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一种梳齿式微加速度计的加工方法
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【技术领域】
[0001]本发明属于微电子机械系统微加工技术领域,具体涉及一种梳齿式微加速度计的加工方法。
【
标签:
2021-10-26
一种微颗粒上制备测试电极的方法
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【技术领域】
[0001]本发明涉及新型材料与器件的加工制备领域,特别是涉及一种微颗粒上制备测试电极的方法。
标签:
2021-10-26
通过场发射自加热诱导纳米结构改善结晶性的方法和装置的制造方法
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【技术领域】
[0001]本发明涉及纳米结构晶体改善技术,特别是一种通过场发射
标签:
2021-10-26
一种半导体器件及其制造方法、电子装置的制造方法
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【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制造工艺,具体而言涉及一种半导体器件及其制造方法、
标签:
2021-10-26
Mems的晶片级封装的制作方法
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【技术领域】
[0001 ]本发明涉及微机电系统(MEMS)装置领域。更具体地,本发明涉及MEMS装置封装。
【背景技术】
[0
标签:
2021-10-26
气动微位移波纹管驱动器的制造方法
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【技术领域】
[0001]本发明属于精密机械技术领域,具体涉及一种气动微位移波纹管驱动器,用于进行纳米级位移
标签:
2021-10-26
一种质点振速测量敏感结构及制备方法与流程
本发明涉及一种质点振速测量敏感结构及制备方法。
标签:
质点
测量
制备方法
敏感
结构
2021-10-26
一种陶瓷基板结构及切割方法与流程
本发明涉及陶瓷基板的加工技术领域,尤其涉及一种陶瓷基板结构及切割方法。
标签:
基板
陶瓷
切割
结构
加工
2021-10-26
在基体的表面形成多种面形结构的方法与流程
本申请涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种在基体的表面形成多种面形结构的方法。
标签:
基体
半导体
表面
多种
结构
2021-10-26
一种磁控定向快速移动的微纳米机器人的制备方法与流程
本专利涉及纳米机器人制备领域,尤其涉及一种磁控定向快速移动的微纳米机器人。
标签:
纳米
机器人
制备
定向
专利
2021-10-26
一种基用于MEMS传感器的半导体封装器的制作方法
本实用新型是一种基用于MEMS传感器的半导体封装器,属于MEMS传感器的半导体封装器领域。
标签:
封装
半导体
传感器
用于
mems
2021-10-26
一种硅基三维异构集成的射频微系统及其制造方法与流程
本发明属于半导体技术领域,具体涉及一种硅基三维异构集成的射频微系统及其制造方法。
标签:
射频
半导体
集成
异构
方法
2021-10-26
具有低电阻布线的MEMS构件和用于制造这种MEMS构件的方法与流程
本发明涉及一种具有第一衬底和第二衬底的mems构件,该第一衬底具有在第一侧上的至少一个第一绝缘层和第一金属化部,该第二衬底具有在第二侧上的至少一个第二绝缘层和第二金属化部,其中,第二衬底具有微机械功能元件,该微机械功能元件与第二金属化部导电连接。
标签:
衬底
金属
微机
元件
至少
2021-10-26
一种MEMS器件及其制备方法、电子装置与流程
本发明涉及半导体领域,具体地,本发明涉及一种mems器件及其制备方法、电子装置。
标签:
半导体
器件
制备方法
装置
电子
2021-10-26
一种MEMS器件圆片级真空封装方法与流程
本发明涉及一种微电子机械系统(mems)器件的封装方法,特别是涉及一种mems器件的全硅化圆片级封装方法。
标签:
封装
器件
方法
微电子
机械
2021-10-26
将焊接附接的MEMS管芯自对准到安装表面的方法与流程
本发明总体上涉及一种微机电系统(mems)管芯。特别地,本发明涉及一种改进的方法,用于当将mems管芯附接到表面上时控制焊料流动和表面张力,使得在附接焊料熔融时,mems管芯将相对于表面自对准到所需位置。
标签:
焊料
表面张力
表面
熔融
所需
2021-10-26
一种电磁式振动能量收集器及其制备方法与流程
,本发明涉及一种收集环境中振动能量的能量收集器及其制备方法,特别地涉及一种基于电磁感应原理的谐振型振动能量收集器及其制备方法。
标签:
能量
振动
制备方法
收集器
谐振
2021-10-26
一种晶圆级键合方法与流程
本发明涉及半导体光电子技术领域,特别是涉及一种晶圆级键合方法。
标签:
光电子
半导体
晶圆
方法
级键合
2021-10-26
用于SIP三维集成的封装载体的制作方法
本实用新型涉及一种封装载体,特别是涉及一种芯片的封装载体。
标签:
封装
载体
芯片
2021-10-26
换能器模块、包括该模块的装置及制造该模块的方法与流程
本发明涉及一种换能器模块、一种包括该换能器模块的装置以及一种制造该换能器模块的方法。具体地,根据本公开的一个方面,该换能器模块具有多个换能器。根据本公开的另一方面,该换能器模块具有容纳这些换能器的多个腔室。
标签:
换能器
模块
多个
公开
容纳
2021-10-26
用机械突起来使膜偏转以实现致动和触觉反馈的制作方法
背景技术:本发明的方面涉及改进的微致动器。触觉反馈系统可在多种应用中使用,来向用户提供物理感觉和/或指示。触觉反馈装置的一个常见实例是针
标签:
2021-10-26
微机电设备的制作方法
本实用新型涉及一种具有可移动结构的微机电设备(具体地为微反射镜)。
标签:
微机
结构
反射镜
设备
2021-10-26
用于MEMS扫描镜的机电设计的制作方法
相关申请的交叉引用本申请要求2015年12月21日提交的题为“用于mems扫描镜的机电设计(electro-mechanicaldesignsformemsscanningmirrors)”的先前提交的美国专利申请s/n.14/977,457以及2015年10月12日提交的题为“用于mems扫描镜的机电设计(electro-mechanicaldesignformemsscanningmirror)”的美国临时申请s/n.62/240,490的权益及优先权,这两个申请通过引用整体结合于此。本文的实施例一般
标签:
扫描
申请
机电
提交
美国
2021-10-26
在基体的表面形成斜面的方法与流程
本申请涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种在基体的表面形成斜面结构的方。
标签:
基体
斜面
半导体
表面
结构
2021-10-26
用于诸如MEMS压力传感器之类的对机械和热机械应力敏感的半导体器件的封装的制作方法
本发明涉及用于诸如MEMS压力传感器之类的对机械和热机械应力敏感的半导体器件的封装。
标签:
机械
应力
封装
敏感
用于
2021-10-26
4450
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