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一种残膜回收机防缠绕挑膜装置的制作
一种秧草收获机用电力驱动行走机构的
mems
MEMS麦克风和电子设备的制作方法
mems麦克风和电子设备技术领域本实用新型涉及声电转换技术领域,更具体地,涉及一种mems麦克风,以及具有该mems麦克风的电子设备。
标签:
麦克风
电子设备
mems
2023-04-07
一种压电MEMS扬声器的制作方法
一种压电mems扬声器技术领域本技术涉及微机械技术领域,具体来说,涉及一种压电mems(micro-electro-mechanical system)扬声器。
标签:
扬声器
微机
mems
Micro
system
2023-04-01
一种压电MEMS扬声器的制作方法
一种压电mems扬声器技术领域本技术涉及微机械技术领域,具体来说,涉及一种压电mems(micro-electro-mechanical system)扬声器。
标签:
扬声器
微机
mems
Micro
system
2023-03-25
一种压电MEMS扬声器的制作方法
一种压电mems扬声器技术领域本技术涉及微机械技术领域,具体来说,涉及一种压电mems(micro-electro-mechanical system)扬声器。
标签:
扬声器
微机
mems
Micro
system
2023-03-16
一种压电MEMS扬声器的制作方法
一种压电mems扬声器技术领域本技术涉及微机械技术领域,具体来说,涉及一种压电mems(micro-electro-mechanical system)扬声器。
标签:
扬声器
微机
mems
Micro
system
2023-03-06
一种压电MEMS扬声器的制作方法
一种压电mems扬声器技术领域本技术涉及微机械技术领域,具体来说,涉及一种压电mems(micro-electro-mechanical system)扬声器。
标签:
扬声器
微机
mems
Micro
system
2023-03-01
一种压电MEMS扬声器的制作方法
一种压电mems扬声器技术领域本技术涉及微机械技术领域,具体来说,涉及一种压电mems(micro-electro-mechanical system)扬声器。
标签:
扬声器
微机
mems
Micro
system
2023-02-26
一种压电MEMS扬声器的制作方法
一种压电mems扬声器技术领域本技术涉及微机械技术领域,具体来说,涉及一种压电mems(micro-electro-mechanical system)扬声器。
标签:
扬声器
微机
mems
Micro
system
2023-02-20
一种压电MEMS扬声器的制作方法
一种压电mems扬声器技术领域本技术涉及微机械技术领域,具体来说,涉及一种压电mems(micro-electro-mechanical system)扬声器。
标签:
扬声器
微机
mems
Micro
system
2023-02-20
一种MEMS传感器阶梯深孔封装结构及方法与流程
一种mems传感器阶梯深孔封装结构及方法技术领域本发明涉及mems传感器封装技术领域,具体涉及一种mems传感器阶梯深孔封装结构及方法。
标签:
传感器
阶梯
结构
方法
mems
2023-02-19
一种压电MEMS扬声器的制作方法
一种压电mems扬声器技术领域本技术涉及微机械技术领域,具体来说,涉及一种压电mems(micro-electro-mechanical system)扬声器。
标签:
扬声器
微机
mems
Micro
system
2023-02-19
一种压电MEMS扬声器的制作方法
一种压电mems扬声器技术领域本技术涉及微机械技术领域,具体来说,涉及一种压电mems(micro-electro-mechanical system)扬声器。
标签:
扬声器
微机
mems
Micro
system
2023-02-19
一种MEMS谐振器的制作方法
一种mems谐振器技术领域本发明属于谐振器技术领域,涉及一种mems谐振器件。
标签:
谐振器
谐振
器件
mems
2023-02-19
差分MEMS芯片、麦克风及电子设备的制作方法
差分mems芯片、麦克风及电子设备技术领域本发明涉及mems麦克风技术领域,尤其涉及一种差分mems芯片、麦克风及电子设备。
标签:
麦克风
电子设备
芯片
差分
mems
2023-02-06
一种抗高过载MEMS惯性微模组及制备方法与流程
一种抗高过载mems惯性微模组及制备方法技术领域本发明涉及一种抗高过载mems惯性微模组及制备方法,属于惯性微系统技术领域。
标签:
惯性
模组
制备方法
系统
mems
2023-02-04
MEMS器件的形成方法及MEMS器件与流程
mems器件的形成方法及mems器件技术领域本发明涉及半导体技术领域,特别是涉及一种mems器件的形成方法及mems器件。
标签:
器件
方法
特别是
半导体
mems
2023-02-01
一种MEMS陀螺仪的全自动组装工装
一种mems陀螺仪的全自动组装工装技术领域本发明涉及陀螺仪组装技术领域,具体是涉及一种mems陀螺仪的全自动组装工装。
标签:
陀螺仪
工装
全自动
mems
2023-01-04
一种MEMS陀螺仪的全自动组装工装
一种mems陀螺仪的全自动组装工装技术领域本发明涉及陀螺仪组装技术领域,具体是涉及一种mems陀螺仪的全自动组装工装。
标签:
陀螺仪
工装
全自动
mems
2023-01-02
一种基于MEMS的双模态耳科检测仪的制作方法
一种基于mems的双模态耳科检测仪技术领域本发明涉及一种基于mems的双模态耳科检测仪,属于医学成像领域。
标签:
耳科
检测仪
双模
医学
mems
2022-12-20
一种MEMS加速度计抗冲击止挡结构的制作方法
一种mems加速度计抗冲击止挡结构技术领域本发明涉及mems加速度计领域,具体涉及一种mems加速度计抗冲击止挡结构。
标签:
加速度计
结构
抗冲击
mems
2022-12-20
一种静电梳驱动的MEMS微镜制备方法及MEMS微镜、光谱仪与流程
一种静电梳驱动的mems微镜制备方法及mems微镜、光谱仪技术领域本发明涉及mems微镜技术领域,具体为一种静电梳驱动的mems微镜制备方法及mems微镜、光谱仪。
标签:
光谱仪
静电
制备方法
mems
微镜
2022-12-19
一种用于体全息成像的MEMS微反射的处理装置
一种用于体全息成像的mems微反射的处理装置技术领域本发明涉及微反射处理设备领域,尤其涉及一种用于体全息成像的mems微反射的处理装置。
标签:
反射
全息
装置
设备
mems
2022-12-13
一种垂直大位移MEMS微镜
一种垂直大位移mems微镜技术领域本发明涉及mems微镜领域,尤其涉及一种垂直大位移mems微镜。
标签:
位移
mems
微镜
2022-12-13
多折扭转梁及包括该多折扭转梁的非线性减弱的MEMS扭转镜的制作方法
多折扭转梁及包括该多折扭转梁的非线性减弱的mems扭转镜技术领域本发明属于微光机电领域,具体涉及mems扭转镜,特别是一种多折扭转梁及包括该多折扭转梁的非线性减弱的mems扭转镜。
标签:
特别是
微光
机电
mems
2022-12-13
全差分加速度计的制作方法
本技术总体上涉及加速度计,并且具体地涉及微机电系统(mems)加速度计。
标签:
加速度计
微机
总体上
系统
mems
2022-12-10
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