用于icp源的冷却屏蔽体相关申请的交叉引用2.本技术要求于2020年12月30日提交的名称为“用于icp源的冷却法拉第屏蔽体(cooled faraday shield for icp source)”的美国临时申请序列号63/130,988的优先权,其全部内容通过引用并入本文。本技术要求于2021年6月2日提交的名称为“用于icp源的冷却屏蔽体(cooled shield for icp source)”的美国临时申请序列号63/195,923的优先权,其全部内容通过引用并入本文。技术领域3.本公开大体