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一种残膜回收机防缠绕挑膜装置的制作
一种秧草收获机用电力驱动行走机构的
微观装置的制造及其处理技术
MEMS流量传感器的制作方法
本实用新型涉及半导体器件技术领域,特别涉及一种MEMS流量传感器。
标签:
特别
半导体器件
流量传感器
mems
2021-10-26
一种微流控芯片的封接装置与封接方法与流程
本发明涉及微流控芯片技术领域,具体涉及一种微流控芯片的封接装置与封接方法。
标签:
芯片
装置
方法
微流控
2021-10-26
在透明柔性衬底上制备纳米针尖阵列的方法与流程
本发明属于纳米材料制备领域,具体涉及在透明柔性衬底上制备纳米针尖阵列的方法。技术背景纳米技术的出现极大的促进了科技的进步,随着技术的不断进步,其加工精度已到达纳米尺度
标签:
2021-10-26
具有背面圆弧形棱边的MEMS芯片的制作方法
本实用新型属于MEMS芯片制造领域,具体是涉及一种具有背面圆弧形棱边的MEMS芯片。
标签:
芯片
背面
制造
圆弧形
mems
2021-10-26
一种微电极阵列芯片及其制作方法与流程
本发明涉及生物传感器制作领域,特别是涉及一种微电极阵列芯片及其制作方法。
标签:
电极
制作方法
阵列
传感器
芯片
2021-10-26
具有光学窗的微机械装置的制造方法和相应的微机械装置与流程
本发明涉及一种用于具有倾斜的光学窗的微机械装置的制造方法和一种相应的微机械装置。
标签:
微机
装置
倾斜
光学
用于
2021-10-26
新型的电极结构和多功能传感器阵列及使用他们的多功能传感装置的制作方法
本实用新型涉及一种新型的电极结构或电极结构阵列和基于该电极结构阵列的传感器阵列,以及包括它们的电子皮肤或可穿戴装置。
标签:
电极
阵列
结构
穿戴
传感器
2021-10-26
系统级封装器件的制造方法和系统级封装器件与流程
本申请是申请日为2012年6月29日、发明名称为“系统级封装器件的制造方法和系统级封装器件”的申请号为201280032667.9的专利申请的分案申请。本发明涉及微电子学领域,更具体地涉及制造系统级封装器件(system-in-package)的方法以及系统级封装器件,该系统级封装器件包括至少一个具有预定尺寸的第一类管芯(die)、至少一个具有预定尺寸的第二类管芯和系统级封装器件的至少一个其它部件。
标签:
封装
器件
系统
申请
至少
2021-10-26
一种微电极阵列的制备方法与流程
本发明涉及感光凝胶技术领域,特别涉及一种微电极阵列的制备方法。
标签:
凝胶
电极
阵列
感光
制备方法
2021-10-26
耦合纳米机械振子及其形成方法与流程
本发明涉及纳米制造领域,特别涉及一种耦合纳米机械振子及其形成方法。
标签:
纳米
耦合
特别
方法
制造
2021-10-26
MEMS封装的制作方法
背景技术:微机电(mem)系统给出了减小电子器件的大小的机会。构造比常规组件小很多倍的机械器件是可能的。一种特别有趣的类型的mems器件是能量收集器。此处,可移动组件将动能
标签:
2021-10-26
用于MEMS传感器器件的晶片级封装及对应制造工艺的制作方法
技术领域本发明涉及一种用于MEMS传感器器件的晶片级封装和对应制造工艺。
标签:
晶片
封装
传感器
制造工艺
器件
2021-10-26
器件的制作方法与流程
技术领域本发明涉及使用贯通布线的诸如电子器件和微电气机械系统(MEMS)器件的器件的制作方法。
标签:
器件
制作方法
电子器件
贯通
布线
2021-10-26
一种芯片的安装结构的制作方法
本实用新型涉及芯片的安装,更具体地,本实用新型涉及一种芯片的安装结构。
标签:
芯片
安装
结构
2021-10-26
一种氧化石墨烯薄膜多层微纳图形的制备装置及方法与流程
本发明属于光学和微纳图形制备领域,尤其涉及一种氧化石墨烯薄膜多层微纳图形的制备装置及方法。
标签:
制备
图形
石墨
薄膜
多层
2021-10-26
高密度微腔阵列以及使用了该高密度微腔阵列的测定方法与流程
本发明涉及高密度微腔阵列以及使用了该高密度微腔阵列的测定方法。
标签:
阵列
高密度
测定方法
使用了
2021-10-26
六自由度双指并联微/纳操作装置及其操作方法与流程
本发明涉及一种六自由度双指并联微/纳操作装置及其操作方法,具体地说是应用直线超声电机驱动两个并联操作指实现六自由度运动的操作装置,其可应用于生物细胞等微米级物体分离、夹取和翻转等操作,属于微/纳制造科学与技术领域、生物工程技术领域。
标签:
操作
并联
自由度
装置
翻转
2021-10-26
一种磁性各向异性可控的纳米颗粒自组装阵列的制备方法与流程
本发明属于纳米颗粒自组装领域,具体涉及一种均匀致密、大面积、磁性各向异性可控的三维磁性纳米颗粒自组装阵列的制备方法。
标签:
组装
磁性
纳米
颗粒
各向异性
2021-10-26
一种基于柔性可变形微透镜阵列的立体制造方法与流程
本发明属于光学与微纳制造技术领域,尤其涉及一种基于柔性可变形微透镜阵列的立体制造方法。
标签:
制造
透镜
柔性
阵列
光学
2021-10-26
一种芯片的封装结构的制作方法
本实用新型涉及芯片的封装,更具体地,本实用新型涉及一种芯片的封装结构;尤其是MEMS芯片的封装结构。
标签:
封装
芯片
结构
mems
2021-10-26
一种基于可重构柔性模具的曲面微米柱的制造方法与流程
本发明属于微纳制造技术领域,特别涉及一种基于可重构柔性模具的曲面微米柱的制造方法。
标签:
制造
曲面
柔性
重构
模具
2021-10-26
换能器模块和电子装置的制作方法
本实用新型涉及一种换能器模块和电子装置。具体地,换能器模块容纳有被设计成用于对待检测环境量执行差分测量和绝对测量的多个设备。
标签:
测量
模块
换能器
多个
容纳
2021-10-26
一种纳米氧化铁的制备方法与流程
本发明涉及纳米材料制备,具体涉及一种纳米氧化铁的制备方法。
标签:
氧化铁
制备
纳米
制备方法
纳米材料
2021-10-26
一种一维微纳米材料的自组装方法与流程
本发明属于材料技术领域,尤其涉及一种一维微纳米材料的自组装方法。
标签:
组装
纳米材料
材料
方法
一维微
2021-10-26
用于微机电系统静摩擦减少的硅烷改性流体的制作方法
优先权请求本申请案请求2015年7月2日提交且标题为“用于微机电系统静摩擦减少的硅烷改性流体(silanemodifiedfluidformemsstictionreduction)”的美国专利申请案第14/790,633号的优先权,所述申请案特此全部以引用的方式并出于所有目的并入。本发明涉及以流体填充的mems装置,且更具体来说涉及具有掺杂有表面能改性剂以减少流体填充过程期间的静摩擦效应的流体的mems装置。
标签:
流体
静摩擦
优先权
硅烷
填充
2021-10-26
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