分拣装置及其挑拣模块的制作方法

1.本实用新型涉及分拣装置，更具体地说，涉及一种分拣装置及其挑拣模块。


背景技术：

2.随着led的不断发展，对led的需求和品质要求也越来越高，尤其是迷你led技术的进步，带动了显示行业的快速发展，同时也对led晶粒的品质提出了更高的要求。
3.在led晶圆的加工制程中，晶圆被切割成多个晶粒，切割后的晶粒需要经过一系列的检测，并根据所检测的光电参数进行分类。晶粒分拣装置将晶粒挑选出来整齐排列到蓝膜上，以方便后续制程作业。
4.图1是现有技术中一种分拣装置的结构示意图。如图1所示，该分拣装置包括待分料晶粒顶取模块1、与待分料晶粒顶取模块1相对设置的晶粒分类模块2、以及设置在两者之间的挑拣模块3，其中一挑拣模块3将晶粒从待分料晶粒顶取模块1上吸取以后，旋转至晶粒分类模块2并将晶粒4置放在对应的蓝膜上。其中，可通过在晶粒分类模块2中设置顶针，并使顶针推顶蓝膜朝向挑拣模块3的吸嘴方向运动，使得吸嘴上的晶粒置放到蓝膜上。在这种现有的分拣装置中，由于顶针在推顶蓝膜的过程中，蓝膜的中心和边缘的张力不同，导致蓝膜中心的晶粒位移变化较小而边缘的晶粒位移变化较大，影响接料的精度，必须通过软件来补偿蓝膜的伸缩造成的精度影响。
5.图2是现有技术中一种晶粒挑拣臂构件的结构示意图。专利号为twm402496u1的台湾专利公开了一种晶粒挑拣臂构件，如图2所示，该晶粒挑拣臂构件包括挑拣臂40、旋转支架20、平移固定板50、以及平移构件30。挑拣臂40通过旋转支架20进行旋转运动，且平移构件30可带动挑拣臂40相对于平移固定板50运动。这种结构的缺陷在于，旋转支架20、平移构件30均直接或间接与挑拣臂40连接，并且旋转支架20以及相关的一部分驱动机构会随着挑拣臂40一起旋转，会导致挑拣臂40的旋转速度下降，直接影响到整机的效率；在平移运动的过程中，平移构件30、挑拣臂40、旋转支架20一起平移，较大的重量导致平移运动的速度下降，也会直接影响到整机效率；此外，这种结构会导致噪音及振动都较大。


技术实现要素：

6.本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的晶粒挑拣臂构件运动速度低、影响整机效率的缺陷，提供一种分拣装置及其挑拣模块，可实现轻量化，并提高效率。
7.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种分拣装置的挑拣模块，所述挑拣模块包括：
8.可旋转的摆臂底座；
9.分别连接在所述摆臂底座的两端上方的摆臂组件，每个所述摆臂组件包括：可滑动地连接在所述摆臂底座上的吸嘴座、以及设置在所述吸嘴座上的吸嘴组件；
10.与所述摆臂底座连接并驱动所述摆臂底座旋转、使得所述吸嘴组件在第一位置和第二位置之间切换的摆臂底座驱动装置；以及
11.拨动组件，包括拨杆、以及驱动所述拨杆运动的拨杆驱动装置，所述拨杆与处于第二位置的所述吸嘴组件配合并带动所述吸嘴组件的吸嘴座沿第一方向滑动以放料。
12.根据本实用新型所述的分拣装置的挑拣模块，所述拨动组件还包括拨杆旋转轴，所述拨杆连接于所述拨杆旋转轴，且一端与所述拨杆驱动装置配合，另一端与处于第二位置的所述吸嘴组件配合。
13.根据本实用新型所述的分拣装置的挑拣模块，所述吸嘴组件可沿第一方向运动地设置在所述吸嘴座上，在所述吸嘴座和所述吸嘴组件之间设置有缓冲件，所述缓冲件在变形状态恒对所述吸嘴组件施加远离另一摆臂组件的弹力。
14.根据本实用新型所述的分拣装置的挑拣模块，所述摆臂组件还包括连接在所述吸嘴座和吸嘴组件之间的固定套，所述固定套固定设置在所述吸嘴座上，在所述吸嘴组件上固定设置有限位突起，所述限位突起在所述缓冲件的作用下抵顶在所述吸嘴座或者固定套上。
15.根据本实用新型所述的分拣装置的挑拣模块，所述吸嘴座包括：
16.与所述摆臂底座滑动连接的连接部；
17.从所述连接部沿着第二方向向上延伸的吸嘴安装部，所述吸嘴组件设置在所述吸嘴安装部上，所述第二方向与所述第一方向垂直；以及
18.设置在所述连接部或吸嘴安装部底部的拨动部，所述拨动部是沿着第二方向向下延伸的单个突出部、或者是沿着第二方向向下延伸的一对突出部、或者是设置在所述连接部或吸嘴安装部底部的倒u形槽，所述拨动部与所述拨杆配合。
19.根据本实用新型所述的分拣装置的挑拣模块，在所述摆臂底座与所述吸嘴座之间设置有复位元件，所述复位元件恒在第一方向上对所述吸嘴座施加复位力。
20.根据本实用新型所述的分拣装置的挑拣模块，所述复位元件为弹簧，在所述摆臂底座上固定设置有挡块，在所述吸嘴座上设置有对应的挡缘，所述挡块或挡缘的其中一者上穿设有螺杆，所述螺杆上设有螺母，所述螺母介于所述挡块和挡缘之间，所述弹簧套设于所述螺杆上，且一端抵于所述挡块或挡缘的其中另一者，另一端抵于所述螺母。
21.本实用新型还提供了一种分拣装置，包括：
22.待分料晶粒顶取模块，包括：用于放置待分类的晶粒的待分料晶粒存放组件、以及沿着第一方向设置在所述待分料晶粒存放组件一侧的顶针组件；
23.晶粒分类模块，沿着第一方向与所述待分料晶粒顶取模块相对设置；以及
24.如上文所述的挑拣模块，所述挑拣模块设置在所述待分料晶粒顶取模块和所述晶粒分类模块之间。
25.根据本实用新型所述的分拣装置，所述晶粒分类模块包括用于放置已分类的晶粒的已分类晶粒存放组件，所述已分类晶粒存放组件包括：已分料架、设置于所述已分料架的已分料框、安装在所述已分料框上的已分料膜、以及设置在所述已分料膜一侧且用于支撑所述已分料膜的支撑盘。
26.根据本实用新型所述的分拣装置，所述支撑盘上设置有用于连接抽真空装置的多个气孔，且所述支撑盘相对于所述已分料框固定；所述支撑盘和所述已分料框与所述已分料架转动连接，所述晶粒分类模块还包括驱动所述支撑盘和所述已分料框绕着第一方向的轴线转动的旋转驱动装置。
27.实施本实用新型的分拣装置及其挑拣模块，具有以下有益效果：减少了随着摆臂组件一起旋转的组件数量，实现了轻量化，明显提高了效率。此外，分拣装置的挑拣模块的其中一个摆臂组件可以朝向晶粒分类模块运动以置放晶粒，而晶粒分类模块不在第一方向上运动，采用面积较大的支撑盘对已分料膜进行支撑，避免了已分料膜的伸缩影响，无论是已分料膜的中心还是边缘，均可保持较高的精度。
附图说明
28.下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：
29.图1是现有技术中一种分拣装置的结构示意图；
30.图2是现有技术中一种晶粒挑拣臂构件的结构示意图；
31.图3是根据本实用新型的实施例的分拣装置的部分组件的结构示意图；
32.图4a是根据本实用新型的实施例的挑拣模块的结构示意图；
33.图4b是图4a的局部放大图；
34.图5是根据本实用新型的实施例的挑拣模块固定时的结构示意图；
35.图6是根据本实用新型的实施例的挑拣模块固定时的另一结构示意图；
36.图7是根据本实用新型的实施例的摆臂组件的部分组件的分解示意图；
37.图8是根据本实用新型的实施例的挑拣模块的俯视图；
38.图9是根据本实用新型的实施例的挑拣模块的主视图；
39.图10是图9的局部放大图；
40.图11是根据本实用新型的实施例的晶粒分类模块的部分组件的结构示意图；
41.图12是根据本实用新型的实施例的晶粒分类模块的另一示意图。
具体实施方式
42.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
43.图3是根据本实用新型的实施例的分拣装置10的部分组件的结构示意图。如图3所示，本实用新型的分拣装置10包括安装在架体(未图示)上的：待分料晶粒顶取模块100、沿着第一方向x与待分料晶粒顶取模块100相对设置的晶粒分类模块200、以及设置在两者之间的挑拣模块300。挑拣模块300将待分料晶粒顶取模块100上的晶粒吸取后，旋转并将晶粒放置在晶粒分类模块200的存料膜上，完成晶粒的挑拣分类。
44.该待分料晶粒顶取模块100包括：用于放置待分类的晶粒的待分料晶粒存放组件110、沿着第一方向x设置在待分料晶粒存放组件110一侧的顶针组件120、以及用于驱动待分料晶粒存放组件110沿着第二方向y和第三方向z运动的待分类晶粒存放组件驱动装置130，第一方向x、第二方向y、第三方向z相互垂直。其中待分料晶粒存放组件110包括：待分料架111；插接在待分料架111上的待分料框112；以及安装在待分料框112上的待分料膜113。待分料架111中空且其上可以设置有插槽，待分料框112插置固定在待分料架111的插槽内。待分类的晶粒黏附在待分料膜113朝向挑拣模块300的表面上并间隔排列，这些晶粒可以呈矩阵阵列分布。待分料晶粒存放组件110的结构不限于上述的形式，待分料架111和
待分料框112也可以呈一体设置。
45.顶针组件120和挑拣模块300分别位于待分料膜113的两侧，当顶针组件120朝向待分料膜113运动、穿过待分料架111并对待分料膜113施力时，待分料膜113发生形变且顶针组件120将待分料膜113上的晶粒顶出，使得挑拣模块300将晶粒吸附。
46.顶针组件120包括顶杆121、以及驱动顶杆121沿着第一方向运动从而对待分料膜施力的顶杆驱动件(未图示)。整个顶针组件120设置在架体上。该顶杆驱动件可以是电机。
47.待分料晶粒存放组件110的待分料架111连接在待分类晶粒存放组件驱动装置130上。在图示的实施例中，待分类晶粒存放组件驱动装置130可以是十字滑台，包括：承载待分料架111且可沿着第二方向y和第三方向z中的一者运动的第一滑台131、承载第一滑台131且可沿着第二方向y和第三方向z中的另一者运动的第二滑台132、驱动第一滑台131运动的第一滑台驱动件(未图示)、以及驱动第二滑台132运动的第二滑台驱动件(未图示)。待分料架111可以固定在第一滑台131上，第一滑台131可以固定在第二滑台132上。当第一滑台131沿着第二方向y和第三方向z中的一者运动时，会带着待分料晶粒存放组件110一起运动；当第二滑台132沿着第二方向y和第三方向z中的另一者运动时，会带动第一滑台131和待分料晶粒存放组件110一起运动，如此可实现待分料晶粒存放组件110在第二方向y和第三方向z上的调整，从而使得顶针组件120能够顶出待分料膜113上不同位置的晶粒。第一滑台驱动件和第二滑台驱动件可以是电机、气缸、齿轮齿条等。
48.待分类晶粒存放组件驱动装置130的结构不限于此，也可以是与待分料晶粒存放组件110连接的一体结构，可通过在第二方向y和第三方向z上分别驱动，使得待分类晶粒存放组件驱动装置130带动待分料晶粒存放组件110运动。
49.图4a是根据本实用新型的实施例的挑拣模块300的结构示意图；图4b是图4a的局部放大图；图5是根据本实用新型的实施例的挑拣模块300固定时的结构示意图；图6是根据本实用新型的实施例的挑拣模块300固定时的另一结构示意图。挑拣模块300设置在待分料晶粒顶取模块100和晶粒分类顶取模块200之间，用于吸取待分料晶粒顶取模块300上的晶粒，之后置放到晶粒分类顶取模块200上。如图4a
‑
6所示，该挑拣模块300包括可旋转的摆臂底座310、分别连接在摆臂底座310的两端上方的摆臂组件320、330、拨动组件340、以及驱动摆臂底座310旋转的摆臂底座驱动装置350。
50.其中摆臂底座驱动装置350可以是例如电机，其旋转轴连接在摆臂底座310的底部并能够带动摆臂底座310绕其沿着第二方向y的旋转轴旋转。摆臂底座310关于旋转轴对称，其截面可以呈如图所示的两头窄而中间宽的梭形，也可以是其它形状，如长方形、椭圆形等。摆臂组件320、330可滑动地连接在摆臂底座310的两端上方，随着摆臂底座310的旋转在第一位置和第二位置之间切换，在第一位置，吸嘴组件吸取晶粒；在第二位置，吸嘴组件放置晶粒。拨动组件340用于拨动摆臂组件320、330中处于第二位置(也就是，靠近晶粒分类模块200)的一者，使其朝向晶粒分类模块200运动，从而便于置放晶粒、实现放料。
51.拨动组件340包括可旋转地连接在架体上的拨杆341、以及驱动拨杆341运动的拨杆驱动装置342。在图示的实施例中，拨杆341的中部通过拨杆旋转轴可旋转地连接在架体上，其一端由拨杆驱动装置342驱动而绕拨杆旋转轴发生旋转，另一端拨动对应的摆臂组件。拨杆驱动装置342可以是例如电机，带动拨杆运动，该电机的第一端可转动地在机架上，第二端与拨杆341相连，当驱动拨杆341时，电机可以具有一定的运动自由度使得拨杆341的
一端旋转。
52.拨杆驱动装置342还可以是电磁装置，在拨杆341的一端设置磁吸件且通过通断电来吸/放拨杆341而实现拨杆341的转动和归位。拨杆驱动装置342还可以是气缸，通过活塞杆与拨杆341的一端连接且带动拨杆341运动，此时气缸的连接方式与电机类似。
53.拨杆341的结构不限于上述的形式。拨杆341还可以是下端固定在拨杆旋转轴上，而通过拨杆驱动装置342驱动拨杆旋转轴转动，来带动拨杆341绕拨杆旋转轴旋转，此时拨杆驱动装置342还可以采用皮带轮等。
54.此外，拨杆341还可以以平移运动来替代旋转运动，在这样的实施例中，通过拨杆驱动装置342来带动拨杆341平移，以拨动摆臂组件，此时拨杆驱动装置342可采用如电机、电磁装置、气缸、齿轮齿条等多种形式中的任意一种。
55.摆臂组件320、330的结构完全相同且以第一方向x的旋转轴为中心呈旋转对称。为简洁起见，此处以摆臂组件320为例对两摆臂组件320、330的结构进行说明。图7是根据本实用新型的实施例的摆臂组件320的部分组件的分解示意图，图8是根据本实用新型的实施例的挑拣模块300的俯视图；图9是根据本实用新型的实施例的挑拣模块300的主视图；图10是图9的局部放大图。结合图4a
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10所示，摆臂组件320包括可滑动地连接在摆臂底座310上的吸嘴座321、设置在吸嘴座321上的吸嘴组件322、以及设置在吸嘴座321和吸嘴组件322之间的缓冲件323。摆臂组件320随着摆臂底座310在第一位置和第二位置之间切换，且吸嘴座321处于第二位置时，可以与拨动组件340配合并被拨动组件340拨动而朝向晶粒分类顶取模块200运动，从而将吸嘴组件322所吸取的晶粒送至晶粒分类顶取模块200。
56.具体而言，吸嘴座321包括连接部321a、吸嘴安装部321b、以及拨动部321c。在图示的实施例中，连接部321a大致呈平板状，吸嘴安装部321b从连接部321a远离旋转轴的一端沿着第二方向y向上延伸。拨动部321c设置在连接部321a或吸嘴安装部321b的底部且超出摆臂底座310的外周边界。但本实用新型的吸嘴座321的结构不限于此，只要能够安装吸嘴组件321且便于吸嘴组件321吸取晶粒的结构均可。拨动部321c可以是图示的沿着第二方向y向下延伸的单个平板状突出部，也可以是其它的形状，例如沿着第二方向y平行向下延伸的一对平板状突出部，或者是设置在连接部321a或吸嘴安装部321b底部的倒u形环状槽或弧形槽。也就是，拨动部321c的结构只要能够被拨杆341拨动均可。
57.吸嘴座321通过限位导向元件可沿第一方向x滑动地连接在摆臂底座310上。在图示的实施例中，限位导向元件包括：固定在摆臂底座310上的导轨324、以及与导轨324滑动连接的滑块325，其中滑块325固定连接在吸嘴座321的底部。导轨324沿着第一方向x延伸，且导轨324沿着第三方向z的相对两侧均设置有凹进的导向槽324a。滑块325呈倒扣的u型，扣接在导轨324上，在滑块325沿着第三方向z彼此相对的内壁上，设置有对应的导向突起325a。滑块325的导向突起325a与导轨324上的导向槽324a配合，并可沿着导向槽324a在第一方向x上滑动。这种彼此配合的结构还可以防止滑块325从导轨324上脱落。但本实用新型的结构不限于此，导轨324和滑块325的结构可以发生很多变化。在另一实施例中，导轨可以沿着第一方向x延伸，且其上设置有导向槽，导向槽的截面为倒t形，滑块325底部设置有倒t形的导向突起，滑块的导向突起与导轨的导向槽配合并可沿着导向槽在第一方向x上滑动。导向突起和导向槽除了形状的变化外，两者的位置还可以互换，即导向槽设置在滑块325上，而导向突起设置在导轨324上。而滑块325可以与吸嘴座321一体设置，也就是吸嘴座321
上直接设置导向突起或者导向槽，该导向突起或导向槽的位置也不限于设置在吸嘴座321的底部，也可以设置在吸嘴座321的侧面。只要能够为吸嘴座321的运动导向且能够防止吸嘴座321从导轨324上脱落的结构均可应用于本实用新型中。
58.当吸嘴座321处于第二位置时，拨杆341运动而拨动吸嘴座321的拨动部321c，吸嘴座321会在拨杆341的作用下而朝向晶粒分类顶取模块200运动。在图示的实施例中，为了使得拨杆341的作用力撤销后，吸嘴座321能够复位，在摆臂底座310与吸嘴座321之间设置有复位元件326，该复位元件326恒对吸嘴座321施加在第一方向x上使得吸嘴座321靠近待分料晶粒顶取模块100的复位力。具体而言，在摆臂底座310上固定设置有挡块311，在吸嘴座321上设置有对应的挡缘321d，复位元件326为弹簧，设置在挡块311和挡缘321d之间。当吸嘴座321运动时，会使得弹簧发生形变而产生复位弹力。
59.为了固定弹簧并调节弹簧的变形量，在挡块311上穿设有螺杆312，螺杆312上设有螺母313(参照图4b)。螺杆312沿着第一方向x延伸，且螺母313介于挡块311和挡缘321d之间。弹簧套设于螺杆312上，且一端抵于挡缘321d，另一端抵于螺母313。当需要调节弹簧的变形量时，旋转螺母313而调节其在螺杆312上的位置，如此可以调节吸嘴座321的运动距离。在挡缘321d上可以设置沉孔，供定位弹簧用。在以上描述中，以复位元件326为压缩弹簧位力进行了说明，但是本领域的技术人员可理解，复位元件326可以是拉伸弹簧等。
60.本实用新型的结构不限于此，螺杆312也可以设置于挡缘321d上，螺母313与螺杆312配合且介于挡块311和挡缘321d之间，弹簧套设于螺杆312上，且一端抵于挡块311，另一端抵于螺母313，可以实现同样的目的。
61.此外，在拨动部321c是沿着第二方向y平行向下延伸的一对平板状突出部的实施例中，或者拨动部321c是设置在连接部321a或吸嘴安装部321b底部的倒u形环状槽或弧形槽的实施例中，由于拨杆341的往复运动会带动吸嘴安装部321b往复运动，也就不需要再设置复位元件326。
62.吸嘴组件322包括吸嘴3221，且吸嘴组件322可沿第一方向x运动地设置在吸嘴座321上，在吸嘴座321和吸嘴组件322之间设置有缓冲件323，该缓冲件323恒沿着第一方向x对吸嘴组件322施加朝向晶粒分类模块200的弹力，使得该吸嘴组件322在未受到外力作用的情况下紧抵在吸嘴座321上而保持固定。在吸嘴组件322的吸嘴322受到外界的压力时，缓冲件323发生变形，吸嘴组件322沿着第一方向x回缩，以起到缓冲作用，避免吸嘴3221损伤晶粒。
63.具体而言，吸嘴组件322包括吸嘴杆3222和固定连接在吸嘴杆3222上的吸嘴3221，吸嘴杆3222为中空管状而形成气道，在吸嘴杆3222的外周设置有进气孔(未图示)，用于连接抽真空装置(未图示)。吸嘴3221固定在吸嘴杆3222的第一端，吸嘴杆3222的第二端由透光材料密封。当抽真空装置工作时，晶粒可被吸附在吸嘴3221上，而抽真空装置停止工作时，真空状态被破坏，吸嘴3221可以将晶粒放置到晶粒分类顶取模块200上。
64.摆臂组件320还可以包括连接在吸嘴座321和吸嘴组件322之间的固定套327。在吸嘴座321上设置有固定孔321e，固定套327固定设置在固定孔321e内。固定套327大致呈圆筒状，吸嘴组件322的吸嘴杆3222可沿着第一方向x滑动地设置在固定套327内，且两端延伸出固定套327之外。在固定套327的内壁上，可设置有多个滚珠且滚珠的一部分突出于固定套327的内壁，或者在固定套327的内壁上设置多个凸起，在吸嘴杆3222的外壁上设置有与滚
珠或凸起配合的凹槽3222a，使得两者可相对滑动。
65.吸嘴座321的吸嘴安装部321b可以大致呈倒u形，包括彼此相对设置的固定套安装部分321b
‑
1和缓冲件安装部分321b
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2、以及连接在两者的顶部之间的连接部分321b
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3。固定套327固定在固定套安装部分321b
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1上。但本实用新型的吸嘴安装部321的结构不限于此，它也可以呈正放的u形，或者也可以仅包括彼此相对设置的固定套安装部分321b
‑
1和缓冲件安装部分321b
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2。
66.缓冲件323可以是设置在吸嘴杆3222的第二端和吸嘴座321之间的弹簧。在吸嘴杆3222的第二端可以形成台阶，弹簧套设在吸嘴杆3222的第二端并抵于台阶上，弹簧的另一端抵于吸嘴安装部321b上。具体而言，可以在缓冲件安装部分321b
‑
2上设置沉孔，使弹簧的另一端被容纳在沉孔内而实现定位。本实用新型的结构不限于此，缓冲件安装部分321b
‑
2上也可以设置凸柱，弹簧套设在凸柱上而实现定位，或者，弹簧可以直接连接在缓冲件安装部分321b
‑
2上。
67.在吸嘴杆3222的第二端附近，还固定设置有限位突起3222b，该限位突起3222b可以呈圆盘状，在缓冲件323的作用下抵顶在吸嘴座321或者固定套327上，使得吸嘴杆3222相对于吸嘴座321固定。在受到外力时，缓冲件323变形，限位突起3222b离开吸嘴座321或者固定套327，并沿着第一方向x运动。
68.图11是根据本实用新型的实施例的晶粒分类模块200的部分组件的结构示意图，图12是根据本实用新型的实施例的晶粒分类模块200的另一示意图。结合图11、12所示，晶粒分类模块200包括：用于放置已分类的晶粒的已分类晶粒存放组件210、以及用于驱动已分类晶粒存放组件210沿着第二方向y和第三方向z直线运动的已分类晶粒存放组件驱动装置220。
69.已分类晶粒存放组件210包括：已分料架211、可转动连接在已分料架211上的已分料框212(参见图3)、安装在已分料框212上的已分料膜216(参见图3)、以及设置在已分料膜216一侧且用于支撑已分料膜216的支撑盘213(参见图3)。其中已分料架211固定连接在已分类晶粒存放组件驱动装置220上，并可被驱动而沿着第二方向y和第三方向z直线运动。该已分料架211可具有圆形的内孔，在已分料架211的内孔内，设置有转动件214。该转动件214可以大致呈圆筒形或者圆环形，且通过例如轴承可转动地连接在已分料架211内。在转动件214上还固定连接有插接件215，插接件215位于支撑盘213的两侧和底部，在插接件215上设置有插槽。已分料框212可插置在插接件215的插槽内，以方便更换。
70.支撑盘213大致呈圆盘状，固定连接在转动件214上。在支撑盘213上设置有多个气孔，支撑盘213上的气孔与另一抽真空装置连接，当抽真空装置工作时，支撑盘213会将已分料膜216吸附在其上。但本实用新型的结构不限于此，支撑盘213也可以直接抵在已分料膜216上。
71.已分类晶粒存放组件210还包括驱动已分料框212、支撑盘213、转动件214绕着第一方向x的轴线转动的旋转驱动装置。该旋转驱动装置包括固定在已分料架211上的驱动电机217、以及连接在电机217和转动件214之间的皮带218。在图示的实施例中，转动件214的一部分连接于轴承，露出轴承外的部分连接于皮带218。但本实用新型的结构不限于此，除了皮带外，还可以通过例如齿轮等进行驱动，如此可实现已分料膜216的角度调整。
72.在上文中，插接件215、已分料框212可以直接连接于支撑盘213，也可以直接连接
于转动件214。
73.在其它的实施例中，转动件214并不是必须的组件，支撑盘213自身可以通过例如轴承等转动连接于已分料架211，且支撑盘213由旋转驱动装置进行驱动。旋转驱动装置可以是上文所述的电机和皮带，还可以是齿轮等。
74.已分类晶粒存放组件驱动装置220可以是十字滑台，包括：承载已分料架211且可沿着第二方向y和第三方向z中的一者运动的第三滑台221、承载第三滑台221且可沿着第二方向y和第三方向z中的另一者运动的第四滑台222、驱动第三滑台221运动的第三滑台驱动件(未图示)、以及驱动第四滑台222运动的第四滑台驱动件(未图示)。已分料架211可以固定在第三滑台221上，第三滑台221可以固定在第四滑台222上。当第三滑台221沿着第二方向y和第三方向z中的一者运动时，会带着已分类晶粒存放组件210一起运动；当第四滑台222沿着第二方向y和第三方向z中的另一者运动时，会带动第三滑台221和已分类晶粒存放组件210一起运动，如此可实现已分类晶粒存放组件210在第二方向y和第三方向z上的调整，从而使得挑拣模块300的吸嘴能够将晶粒放置在已分料膜216的不同位置。第三滑台驱动件和第四滑台驱动件可以是电机、气缸、齿轮齿条等。
75.已分类晶粒存放组件驱动装置220的结构不限于此，也可以是与已分类晶粒存放组件210的已分料架211连接的一体结构，可通过在第二方向y和第三方向z上分别驱动，使得已分类晶粒存放组件驱动装置220带动已分类晶粒存放组件210运动。
76.本实用新型的分拣装置10工作时，待分料晶粒顶取模块100的顶针组件120朝向待分料膜113运动并对待分料膜113施力，待分料膜113发生形变从而将待分料膜113上的晶粒顶出，挑拣模块300的其中一个摆臂组件的吸嘴组件处于抽真空状态并将晶粒吸附。之后，摆臂底座310旋转180度，使得吸附了晶粒的吸嘴组件朝向晶粒分类模块200，拨动组件340的拨杆341拨动该吸嘴组件，使得该吸嘴组件朝向晶粒分类顶取模块200运动，从而将吸嘴组件322所吸取的晶粒送至晶粒分类顶取模块200的已分料膜216，之后该吸嘴组件的气路切断，真空状态被破坏，晶粒被松开并粘附至已分料膜216。在吸附了晶粒的吸嘴组件将晶粒放置至已分料膜216的同时，另一个吸嘴组件从待分料膜113吸取晶粒，之后重复同样的过程，将晶粒放置至晶粒分类模块200。
77.相比于现有技术，本实用新型的分拣装置10减少了随着摆臂组件320、330一起旋转的组件数量，实现了轻量化，明显提高了效率。此外，本技术中分拣装置的挑拣模块300的其中一个摆臂组件可以朝向晶粒分类模块200运动以置放晶粒，而晶粒分类模块200不在第一方向x上运动，采用面积较大的支撑盘213对已分料膜216进行支撑，避免了已分料膜216的伸缩影响，无论是已分料膜216的中心还是边缘，均可保持较高的精度。
78.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。