大宗化学品供应系统的制作方法

技术特征：

1.一种大宗化学品供应系统，其特征在于，包括依次通过管道连接的灌充单元、储存单元、中继站以及分配单元，所述储存单元与灌充单元连接，所述灌充单元内部设有第一气动供应泵，以使灌充单元将储存单元中储存的化学品输送给中继站；所述中继站内设有第二气动供应泵，以使化学品通过中继站输送给分配单元，所述灌充单元与槽车连接，所述分配单元与机台相连。

2.根据权利要求1所述的大宗化学品供应系统，其特征在于，所述中继站包括储存罐和与储存罐连接的输送柜，所述储存罐与灌充单元连接，所述输送柜与分配单元连接，所述第二气动供应泵设置在输送柜内部。

3.根据权利要求2所述的大宗化学品供应系统，其特征在于，还包括plc控制器，所述灌充单元、分配单元、中继站以及分配单元均受plc控制器的控制。

4.根据权利要求3所述的大宗化学品供应系统，其特征在于，所述储存罐内设有液位计。

5.根据权利要求2所述的大宗化学品供应系统，其特征在于，所述输送柜安装有过滤器。

6.根据权利要求1所述的大宗化学品供应系统，其特征在于，所述分配单元包括一个或多个并联的阀门分支箱，所述阀门分支箱与机台一一对应。

7.根据权利要求1～6任一项所述的大宗化学品供应系统，其特征在于，所述管道的材质为不锈钢或者pfa。

8.根据权利要求7所述的大宗化学品供应系统，其特征在于，所述不锈钢为316l不锈钢。

技术总结
本实用新型公开了大宗化学品供应系统，涉及化学品输送技术领域，包括依次通过管道连接的灌充单元、储存单元、中继站以及分配单元，所述灌充单元内部设有第一气动供应泵，以使化学品通过灌充单元输送给中继站；所述中继站内设有第二气动供应泵，以使化学品通过中继站输送给分配单元。当机台需求化学品时，先启动中继站内部的第二气动供应泵，将中继站的存储罐内的化学品输送至分配单元，由分配单元供应至相应机台，当中继站的存储罐的液位计报警时，启动灌充单元内部的第一气动供应泵，将存储单元内的化学品输送至中继站的存储罐。中继站的设置解决了供应能力取决于供应泵扬程的问题，能满足远超供应泵扬程的输送高度的化学品需求。

技术研发人员：隋英羿
受保护的技术使用者：浙江东开半导体科技有限公司
技术研发日：2020.12.14
技术公布日：2021.08.24