泄漏检测系统和检测泄漏的方法与流程

本公开涉及泄漏检测系统和检测泄漏的方法。

背景技术：

许多商业和住宅工序需要在多个导管之间输送流体。长距离输送通常需要将连接在一起的流体导管(诸如管道)进行串行连接。尽管通常会尽一切努力保持接头完整性以防止泄漏，但发生泄漏的情况并不少见，特别是在恶劣的环境中或在使用某些化学品或接头类型时。

需要流体输送的行业继续要求检测泄漏的改进系统和方法。

附图说明

实施例以实例的方式示出，并非旨在受到附图的限制。

图1包括根据一个实施例的泄漏检测系统的顶视图。

图2包括根据一个实施例的泄漏检测系统的侧视图。

图3包括根据一个实施例的用于泄漏检测系统的传感器的顶视图。

图4包括根据另一个实施例的用于泄漏检测系统的传感器的顶视图。

图5包括根据一个实施例的用于泄漏检测系统的传感器的剖视图。

图6包括根据一个实施例的与导管联接的泄漏检测系统的正视图。

具体实施方式

提供结合附图的以下描述以帮助理解本文所公开的教导内容。以下论述将集中于本教导内容的具体实施方式和实施例。提供该重点是为了帮助描述教导内容，并且不应该被解释为是对本教导内容的范围或适用性的限制。然而，其他实施例可基于本专利申请中所公开的教导内容而使用。

术语“由...构成”“包含”“包括”“含有”“具有”“有”或它们的任何其他变型旨在涵盖非排他性的包含之意。例如，包含特征列表的方法、制品或装置不一定仅限于那些特征，而是可以包括未明确列出的或这种方法、制品或装置固有的其他特征。另外，除非另有明确说明，否则“或”是指包括性的“或”而非排他性的“或”。例如，以下任何一项均可满足条件a或b：a为真(或存在的)而b为假(或不存在的)、a为假(或不存在的)而b为真(或存在的)，以及a和b两者都为真(或存在的)。

术语“大体”、“基本上”、“大致”等旨在涵盖与给定值的偏差范围。在一个特定实施例中，术语“大体”、“基本上”、“大致”等是指在值的以下任一方向上的偏差：在值的10％内；在值的9％内；在值的8％内；在值的7％内；在值的6％内；在值的5％内；在值的4％内；在值的3％内；在值的2％内；或在值的1％内。

而且，使用“一个”或“一种”来描述本文所述的元件和部件。这样做仅是为了方便并且给出本发明范围的一般性意义。除非很明显地另指他意，否则这种描述应被理解为包括一个、至少一个，或单数也包括复数，或反之亦然。例如，当在本文描述单个项时，可使用多于一个项来代替单个项。类似地，在本文描述了多于一个项的情况下，单个项可以取代多于一个项。

除非另有定义，否则本文使用的所有技术术语和科技术语都与本发明所属领域的普通技术人员通常理解的含义相同。材料、方法和实例仅是说明性的而非限制性的。关于本文未述的方面，有关特定材料和加工方法的许多细节是常规的，并能在流体输送和泄漏检测领域内的教科书和其他来源中找到。

根据一个特定方面，泄漏检测系统通常可以包括配接器，该配接器构造成联接至导管并将泄漏物从导管引导至泄漏传感器。在一个实施例中，配接器可以包含亲水性阳离子聚合物。在另一个实施例中，配接器可以包含由以下项中的至少一种组成的天然物质：二氧化硅、胶原蛋白、果胶、明胶、淀粉、瓜尔豆胶、阿拉伯树胶、刺槐豆胶、刺梧桐树胶、海藻酸、钠盐或钾盐。在又一个实施例中，配接器可包括由以下项中的至少一种组成的合成物质：羧甲基纤维素钠(cmc)、交联羧甲基纤维素钠、结晶羧甲基纤维素钠、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、聚乙二醇、聚丙二醇、交联葡聚糖、淀粉-丙烯腈接枝共聚物、淀粉聚丙烯酸钠、面筋、甲基乙烯基醚的聚合物、马来酸、聚丙烯酸或其共聚物的金属或铵盐、聚苯乙烯磺酸的金属或铵盐。在又一个实施例中，配接器可以包括亲水性阳离子聚合物、天然物质和合成物质的任何组合。

在一个实施例中，配接器可以包括适于输送泄漏物的层压板结构。层压板结构可包括适于输送泄漏物的芯和适于将芯固定至导管的接合元件，例如粘合剂。在一个特定实例中，芯可以以矩阵布置设置在接合元件上。

在本发明的另一方面，微电子设备可以包括用于执行与微电子部件的形成相关联的操作步骤的操作区域。流体导管可以与操作区域连通。流体导管可以适于输送与操作步骤相关联的流体。流体导管可以包括在上部导管和下部导管之间的竖直接合部。可移动的泄漏检测系统可以设置在下部导管周围。泄漏检测系统可以包括围绕下部导管延伸或适于围绕下部导管延伸的芯。传感器可以适于检测从下部导管沿着芯输送的泄漏物。

在本发明的另一方面，一种检测泄漏的方法可以包括将芯缠绕在竖直定向的流体导管的整个圆周的至少一部分上。芯可以通过与芯相关联的粘合剂粘附至流体导管。泄漏检测传感器可以附接至芯，以检测来自流体导管的泄漏物。

在一个实施例中，泄漏检测系统可设置为与流体导管上的流体接口相邻。根据某些实施例，流体导管可以包括接合部，由此流体可从流体接口诸如管道接头、管道联接件、管道、弯管、歧管、管肘、阀、泵、调节器、接缝或焊接线、喷嘴或喷雾器、螺纹端口、取样阀、排放管线、流体入口或出口或者任何其他类似的接合部泄漏。

根据某些实施例，如本文所述的泄漏检测系统可定位成监测包括若干不同技术特性的流体部件上的泄漏。例如，根据本文所述的一个或多个实施例的泄漏检测系统可用于以下行业中：电子设备制造，诸如半导体行业和超导体行业；医疗器械，诸如输液管路和输液泵；管道联接件，诸如存在于石油天然气行业以及饮用水系统和下水道系统中的那些管道联接件；航空航天行业的制造、维护和设计；餐饮行业；以及汽车行业。在特定的实施例中，泄漏检测系统可附接至容纳半导体流体的流体部件，该半导体流体可包括hf、h2so4、hno3、naclo、h2o2、h3po4、cmp、hcl、去离子水、乙醇、乙醇异丙醇、丙酮、烃类溶剂、甲苯中的至少一者，或者可为其他半导体流体。根据又一些实施例，本文所述的泄漏检测系统可通过迅速准确地检测少量流体泄漏以缩短对泄漏的响应时间，允许操作者在可能的泄漏变大之前将其解决。

根据一个实施例，传感器可适于感知特定的流体泄漏。例如，传感器可适于感知约0.0001ml至约1ml的流体泄漏。在多个实施例中，传感器可适于感知至少约0.0001ml诸如至少0.001ml、或至少0.01ml、或至少0.05ml或至少0.1ml的流体泄漏。

图1包括根据一个实施例的泄漏检测系统100的顶视图。泄漏检测系统100通常可以包括配接器102，该配接器配置成联接至导管并将泄漏物从导管引导至泄漏传感器104。

在一个实施例中，配接器102可以包括由芯106和粘合剂108限定的复合材料。在一个特定实施例中，芯106可以联接至粘合剂108。在一个更特定的实施例中，芯106可以直接联接至粘合剂108。在另一个更特定的实施例中，芯106和粘合剂108可以由中间层或材料联接在一起。例如，可以在芯106和粘合剂108之间设置基板。

在某些实施例中，芯106和粘合剂108可以固定地联接在一起。在其他实施例中，芯106和粘合剂108可以可拆卸地联接在一起。

在一个实施例中，配接器102可以是柔性的。在一个更特定的实施例中，芯106和粘合剂108中的至少一者可以包括柔性材料。芯106的示例性材料包括亲水性材料、阳离子聚合物、阴离子聚合物、亲水性非离子材料及它们的组合。在一个特定实施例中，示例性天然物质可以包括二氧化硅、胶原蛋白、果胶、明胶、淀粉、瓜尔豆胶、阿拉伯树胶、刺槐豆胶、刺梧桐树胶、海藻酸、钠盐或钾盐。在另一个特定实施例中，示例性合成物质可以包括羧甲基纤维素钠(cmc)、交联羧甲基纤维素钠、结晶羧甲基纤维素钠、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、聚乙二醇、聚丙二醇、交联葡聚糖、淀粉-丙烯腈接枝共聚物、淀粉聚丙烯酸钠、面筋、甲基乙烯基醚的聚合物、马来酸、聚丙烯酸或其共聚物的金属或铵盐、聚苯乙烯磺酸的金属或铵盐。在一个特定实施例中，芯106可以包括天然物质的组合、合成物质的组合、或天然物质和合成物质的组合。

粘合剂108可以包括例如环氧树脂、聚氨酯、聚酰亚胺或它们的任何组合。在一个实施例中，粘合剂108包括适于与芯106联接的膜或带。在另一个实施例中，粘合剂108可以包括可施加至芯106的糊剂、液体、或其他液体或半液体介质。在某些实例中，粘合剂108可以包括热熔胶、热固物、压敏粘合剂或接触型粘合剂。粘合剂108可以是结构性、半结构性或非结构性的。

粘合剂108可适于将芯106固定至导管。在一个特定实例中，粘合剂108可适于将芯106可拆卸地固定至导管。例如，根据一个特定实施例，适配器102可以经配置用于多种用途。即，例如，适配器102可以从第一导管拆下并且相对于第二导管安装。

在一个实施例中，泄漏检测系统100可以包括可拆卸的背衬110(图2)，该背衬适于在安装之前至少部分地保护粘合剂108以免发生不希望的粘附。背衬110可以包括与粘合剂108可拆卸地联接的膜、带或片。在安装泄漏检测系统100之前，可以将背衬110从泄漏检测系统100剥离，以露出粘合剂108供进行安装。

在一个实施例中，泄漏检测系统100可以包括分立的部件，该分立的部件适于与流体导管接合以检测其流体泄漏情况。泄漏检测系统100在尺寸、形状上或以其他方式配置为即用型构造。例如，可以将泄漏检测系统100预先制成可用的形状和尺寸。在另一个实施例中，可以由操作员或安装技术人员通过泄漏检测预成型件(例如，片或卷)选择性地制作泄漏检测系统100以适配特定的流体导管。以这种方式，操作者或技术人员可以根据需要使泄漏检测系统100成形或确定尺寸。

作为非限制性示例，泄漏检测预成型件可以包括材料带或材料卷，其包括芯106和粘合剂108。泄漏检测预成型件可以具有长度lp，其由泄漏检测预成型件的最大尺寸限定，并且大于待用于在导管上进行泄漏检测的泄漏检测系统100的长度llds。在一个特定实例中，lp可为至少1.01llds、至少1.05llds、至少1.1llds、至少1.2llds、至少1.4llds、至少1.6llds、至少1.8llds、或至少2.0llds。在某些实例中，lp可为至少3llds、至少4llds、至少5llds、或至少10llds。在一个实施例中，lp可为不大于10,000llds、不大于5,000llds、不大于1,000llds、或不大于100llds。当操作员移除部分泄漏检测预成型件以制作可用的、分立的泄漏检测系统100时，可以减小泄漏检测预成型件的长度lp。

适于容纳芯的导管可限定圆周cc。在某些实施例中，芯106可具有在1.0cc和5.0cc、1.0cc和4.0cc、1.0cc和3.0cc、或1.0cc和2.0cc范围内的长度。

在一个特定实施例中，在安装状态下观察时，芯106可以是单层的。如本文所用，单层可以指单层材料，如在最终状态下所观察的。即，例如，单层芯没有或基本没有与自身重叠以形成多层结构。

在一个实施例中，泄漏检测预成型件可以包括弱化结构，诸如多个穿孔、标记或其他元件，其适于为操作者提供指示或帮助操作者从泄漏检测预成型件拆下分立的泄漏检测系统100。从泄漏检测预成型件上拆下分立的泄漏检测系统100之后，可露出泄漏检测预成型件的相邻区域，以制作额外的泄漏检测系统100。然后，操作员可以形成额外的泄漏检测系统100，用于另一个合适的位置。

在一个实施例中，泄漏检测系统100包括层压板结构，该层压板结构限定了由层压板的厚度彼此间隔开的第一主表面112和第二主表面114。在一个特定实施例中，层压板的厚度可以小于25mm、小于20mm、小于15mm、小于10mm、或小于5mm。在另一个特定实施例中，层压板的厚度可以不小于0.1mm、不小于0.5mm、不小于1mm、或不小于2mm。在一个实施例中，第二主表面114可以至少部分地由粘合剂108限定。在一个更特定的实施例中，第二主表面114可完全由粘合剂108限定。在另一个实施例中，第一主表面112至少部分地由粘合剂108限定、至少部分地由芯106限定、或两者。在一个实施例中，第一主表面112的至少5％由芯106限定，第一主表面112的至少10％由芯106限定，第一主表面112的至少15％由芯106限定，第一主表面112的至少20％由芯106限定，第一主表面112的至少25％由芯106限定，第一主表面112的至少30％由芯106限定，第一主表面112的至少35％由芯106限定，第一主表面112的至少40％由芯106限定，或第一主表面112的至少45％由芯106限定。在另一个实施例中，不大于99％的第一主表面112由芯106限定，不大于95％的第一主表面112由芯106限定，不大于90％的第一主表面112由芯106限定，不大于80％的第一主表面112由芯106限定，不大于70％的第一主表面112由芯106限定，不大于60％的第一主表面112由芯106限定，或不大于50％的第一主表面112由芯106限定。

在一个实施例中，层压板可限定沿层压板的所有位置处测量的均匀或大体上均匀的厚度。在另一个实施例中，层压板可以在层压板的第一位置处限定第一厚度，并且在层压板的第二位置处限定第二厚度，其中第一厚度和第二厚度彼此不同。例如，在一个实施例中，层压板可以在包括芯106和粘合剂108的位置处限定第一厚度，并且在仅包括芯106和粘合剂108中的一者的位置处限定第二厚度。第一厚度和第二厚度可以彼此不同。例如，第一位置可以比第二位置厚。在一个实施例中，第一位置的厚度可以是第二位置处的厚度的至少101％、第二位置处的厚度的至少105％、第二位置处的厚度的至少110％、第二位置处的厚度的至少125％、第二位置处的厚度的至少150％、或第二位置处的厚度的至少175％。在另一个实施例中，第一位置的厚度可以不大于第二位置处的厚度的10,000％、不大于第二位置处的厚度的5,000％、不大于第二位置处的厚度的1,000％、不大于第二位置处的厚度的500％、或不大于第二位置处的厚度的200％。

参照图1，根据一个实施例，从第一主表面112观察时，芯106可以限定矩阵布置。矩阵布置可以包括例如芯吸材料的网格状结构。在一个实施例中，矩阵布置可以由单一芯吸材料形成。在另一个实施例中，矩阵布置可以由联接在一起的不同芯吸材料形成。例如，矩阵布置可以包括由第一材料形成的多个行和由不同于第一材料的第二材料形成的多个列。以这种方式，可以根据预期用途的特定布置来引导泄漏物。

在某些实例中，矩阵可以包括一体构造。例如，矩阵可以形成为联接的单个部件。在其他实例中，矩阵可以包括联接在一起的多个部件。例如，矩阵可以包括一个或多个初级流体通道116和一个或多个次级通道118。在所示的实施例中，矩阵包括位于中心的初级流体通道116和从其分支出的多个次级通道118。在一个实施例中，次级通道118可以延伸至层压板结构的边缘120。泄漏物因此可以从导管通过次级通道118输送至初级流体通道116和传感器104。

在一个实施例中，流体通道116和118彼此相比可以具有相似的尺寸、形状、材料或流体特征。在另一个实施例中，初级流体通道116可以具有以下中的至少一者：与次级通道118相比不同的尺寸、与次级通道118相比不同的形状、与次级通道118相比不同的材料和与次级通道118相比具有不同的流体特征。

在一个实施例中，传感器104可以与流体通道116和118中的至少一者流体连通。在一个特定实施例中，传感器104可以与初级流体通道116流体连通。

根据一个实施例，传感器104可适于感测特定的流体泄漏。例如，传感器104可适于感知0.0001ml至1ml范围内的流体泄漏量。在多个实施例中，泄漏检测系统100可以包括盐盘(未示出)，该盐盘适于溶解流体的组分以更好地通过传感器104进行监测。

在一个特定实施例中，如图3和图4所示，传感器104可以包括设置在基板302上的电路300。在一个实施例中，电路300可以形成几何并联梳状电路设计。如图3所示，在一个实施例中，电路300可以在第一导线304(在a和d之间延伸)和第二导线306(在b和c之间延伸)之间形成几何蛇形设计。图4示出根据另一个实施例的具有电路300的另一传感器104的示意图。如图4所示，电路可在第一导线304(在a与d之间延伸)与第二导线306(在b与c之间延伸)之间形成几何螺旋设计。传感器104可允许电路300的测量特性的串联测量或并联测量。测量特性可经由通信设备响应于传感器104所监测或产生响应的流体接触而发生变化。测量特性可为电阻、阻抗、电容、电流、电压或传感器104的其他测量特性中的至少一者。在多个实施例中，传感器104可以包括两个并联电连接的电路300。在多个实施例中，传感器104可以包括两个串联电连接的电路300。

在一个实施例中，在第一状态下，传感器104的电路300在干燥时可以具有第一工况，而在湿润时可以具有第二工况。在第二状态下，传感器104可适于监测传感器104的可操作性，即，监测传感器104在第一状态下检测泄漏的能力。在多个实施例中，执行这两种操作的传感器104的操作如下：1)测量a与d之间的测量特性以确保电路具有可接受的可操作性；2)测量b与c之间的测量特性以确保电路具有可接受的可操作性；并且3)在c和d开路的情况下测量a与b之间的测量特性以检测电路的第一状态(即，无论传感器104在干燥时的第一工况还是润湿时的第二工况下)。这些步骤的顺序可改变并且可连续地完成。另选地，执行这两个操作的传感器104和泄漏检测系统100的操作如下：1)使点c和点d短路以确保电路具有可接受的可操作性；并且2)在c和d开路的情况下测量a与b之间的测量特性以检测电路的第一状态(即，无论传感器104在干燥时的第一工况还是润湿时的第二工况下)。因此，使用泄漏检测系统100的方法可包括：1)提供至少一个泄漏检测系统100，该泄漏检测系统具有传感器104，该传感器具有第一状态和第二状态，该第一状态具有干燥时的第一工况和润湿时的第二工况，该第二状态适于监测传感器104的可操作性；通信设备，该通信设备可操作地连接至传感器104；以及附接元件，该附接元件例如粘合剂108适于将泄漏检测系统100附接至待监测流体泄漏情况的具有流体的流体导管；并且2)将泄漏检测系统100附接至待监测流体泄漏情况的流体导管。

预期在其他实施例中，传感器104可以包括基板302，该基板适于因为接触流体而产生冷光、荧光、白炽、温度变化、压力变化，或响应于接触流体的任何其他合适的变化特征。可相应地选择检测元件以检测基板302的变化的工况。例如，检测元件包括光学传感器、热电偶或压力传感器。随着基板302的工况(冷光、荧光、白炽、温度或压力)因为接触流体而发生变化，检测元件可感测到工况变化并且为通信设备104生成信号，以便生成泄漏警告。

图5示出根据一个实施例的具有两个检测元件的示例性传感器104的剖面正视图。传感器104可以包括设置在一个或多个基板506上的至少两个检测元件502和504。在一个特定实施例中，检测元件502和504可设置在同一个基板506上。在另一个特定实施例中，检测元件502和504可设置在邻接的基板(统称为“基板”)上。检测元件502和504可设置在基板506的相同或不同的主表面308或310上。如图所示，并且根据另一个实施例，检测元件502和504还可至少部分地嵌入基板506内。

在一个实施例中，检测元件502和504可彼此不同。即，至少两个检测元件502和504中的每个可适于各自检测基板506的不同工况。在一个特定实施例中，检测元件502和504可在基板506上间隔开。这样可便于更轻松地组装传感器104并且能更轻松地拆下损坏或不适用的检测元件。在另一个实施例中，检测元件502和504可垂直或水平地重叠。垂直或水平重叠可减小传感器104的尺寸，从而减小安装传感器104所需的空间。

上述任何检测元件可进一步包括电子部件，诸如：电阻器、电容器、电感器、晶体管、其他类似的部件或它们的任何组合。对于上述检测元件，可能需要此类电子部件以形成完整的电路。

在一个实施例中，通信设备(未示出)可以可操作地联接至传感器104。在一个特定实施例中，通信设备可无线连接至传感器104。无线通信可例如通过蓝牙或通过其他短程无线协议实现。在另一个特定实施例中，通信设备可通过导线连接至传感器104。应注意确保导线对所监测的流体不敏感。即，导线不应由接触流体时会被损坏的材料构成。另选地，通过设置在导线与用于流体在泄漏检测系统100中行进的疑似通道之间的外层或屏蔽层，导线可与有害流体相互作用隔绝或以其他方式保护导线免受有害流体相互作用。在进一步实施例中，通信设备可与传感器104形成一体。

在一个实施例中，通信设备可联接至基板106。在另一个实施例中，通信设备可联接至传感器104。

通信设备可以是无线或有线通信设备。即，可使用无线通信协议(诸如html或htmls)、局域网(lan)或有线通信协议(诸如导线)来操作通信设备。通信设备可适于在传感器104感测到流体泄漏时，接收来自传感器104的传入信号并且将传出信号发送至通信集线器或接收设备。通过这种方式，基于如本文所述的传感器104的第一状态(第一工况或第二工况)或第二状态，通信设备可以可操作地连接至通信集线器以编译并且分析来自传感器104的信息并且反馈至用户或传感器104本身。

可将用于执行本发明各方面(诸如传感器104或通信设备的一个或多个实施例)的操作的计算机程序代码写成一种或多种编程语言的任意组合，包括面向对象的编程语言诸如java、smalltalk、c 等和传统的过程式编程语言诸如“c”编程语言或类似的编程语言。程序代码可完全地在使用者的计算机上执行、部分地在用户的计算机上执行，作为独立运行的软件包部分地在用户的计算机上执行以及部分地在远程计算机上执行或完全地在远程计算机或服务器上执行。在后一种情况中，可将远程计算机通过任何类型的互联网，包括局域网(lan)或广域网(wan)，连接至用户的计算机，或者可连接至外部计算机(例如通过利用互联网服务提供商的互联网)。

在一个实施例中，通信设备可连续操作。如本文所用，“连续操作”是指从通信设备将信号连续地或不中断地传输至例如通信集线器。在一个实施例中，通信设备可被动地操作。如本文所用，“被动地操作”是指仅在阈值工况即流体泄漏出现时将信号例如传输至通信集线器。例如，通信设备可由电源供电。在一个实施例中，仅当传感器104感测到泄漏时，通信设备才接收功率以便将信号传输至通信集线器。这可以通过减少从电源的电流消耗来延长泄漏检测系统100的工作寿命，从而允许泄漏检测系统100更远程地定位。

在一个实施例中，可暴露通信设备，使得该通信设备延伸越过基板的外表面。因而，通信设备为可触及的，使得用户可调整或更换通信设备。在一个实施例中，通信设备可至少部分地诸如完全地嵌入基板内。这可以保护通信设备避免暴露于有害流体，如果通信设备设置在基板的表面上，有害流体就可能以其他方式接触通信设备。

在一个实施例中，通信设备可从基板106移除。在另一个实施例中，通信设备可更换。电接口可允许快速更换通信设备。例如，电接口可由具有电连接点的一个或多个端口组成，该电连接点匹配通信设备上的电连接点。各种通信设备可具有相同布置的电连接点，从而能够实现快速更换和它们之间的互换。

参照图6，泄漏检测系统100可以安装在流体导管602上。流体导管602(如图6所示)包括在接合部608连接在一起的上部流体导管604和下部流体导管606。接合部608可以例如由上部流体导管604和下部流体导管606之间的接口形成。在一个特定实施例中，接合部608可进一步包括适于将上部流体导管604和下部流体导管606固定在一起的螺纹或非螺纹的联接构件610。根据一个实施例描述的泄漏检测系统100可以诸如在下部流体导管604、接合部608、联接构件610或它们的任何组合处联接到流体导管602。在另一个实施例中，泄漏检测系统100可以与上部流体导管604联接。在一个更特定的实施例中，泄漏检测系统100可以与上部流体导管604联接以及与下部流体导管604、接合部608和联接构件610中的一者或多者联接。

如图6所示，在一个实施例中，泄漏检测系统100可以从外部环境(例如，操作员可以观看泄漏检测系统100的区域)看到。在一个更特定的实施例中，芯106可以从外部环境看到。在又一个更特定的实施例中，可以从外部环境看到芯106的大部分。

在某些情况下，流体导管602可以是加工设备的一部分并且与涉及部件形成的操作步骤相关联。在一个更特定的实例中，流体导管602可以是微电子设备的一部分，该微电子设备包括用于执行与微电子部件的形成相关联的操作步骤的操作区域。流体导管604可以与操作区域连通并且适于输送与操作步骤相关的流体。在一个特定的实施例中，接合部608可包括竖直接合部，传统的泄漏检测系统经常在此类竖直接合部失效。

在一个实施例中，泄漏检测系统100可以从流体导管602移除。在一个更特定的实施例中，在从流体导管602中移除之后，泄漏检测系统100可以相对于流体导管602或另一流体导管是可再附接的。即，例如，泄漏检测系统100可以是可重复使用的。

泄漏检测系统100到流体导管602的附接可以通过将泄漏检测系统100缠绕并压靠在流体导管602周围并压入流体导管602中来执行。在一个实施例中，在缠绕芯106时，可以从芯的第一端沿朝向芯106的第二端的方向执行(例如，围绕流体导管602)。在一个实施例中，将泄漏检测系统100压入流体导管602中可以包括将粘合剂108压入流体导管602中。在某些情况下，可在将芯106围绕流体导管602的整个圆周或基本上整个圆周缠绕的同时或大体上同时将芯106粘附到流体导管602上。

在一个实施例中，可以在将芯106围绕流体导管602的基本上整个圆周缠绕之后，将传感器104附接到芯106上。在附接完成之后，传感器104可以与流体导管602保持间隔开。

实施例1.一种泄漏检测系统，其包括：

配接器，该配接器构造为联接至导管并将泄漏物从导管引导至泄漏传感器，其中该配接器包括芯，该芯包括：

亲水性材料，

阳离子聚合物材料，

阴离子聚合物材料，

亲水性非离子材料，或

它们的任意组合。

实施例2.一种泄漏检测系统，其包括：

层压板，该层压板适于将泄漏的流体从导管输送到泄漏传感器，其中

该层压板包括：

芯，该芯适于输送泄漏的流体；以及

粘合剂，该粘合剂适于将芯固定到导管。

实施例3.一种泄漏检测系统，其包括：

芯，该芯具有一定宽度并且适于以使得联接的芯具有的宽度不大于该芯的宽度的方式围绕导管周向地联接，其中该芯适于将泄漏的流体在相对于导管的任何方向输送到传感器。

实施例4.一种泄漏检测系统，其包括：

芯，该芯设置在基板上并且适于将泄漏的流体从导管输送至泄漏传感器，其中该芯包括呈矩阵布置的多个流体通道。

实施例5.根据前述实施例中任一项所述的泄漏检测系统，其中从外部环境沿着导管的整个圆周都可以看到芯。

实施例6.根据前述实施例中任一项所述的泄漏检测系统，其中芯联接至粘合剂，该粘合剂适于将芯固定至导管。

实施例7.根据实施例6所述的泄漏检测系统，其中芯和粘合剂被固定地联接在一起。

实施例8.根据前述实施例中任一项所述的泄漏检测系统，其中芯包含柔性材料。

实施例9.根据前述实施例中任一项所述的泄漏检测系统，其中导管包括竖直定向的管道。

实施例10.根据实施例9所述的泄漏检测系统，其中竖直定向的管道在接合部连接至次级管道，并且其中接合部设置在适于容纳芯的区域上方。

实施例11.根据前述实施例中任一项所述的泄漏检测系统，其中芯包括：

亲水性阳离子聚合物；

天然物质，该天然物质由二氧化硅、胶原蛋白、果胶、明胶、淀粉、瓜尔豆胶、阿拉伯树胶、刺槐豆胶、刺梧桐树胶、海藻酸、钠盐或钾盐组成；

合成物质，该合成物质由羧甲基纤维素钠(cmc)、交联羧甲基纤维素钠、结晶羧甲基纤维素钠、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、聚乙二醇、聚丙二醇、交联葡聚糖、淀粉-丙烯腈接枝共聚物、淀粉聚丙烯酸钠、面筋、甲基乙烯基醚的聚合物、马来酸、聚丙烯酸或其共聚物的金属或铵盐、聚苯乙烯磺酸的金属或铵盐组成；或

它们的任意组合。

实施例12.根据前述实施例中任一项所述的泄漏检测系统，其中适于容纳芯的导管具有圆周cc，并且其中芯的长度在1.0cc至5.0cc、1.0cc至4.0cc、1.0cc至3.0cc或1.0cc至2.0cc的范围内。

实施例13.根据前述实施例中任一项所述的泄漏检测系统，其中在与导管处于已安装状态时，芯是单层的。

实施例14.根据前述实施例中任一项所述的泄漏检测系统，其中芯适于与传感器联接，该传感器适于检测从导管泄漏的流体。

实施例15.根据实施例14所述的泄漏检测系统，其中传感器适于由芯支撑。

实施例16.根据实施例14和15中任一项所述的泄漏检测系统，其中传感器适于与导管间隔开。

实施例17.根据前述实施例中任一项所述的泄漏检测系统，其中该泄漏检测系统适于联接至与形成微电子部件的操作步骤相关联的导管。

实施例18.根据前述实施例中任一项所述的泄漏检测系统，其中芯和粘合剂包括层压板，该层压板限定第一主表面和第二主表面，第一主表面和第二主表面由该层压板的厚度彼此间隔开。

实施例19.根据实施例18所述的泄漏检测系统，其中第二主表面由粘合剂限定。

实施例20.根据实施例18和19中任一项所述的泄漏检测系统，其中第一主表面至少部分地由粘合剂限定、至少部分地由芯限定、或两者。

实施例21.根据实施例18-20中任一项所述的泄漏检测系统，其中第一主表面的至少5％由芯限定，第一主表面的至少10％由芯限定，第一主表面的至少15％由芯限定，第一主表面的至少20％由芯限定，第一主表面的至少25％由芯限定，第一主表面的至少30％由芯限定，第一主表面的至少35％由芯限定，第一主表面的至少40％由芯限定，或第一主表面的至少45％由芯限定。

实施例22.根据实施例18-21中任一项所述的泄漏检测系统，其中不大于99％的第一主表面由芯限定，不大于95％的第一主表面由芯限定，不大于90％的第一主表面由芯限定，不大于80％的第一主表面由芯限定，不大于70％的第一主表面由芯限定，不大于60％的第一主表面由芯限定，或者不大于50％的第一主表面由芯限定。

实施例23.根据实施例18-22中任一项所述的泄漏检测系统，其中当垂直于第一主表面观察时，芯和粘合剂都可见。

实施例24.根据实施例18-23中任一项所述的泄漏检测系统，其中芯包括与粘合剂联接的带。

实施例25.根据实施例18-23中任一项所述的泄漏检测系统，其中芯包括涂层。

实施例26.根据前述实施例中任一项所述的泄漏检测系统，其中芯限定多个分立的流体通道。

实施例27.根据实施例26所述的泄漏检测系统，其中所述多个分立的流体通道处于流体连通。

实施例28.根据实施例26和27中任一项所述的泄漏检测系统，其中所述多个分立的流体通道限定矩阵。

实施例29.一种流体导管，其包括：

第一导管和第二导管之间的接合部；其中第一导管和第二导管中的至少一者是竖直导管；以及

泄漏检测系统，其包括：

芯，其通过粘合剂联接到第一导管和第二导管中的至少一者；以及

传感器，其适于检测从接合部沿着芯输送的泄漏物。

实施例30.根据实施例29所述的流体导管，其中芯适于从第一导管和第二导管中的至少一者移除。

实施例31.根据实施例29和30中任一项所述的流体导管，其中芯从外部环境沿着第一导管和第二导管中的至少一者的整个圆周是可见的。

实施例32.根据实施例29-31中任一项所述的流体导管，其中粘合剂与芯成一体。

实施例33.根据实施例29-32中任一项所述的流体导管，其中第一导管和第二导管中的至少一者是竖直定向的。

实施例34.根据实施例29-33中任一项所述的流体导管，其中芯包含柔性材料。

实施例35.根据实施例29-34中任一项所述的流体导管，其中芯是单层的。

实施例36.根据实施例29-35中任一项所述的流体导管，其中芯与包含所述流体导管的区域的周围环境直接流体连通。

实施例37.根据实施例29-36中任一项所述的流体导管，其中第一导管和第二导管适于输送与形成微电子部件的操作步骤相对应的流体。

实施例38.根据实施例29-37中任一项所述的流体导管，其中传感器可拆卸地联接至芯。

实施例39.一种微电子设备，其包括：

用于执行与微电子部件的形成相关联的操作步骤的操作区；

流体导管，其与操作区域连通并且适于输送与操作步骤相关联的流体，该流体导管包括在上部导管和下部导管之间的竖直接合部；

以及

围绕下部导管布置的可拆卸的泄漏检测系统，其中该泄漏检测系统包括：

围绕下部导管的整个圆周延伸的芯；以及

传感器，其适于检测从下部导管沿着芯输送的泄漏物。

实施例40.根据实施例39所述的微电子设备，其中与操作步骤相关联的流体包括以下项中的至少一者：硫酸、过氧化物、氯化氢、氟化氢、一种或多种溶剂中的至少一种或它们的任意组合。

实施例41.根据实施例39和40中任一项的微电子设备，其中芯包括适于芯吸硫酸、过氧化物、氯化氢、氟化氢、一种或多种溶剂或其任何组合中的至少一者的材料。

实施例42.根据实施例39-41中任一项所述的微电子设备，其中芯包括适于输送硫酸、过氧化物、氯化氢、氟化氢和一种或多种溶剂的材料。

实施例43.根据实施例39-42中任一项所述的微电子设备，其中芯是单层的。

实施例44.根据实施例39-43中任一项所述的微电子设备，其中芯包括柔性材料片。

实施例45.根据实施例39-44中任一项所述的微电子设备，其中芯通过粘合剂联接到下部导管。

实施例46.根据实施例45所述的微电子设备，其中粘合剂包括压敏粘合剂。

实施例47.根据实施例45和46中任一项所述的微电子设备，其中芯和粘合剂包括层合结构。

实施例48.根据实施例39-47中任一项所述的微电子设备，其中芯适于从下部流体导管沿朝向所述传感器的方向输送泄漏的流体，并且其中传感器可相对于芯以任何相对角度设置。

实施例49.一种从流体导管检测泄漏的方法，其包括：

将芯围绕竖直定向的流体导管的基本上整个圆周缠绕；

通过与芯相关联的粘合剂将芯粘附到流体导管上；以及

将泄漏检测传感器附接至芯。

实施例50.根据实施例49所述的方法，其中，围绕流体导管的圆周将芯缠绕一圈。

实施例51.根据实施例49和50中任一项所述的方法，其进一步包括：在围绕流体导管的基本上整个圆周缠绕芯之前，调节所述芯的长度。

实施例52.根据实施例49-51中任一项所述的方法，其进一步包括在围绕流体导管的基本上整个圆周缠绕芯之前，将粘合剂背衬从芯移除。

实施例53.根据实施例49-52中任一项所述的方法，其中，通过将芯压入流体导管中来执行芯的粘附。

实施例54.根据实施例49-53中任一项所述的方法，其中芯的粘附与围绕流体导管的基本上整个圆周缠绕芯大致同时发生。

实施例55.根据实施例49-54中任一项所述的方法，其中在围绕流体导管的基本上整个圆周缠绕芯之后，将泄漏检测传感器附接至芯。

实施例56.根据实施例49-55中任一项所述的方法，其中执行将泄漏检测传感器附接至芯的步骤，使得在完成附接之后，泄漏检测传感器与流体导管保持间隔开。

实施例57.根据实施例49-56中任一项所述的方法，其中从芯的第一纵向端沿朝向芯的第二纵向端的方向执行对芯的缠绕。

需注意，并非所有上述一般说明或实例中的行为都是必需的，可能不一定需要具体行为的一部分，并且除描述的那些行为外，还可执行一个或多个进一步的行为。此外，所列行为的次序不一定是执行它们的次序。

上面已经参考具体实施例描述了益处、其他优点及问题的解决方案。然而，益处、优点、问题的解决方案及可使任何益处、优点或解决方案被想到或变得更加显著的任何特征都不应被解释为是任何或所有权利要求的关键、所需或必要的特征。

本文所述的实施例的说明书和图示旨在提供对各种实施例的结构的一般理解。说明书和图示并不旨在用作对使用了本文所述的结构或方法的装置和系统的所有元件和特征的详尽和全面的描述。单独的实施例也可在单个实施例中以组合的方式来提供，并且相反地，为简明起见而在单个实施例的上下文中描述的各种特征也可单独地提供或以任何子组合的方式来提供。此外，对以范围表示的值的引用包括该范围内的每个值和所有各值。只有在阅读本说明书之后，许多其他实施例对于技术人员才是显而易见的。通过本公开内容可以利用和得到其他实施例，使得可在不脱离本公开的范围的情况下进行结构替换、逻辑替换或其他改变。因此，本公开应被视为说明性的而非限制性的。