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一种残膜回收机防缠绕挑膜装置的制作
一种秧草收获机用电力驱动行走机构的
微观装置的制造及其处理技术
一种红外探测器及其内置加热器的陶瓷管壳的制作方法
本发明涉及mems器件封装技术领域,更具体地说,涉及一种内置加热器的陶瓷管壳。本发明还涉及一种包括上述内置加热器的陶瓷管壳的红外探测器。
标签:
管壳
加热器
陶瓷
地说
封装
2021-10-26
一种以SU-8胶为回流焊阻焊层的MEMS元件低温封装方法与流程
本发明涉及一种以su-8胶为回流焊阻焊层的微机电系统(mems,micro-electro-mechanicalsystem)元件低温封装方法,特别涉及一种以su-8胶为回流焊阻焊层的丝状、带状mems元件低温
标签:
2021-10-26
一种硅基多刺状纳米锥有序阵列的制备方法及其应用与流程
本发明涉及有序阵列硅材料领域,尤其涉及一种硅基多刺状纳米锥有序阵列的制备方法及其应用。
标签:
阵列
有序
基多
纳米
及其应用
2021-10-26
一种仿生壁虎干胶及其制备方法与流程
本发明属于微纳加工技术领域,尤其涉及一种仿生壁虎干胶及其制备方法。
标签:
壁虎
制备方法
加工
干胶
2021-10-26
一种压阻式MEMS传感器制作方法与流程
本发明涉及硅微机械传感器技术领域,具体是一种压阻式mems传感器制作方法。
标签:
传感器
制作方法
微机
是压阻式
mems
2021-10-26
一种基于碳纳米管的致动器以及致动系统的制作方法
本发明涉及一种致动器,尤其涉及一种基于碳纳米管的致动器以及该致动器的应用。
标签:
碳纳米管
致动器
2021-10-26
具有改进灵敏度的压电MEMS传感器,诸如力、压力、变形传感器或麦克风的制作方法
本发明涉及一种具有改进灵敏度的压电型mems(微机电系统)传感器,如力传感器、压力传感器、变形传感器或麦克风。在下文中,将具体参考麦克风,而不失一般性。众所周知,微加工半导体
标签:
2021-10-26
一种MEMS微热板的制作方法
本实用新型实施例涉及MEMS技术,尤其涉及一种MEMS微热板。
标签:
实施
技术
mems
微热板
2021-10-26
一种半导体器件及其制造方法与流程
本发明涉及半导体制造工艺,具体而言涉及一种半导体器件及其制造方法。
标签:
半导体
制造工艺
方法
制造
半导体器件
2021-10-26
一种MEMS器件及制备方法、电子装置与流程
本发明涉及半导体技术领域,具体而言涉及一种mems器件及制备方法、电子装置。
标签:
半导体
器件
制备方法
装置
电子
2021-10-26
一种MEMS器件及其制造方法与流程
本发明涉及半导体制造工艺,具体而言涉及一种mems器件及其制造方法。
标签:
半导体
制造工艺
器件
方法
制造
2021-10-26
一种倒置装配的MEMS芯片封装结构的制作方法
本发明涉及一种MEMS芯片封装结构,属于MEMS技术领域。
标签:
封装
芯片
结构
mems
2021-10-26
带有阻尼的弹性安装传感器系统的制作方法
mems传感器是微结构化的器件,其通常包括负担器件的感测功能的活动部件。因此,所述活动部件对于振动或者可能妨碍感测信号或者可能对器件具有另一不利影响的其他机械冲击是交叉
标签:
2021-10-26
一种MEMS器件及制备方法、电子装置与流程
本发明涉及半导体技术领域,具体而言涉及一种mems器件及制备方法、电子装置。
标签:
半导体
器件
制备方法
装置
电子
2021-10-26
一种微机电系统的运动部件及其加工方法与流程
本发明涉及一种微机电系统的加工工艺,尤其涉及一种微机电系统的运动部件及其加工方法。
标签:
微机
系统
部件
加工工艺
加工
2021-10-26
一种复眼式堆叠密集型多泡结构的原子气室及其制备方法与流程
,本发明涉及一种原子气室,具体地,涉及一种复眼式堆叠密集型多泡结构的原子气室,可以广泛应用到气泡型的铷原子钟、原子磁力仪、原子滤光器、无极灯及法拉第主动光钟等领域。
标签:
原子
法拉第
原子钟
复眼
无极
2021-10-26
一种基于干法刻蚀的微器件的制作方法
本实用新型属于微纳加工技术领域,具体是涉及一种基于干法刻蚀的微器件。
标签:
刻蚀
器件
干法
加工
是基于
2021-10-26
可调谐电抗装置以及制造和使用该装置的方法与流程
相关申请的交叉引用本申请要求于2015年7月15日提交的美国临时专利申请no.62/192,969的权益,其以引用的方式并入本文,如同在本文中完全阐述一样。本发明总体涉及微机电系统(mems)装置和具有可调谐电感和/或电容的装置的领域。更具体地说,本发明的实施例涉及一种新颖的可调谐电抗装置、包括该可调谐电抗装置的集成电路和系统、以及制造和使用该可调谐电抗装置的方法。
标签:
调谐
电抗
装置
引用
申请
2021-10-26
SEM下纳米构件闭环操控方法及操作平台与流程
本发明属于微纳操作,具体涉及一种sem下纳米构件闭环操控方法及操作平台设计方案。
标签:
闭环
构件
操控
设计方案
纳米
2021-10-26
在单一衬底上包括多个纳米结构梯度的纳米结构化衬底的制造的制作方法
用于例如借助于电子束光刻或各种蚀刻技术在各种衬底表面上形成纳米结构的多种方法已经在现有技术中被知晓。这种纳米结构可以例如用于固定目标集团、比如生物分子或用于在相应的衬底上提供抗反射涂层。
标签:
衬底
用于
纳米
电子束
光刻
2021-10-26
一种纳米及微米孔的加工方法与流程
本发明涉及材料加工技术领域,尤其涉及一种纳米及微米孔的加工方法。
标签:
纳米
加工
材料加工
方法
2021-10-26
铸模的制作方法、图案片材的制造方法、电铸模具的制作方法及使用了电铸模具的铸模的制作方法与流程
本发明涉及一种铸模(mould)的制作方法、图案片材的制造方法、电铸模具的制作方法及使用了电铸模具的铸模的制作方法。
标签:
制作方法
铸模
电铸
模具
图案
2021-10-26
一种基于柔性薄膜的MEMS执行器及其制作方法与流程
本发明涉及一种mems执行器及其制作方法,特别是一种基于柔性薄膜的mems执行器及其制作方法。
标签:
制作方法
执行器
柔性
薄膜
特别
2021-10-26
用于制造微机械构件的方法与流程
本发明涉及一种用于制造微机械构件的方法。
标签:
构件
微机
用于
方法
制造
2021-10-26
一种采用MEMS电容阵列的电压比较法放大电路及其制作方法与流程
本发明属于硅微机械加工技术,具体涉及一种采用mems电容阵列的电压比较法放大电路及其制作方法。
标签:
比较法
制作方法
阵列
微机
电容
2021-10-26
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