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量子点封装体及其应用
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【技术领域】
[0001] 本发明设及一种量子点封装体及其制备方法。本发明还设及利用上述量子点封装 体制备的照明装置、
标签:
2021-10-26
压力传感器的制备方法
压力传感器的制备方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及半导体技术领域,特别是涉及一种压力传感器的制备方法。
【背景技术】
[0002] 微机电系
标签:
2021-10-26
红外光源及其制作方法
红外光源及其制作方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及一种红外光源,尤其涉及一种带温度反馈功能的MEMS红外光源及其制作方法。
【背景技术】
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2021-10-26
平面度自补偿的大面积微加工用多针尖阵列制备方法
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【专利摘要】一种平面度自补偿的大面积微加工用多针尖阵列制备方法,其作法是:在载玻片(4)上
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2021-10-26
利用垂直馈穿部进行的晶片级气密包装方法
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【技术领域】
[0001]本发明涉及微结构的晶片级包装领域,这种微结构需要被封装在气密空腔中,并且具有
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2021-10-26
Mems芯片的封装结构及封装方法
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【技术领域】
[0001 ] 本申请涉及元器件封装技术领域,尤其涉及一种MEMS(Micro-Electro-Mechanical System,微机
标签:
2021-10-26
一种基于超声驻波场制备硅微纳结构阵列的方法
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【技术领域】
[0001]本发明属于微纳加工技术领域,具体涉及一种基于超声驻波场制备硅微纳结构阵
标签:
2021-10-26
微机电装置的制造方法
微机电装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种微机电装置,特别是通过其中一质量块以及连接位于质量块中间的锚点的多维运动弹性结
标签:
2021-10-26
一种适应高过载环境的mems器件保护机构的制作方法
一种适应高过载环境的mems器件保护机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及MEMS器件的过载保护技术,具体是一种适应高过载环境的MEM
标签:
2021-10-26
Mems转移方法、制造方法、器件及设备的制造方法
Mems转移方法、制造方法、器件及设备的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及MEMS (微机电系统)技术领域,更具体地,涉及一种用于MEMS转移的
标签:
2021-10-26
基于efab工艺的光耦合式微机电密码锁及其制备方法
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【技术领域】
[0001]本发明涉及一种微机电技术领域的机械密码锁,具体地,涉及一种基于EFAB工
标签:
2021-10-26
一种刻蚀微米硅通孔的方法
一种刻蚀微米硅通孔的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及微纳制造领域,特别是涉及一种刻蚀微米硅通孔的方法。
【背景技术】
[0002]微米硅通
标签:
2021-10-26
定标黑体光源的制作方法
定标黑体光源的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及红外技术领域,尤其涉及一种集成黑体薄膜、加热源、温度传感器的定标黑体光源。
【
标签:
2021-10-26
微玻璃半球谐振陀螺及其圆片级制备方法
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【技术领域】
[0001]本发明涉及微电子机械系统(MEMS)领域的一种哥式振动陀螺制备技术,尤其涉及一种微
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2021-10-26
一种mems器件及其制备方法、电子装置的制造方法
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【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体领域,具体地,本发明涉及一种MEMS器件及其制备方法、电子
标签:
2021-10-26
无机微光学元件批量化制作方法
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【技术领域】
[0001]本发明涉及一种新型微纳加工方法,可无机微光学元件的高效率、低成本、批量化制作,从而为微
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2021-10-26
在mems器件中形成平面的牺牲材料的方法
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【专利说明】
[0001]发明背景
技术领域
[0002]本发明的实施例总体上涉及在MEMS器件的空腔中形成平面
标签:
2021-10-26
一种多电容梳齿式微加速度计的加工方法
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【技术领域】
[0001]本发明属于微电子机械系统微加工技术领域,具体涉及一种多电容梳齿式微加速度计的
标签:
2021-10-26
一种二硫化钴/碳纳米纤维复合材料及其制备方法
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【技术领域】
[0001]本发明属于过渡金属硫化物-碳材料技术领域,具体涉及一种二硫化钴/碳纳米纤
标签:
2021-10-26
基于水分子插层耦合调控的微纳米电子器件的制作方法
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【技术领域】
[0001]本实用新型公开了一种具有微纳米结构与基底耦合的微纳米电子器件,属
标签:
2021-10-26
Mems器件及其形成方法
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【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体领域,具体涉及一种MEMS器件及其形成方法。
【背景技术】
[0002]微机电系统(Micro-
标签:
2021-10-26
以环烯共聚物为衬底和上盖的微流芯片封装方法
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【技术领域】
[0001]本发明属于微流芯片封装领域,特别涉及一种以环烯共聚物为衬底和上盖材质的
标签:
2021-10-26
具有高深厚比褶皱振膜的硅麦克风和有该硅麦克风的封装的制作方法
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【技术领域】
[0001]本发明涉及麦克风技术领域,并且更具体地讲,涉及具有高深
标签:
2021-10-26
基于对称型双柔顺铰链的三自由度微定位平台的制作方法
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【技术领域】
[0001]本实用新型涉及制造技术领域,更具体地说,涉及一种基于对称型双柔顺
标签:
2021-10-26
硅纳米线阵列的制备方法
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【技术领域】
[0001 ]本发明涉及一种硅纳米线阵列的制备方法。
【背景技术】
[0002]纳米线(nanowire)是指作为各种半
标签:
2021-10-26
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