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一种集成电加热汽化器的低温液体罐箱的制作方法

2021-10-09 13:17:00 来源:中国专利 TAG:汽化器 供气 低温 液体 电加热


1.本实用新型涉及供气系统技术领域,具体涉及一种集成电加热汽化器的低温液体罐箱。


背景技术:

2.目前半导体芯片、led/oled面板、太阳能等电子行业高纯气体(如高纯氧化亚氮、高纯二氧化碳、高纯氧气等低温液体)的应用日渐普遍,而现有针对高纯气体的供气方式主要有两种,第一种:利用高压钢瓶或钢瓶瓶组、y钢瓶或长管拖车方式;第二种:在低温液槽配置外置汽化器。第一种方式载量小,成本高,而第二种方式操作麻烦、灵活度差、增加检测点等缺点,需要针对以上问题对高纯气体的供气系统作出结构改进。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于提供便捷、低成本、供气量大的现场供气系统,不再需要复杂的外置汽化器,具有体积小、应用场景多,使用方便可移动供气及不占用额外场地等优势,以解决背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的及其他相关目的,本实用新型提供一种集成电加热汽化器的低温液体罐箱,包括罐箱主体,所述罐箱主体内的一侧设置有低温液体管路,所述罐箱主体内的另一侧安装有电加热器,所述电加热器的一端连接有低温液体进口,所述低温液体进口与低温液体管路相连接,所述电加热器的另一端连接有气体出口,所述气体出口与供气端相连接,所述罐箱主体内还安装有控制箱,所述控制箱与电加热器电性连接。
5.通过以上技术方案,低温液体通过低温液体管路从低温液体进口进入到集成的电加热器内,通过控制箱控制加热时间及功率,利用电加热器汽化罐箱主体内的低温液体,使低温液体转化为可供使用的气体,从气体出口输送到供气端使用。
6.优选的,所述低温液体进口与低温液体管路的连接处设置有密封件。
7.通过以上技术方案,密封件提高了低温液体进口与低温液体管路连接时的密封性能,防止低温液体发生泄漏。
8.优选的,所述低温液体管路上设置有进液控制阀。
9.通过以上技术方案,进液控制阀用于控制低温液体输入时的启闭和流量大小。
10.优选的,所述气体出口上设置有出气控制阀。
11.通过以上技术方案,出气控制阀用于控制气体输出时的启闭和流量大小。
12.优选的,所述控制箱包括时间控制模块和功率控制模块,所述时间控制模块用于控制电加热器的加热时间,所述功率控制模块用于控制电加热器的加热功率。
13.通过以上技术方案,控制箱可以控制电加热器的加热时间和功率,从而可以根据实际应用情况进行调节。
14.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型提供了便捷、低成本、供气量大的现场供气系统,不再需要复杂的外置汽化器,具有体积小、应用场景多、使用方便
可移动供气及不占用额外场地等优势,具有灵活度高、成本相对较低、供气量大等特点。
附图说明
15.下面结合附图与具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。
16.图1为本实用新型的结构示意图。
17.其中,附图标记具体说明如下:罐箱主体1、低温液体管路2、电加热器3、低温液体进口4、气体出口5、控制箱6。
具体实施方式
18.以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式,熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易的了解本实用新型的其他优点及功效。
19.须知,本说明书附图所示的结构、比例、大小等,均仅用以配合说明书所揭示的内容,以供熟悉此技术的人士了解与阅读,并非用以限定本实用新型可实施的限定条件,故不具技术上的实质意义,任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整,在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下,均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时,本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语,亦仅为便于叙述的明了,而非用以限定本实用新型可实施的范围,其相对关系的改变或调整,在无实质变更技术内容下,当亦视为本实用新型可实施的范畴。
20.如图1所示,本实用新型提供一种集成电加热汽化器的低温液体罐箱,包括罐箱主体1,所述罐箱主体1内的一侧设置有低温液体管路2,所述罐箱主体1内的另一侧安装有电加热器3,所述电加热器3的一端连接有低温液体进口4,所述低温液体进口4与低温液体管路2相连接,所述电加热器3的另一端连接有气体出口5,所述气体出口5与供气端相连接,所述罐箱主体1内还安装有控制箱6,所述控制箱6与电加热器3电性连接。
21.其中,所述低温液体进口4与低温液体管路2的连接处设置有密封件,用于提高低温液体进口与低温液体管路连接时的密封性能,防止低温液体发生泄漏。
22.其中,所述低温液体管路2上设置有进液控制阀,用于控制低温液体输入时的启闭和流量大小。
23.其中,所述气体出口5上设置有出气控制阀,用于控制气体输出时的启闭和流量大小。
24.其中,所述控制箱6包括时间控制模块和功率控制模块,所述时间控制模块用于控制电加热器3的加热时间,所述功率控制模块用于控制电加热器3的加热功率,从而可以根据实际应用情况进行调节。
25.工作原理:低温液体通过低温液体管路2从低温液体进口4进入到集成的电加热器3内,通过控制箱6控制加热时间及功率,利用电加热器3汽化罐箱主体1内的低温液体,使低温液体转化为可供使用的气体,从气体出口5输送到供气端使用。
26.综上,本实用新型提供了便捷、低成本、供气量大的现场供气系统,不再需要复杂的外置汽化器,具有体积小、应用场景多、使用方便可移动供气及不占用额外场地等优势,具有灵活度高、成本相对较低、供气量大等特点。
27.以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不
局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征:
1.一种集成电加热汽化器的低温液体罐箱,其特征在于,包括罐箱主体(1),所述罐箱主体(1)内的一侧设置有低温液体管路(2),所述罐箱主体(1)内的另一侧安装有电加热器(3),所述电加热器(3)的一端连接有低温液体进口(4),所述低温液体进口(4)与低温液体管路(2)相连接,所述电加热器(3)的另一端连接有气体出口(5),所述气体出口(5)与供气端相连接,所述罐箱主体(1)内还安装有控制箱(6),所述控制箱(6)与电加热器(3)电性连接。2.根据权利要求1所述的一种集成电加热汽化器的低温液体罐箱,其特征在于:所述低温液体进口(4)与低温液体管路(2)的连接处设置有密封件。3.根据权利要求1所述的一种集成电加热汽化器的低温液体罐箱,其特征在于:所述低温液体管路(2)上设置有进液控制阀。4.根据权利要求1所述的一种集成电加热汽化器的低温液体罐箱,其特征在于:所述气体出口(5)上设置有出气控制阀。5.根据权利要求1所述的一种集成电加热汽化器的低温液体罐箱,其特征在于:所述控制箱(6)包括时间控制模块和功率控制模块,所述时间控制模块用于控制电加热器(3)的加热时间,所述功率控制模块用于控制电加热器(3)的加热功率。

技术总结
本实用新型公开了一种集成电加热汽化器的低温液体罐箱,包括罐箱主体,所述罐箱主体内的一侧设置有低温液体管路,所述罐箱主体内的另一侧安装有电加热器,所述电加热器的一端连接有低温液体进口,所述低温液体进口与低温液体管路相连接,所述电加热器的另一端连接有气体出口,所述气体出口与供气端相连接,所述罐箱主体内还安装有控制箱,所述控制箱与电加热器电性连接。本实用新型提供了便捷、低成本、供气量大的现场供气系统,不再需要复杂的外置汽化器,具有体积小、应用场景多、使用方便可移动供气及不占用额外场地等优势,具有灵活度高、成本相对较低、供气量大等特点。供气量大等特点。供气量大等特点。


技术研发人员:朱益华
受保护的技术使用者:上海乐瓦机电设备有限公司
技术研发日:2021.02.24
技术公布日:2021/10/8
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本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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