入走线槽内会导致走线槽内的电线凌乱，需要整理电线时，操作人员打开盖体，通过走线槽内的线卡对电线进行整理，电线放入走线壳体21内使得灰尘无法堆积在电线上，外壳1顶面上开设有两个第一定位孔，走线壳体21两端均形成有折边，折边上开设有第二定位孔，第一定位孔与第二定位孔一一对应，走线壳体21位于外壳1上方，当需要将走线壳体21固定在外壳1上时，操作人员使用螺栓依次穿过相对应的第一定位孔和第二定位孔，使得走线壳体21固定在外壳1上，走线壳体21上开设有走线槽，走线槽用以收纳ffu壳体的电线，走线壳体21包括两个第一侧板22，其中一个第一侧板22上开设有第一通孔，第一通孔用以连接弹压键43，弹压键43与第一通孔相互卡合，弹压键43与连接件41固定连接，连接件41与ffu壳体固定连接，使得ffu壳体与走线壳体21之间固定连接，当ffu壳体内的电线通过连接件41，进入弹压键43，最后进入走线槽内后，线材不会因为弹压键43与第一通孔相互脱离而遭到损坏，第一通孔与走线槽相互贯通，走线壳体21包括两个第二侧板23，第二侧板23与两个第一侧板22均相互垂直，第二侧板23上开设有第一走线孔，两个第一走线孔通过走线槽相互贯通，两个第一走线孔均用以穿过电线，然后将电线收纳在走线槽内，使得电线不会沾灰。
22.外壳1上设置有定位组件3，定位组件3包括两个定位部31，在半导体湿法设备中，几乎每个模组都需要进行ffu系统的安装，通过设置两组定位部31使得ffu装置能有效安装，两个定位部31之间形成有容纳空间，容纳空间与ffu壳体相适配，容纳空间用以放置ffu壳体，定位部31包括第一定位板32，其中一个第一定位板32位于走线壳体21和ffu壳体之间，且开设有第二通孔，第二通孔用以穿过连接件41，以使连接件41的一端可以与ffu壳体连接，第一定位部31包括两个第二定位板33，第一定位板32和第二定位板33均与外壳1顶面固定连接，两个第二定位板33通过第一定位板32一体形成，同一组第一定位部31内的两个第二定位板33相互平行，且第一定位板32与两个第二定位板33均相互垂直，两组第一定位部31围城一个矩形以放置ffu壳体。
23.走线壳体21与ffu壳体之间设置有嵌合组件4，通过设置嵌合组件4，使得ffu壳体与走线壳体21之间的电线可以相互贯通，嵌合组件4包括连接件41，连接件41与走线壳体21之间设置有嵌合部42，嵌合部42包括弹压键43，弹压键43上开设有第二走线孔，第二走线孔与连接件41连通，连接件41靠近ffu壳体的一端贯穿第二通孔，并与ffu壳体固定连接，使得ffu系统的电线可以进入连接件41，连接件41远离ffu壳体的一端设置有弹压键43，弹压键43与第一通孔相互卡合，弹压键43上开设有第二走线孔，使得连接件41中的电线可以进入第二走线孔，进而使第二走线孔内的电线可以进入走线槽，防止沾灰，第二走线孔的孔径大于第一走线孔的孔径，第一走线孔和第二走线孔上均设置有橡胶圈，使得第一走线孔和第二走线孔内的电线不受损伤，弹压键43与第一通孔相适配，以使弹压键43的一部分位于走线槽内，弹压键43可以与第一通孔相互卡合，ffu壳体内的电线穿过连接件41和弹压键43进入走线槽内，防止电线沾灰，第一通孔内壁上周向开设有凹槽，弹压键43外侧面周向形成有
凸部，凸部的材料为橡胶，防止凹槽受到磨损，凸部与凹槽相适配，当需要将弹压键43与第一通孔连接时，操作人员将弹压键43塞入第一通孔内，通过弹压键43上的凸部和第一通孔上的凹槽相互卡合，使得弹压键43与第一通孔连接，不会脱离，防止因为弹压键43与第一通孔相互脱离造成电线损坏，弹压键43包括第一弹压块、第二弹压块和第三弹压块，第一弹压块、第二弹压块和第三弹压块一体形成，第二弹压块与第一通孔相适配，将弹压键43塞入第一通孔内，使得第二弹压块位于第一通孔内，第一弹压块位于走线壳体21外侧，第三弹压块位于走线外壳1内侧，通过第一弹压块和第三弹压块上的凸起分别与走线壳体21卡合，使得弹压块无法从第一通孔脱离，防止因为弹压键43与第一通孔相互脱离造成电线损坏，第一弹压块和第三弹压块上均形成有若干凸起，凸起的材料为橡胶，防止第一通孔被磨损。
24.工作原理：两个定位部31之间形成有容纳空间，容纳空间用以放置ffu壳体，定位部31包括第一定位板32和两个第二定位板33，通过设置走线壳体21使得ffu系统的电线可以被收纳在走线槽内，防止电线上积灰，防止电线老化，走线壳体21位于外壳1上方，当需要将走线壳体21固定在外壳1上时，操作人员使用螺栓依次穿过相对应的第一定位孔和第二定位孔，使得走线壳体21固定在外壳1上，走线壳体21的第一侧板22上开设有第一通孔，走线壳体21与ffu壳体之间设置有连接件41，连接件41靠近ffu壳体的一端贯穿第一定位板32上的第二通孔，并与ffu壳体固定连接，使得ffu系统的电线可以进入连接件41，连接件41远离ffu壳体的一端设置有弹压键43，弹压键43与走线壳体21的第一侧板22上的第一通孔相互卡合，弹压键43上开设有第二走线孔，连接件41中的电线可以进入第二走线孔，第二走线孔内的电线可以进入走线槽进行收纳，ffu设备内的电线依次经过连接件41和弹压键43，最后收纳进走线槽内，使得电线不会暴露在空气中，防止电线老化过快。
25.以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。