距离图像传感器以及距离图像拍摄装置的制作方法

技术特征：
1.一种距离图像传感器，其特征在于，具备：受光像素部，其包括光电转换元件和电荷蓄积部，所述光电转换元件接收从规定的光源相对于作为测量对象的空间的测量空间以规定的周期照射的相同脉冲宽度的光脉冲被所述测量空间内的被摄体反射而射出的反射光，并产生与接收到的所述反射光对应的电荷，所述电荷蓄积部对所述电荷进行蓄积，与所述光脉冲的照射同步地将所述电荷蓄积于所述电荷蓄积部的像素电路被配置为二维的格子状；以及像素驱动电路，其相对于所述像素电路的各自，供给用于从所述光电转换元件向所述电荷蓄积部蓄积所述电荷的蓄积驱动信号，所述像素驱动电路在所述像素电路间错开预设的调节时间的同时供给所述蓄积驱动信号，在所述像素电路的各自中进行从所述光电转换元件向所述电荷蓄积部蓄积所述电荷。2.根据权利要求1所述的距离图像传感器，其特征在于，所述调节时间被设定为，使所述测量空间内的所述被摄体的测量范围的下限值与偏移的对象的所述像素电路的个数对应。3.根据权利要求1或2所述的距离图像传感器，其特征在于，所述电荷蓄积部具有第一电荷蓄积部以及第二电荷蓄积部，所述像素驱动电路与所述光脉冲的照射同步地，在所述周期内依次输出相同脉冲宽度的第一蓄积驱动信号以及第二蓄积驱动信号的各自以作为所述蓄积驱动信号，为了求得所述距离图像传感器与所述被摄体的距离，将通过所述反射光的所述第一蓄积驱动信号的期间内的第一受光量而所述光电转换元件产生的电荷和通过所述反射光的所述第二蓄积驱动信号的期间内的第二受光量而所述光电转换元件产生的电荷，分别分配并蓄积于所述第一电荷蓄积部、所述第二电荷蓄积部。4.根据权利要求3所述的距离图像传感器，其特征在于，所述像素驱动电路具有：时机调节电路，其与所述受光像素部中的所述像素电路的每列对应地，对生成所述蓄积驱动信号的时钟信号进行错开所述调节时间的时机调节；以及驱动器电路，其输入从所述时机调节电路供给的所述时钟信号并供给所述蓄积驱动信号，所述时机调节电路各自串联，并向与任意的所述驱动器电路的输入端子对应的位置的所述时机调节电路供给生成所述蓄积驱动信号的所述时钟信号。5.根据权利要求4所述的距离图像传感器，其特征在于，所述时机调节电路以由所述驱动器电路的输入端子间的端子间布线部分的布线电容以及布线电阻、所述驱动器电路的输入电容产生的时间常数成为所述调节时间的方式形成有所述端子间布线部分。6.根据权利要求4或5所述的距离图像传感器，其特征在于，在串联的所述时机调节电路的配置中，向位于所述配置的中央的所述时机调节电路供给所述时钟信号。7.根据权利要求4或5所述的距离图像传感器，其特征在于，将所述受光像素部中的呈格子状配置的所述像素电路的列分割为预定数量的块，串联向与所述块内的所述像素电路对应的所述驱动器电路供给时钟信号的所述时机调节电路，向所述块内串联的所述时机调节电路的任意一者供给所述时钟信号。
8.根据权利要求4或5所述的距离图像传感器，其特征在于，将所述受光像素部中的呈格子状配置的所述像素电路的列分割为预定数量的块，通过块布线连接所述块内的所述驱动器电路的输入端子间，按照每个所述块布线设置所述时机调节电路，串联所述时机调节电路，向串联的所述时机调节电路的任意一者供给所述时钟信号。9.根据权利要求1至8中任一项所述的距离图像传感器，其特征在于，所述受光像素部形成于第一层，所述像素驱动电路形成于第二层，从所述像素驱动电路相对于所述受光像素部的所述像素电路经由层间布线供给所述蓄积驱动信号。10.根据权利要求9所述的距离图像传感器，其特征在于，与所述受光像素部中的所述像素电路的行配置的中央的配置平行地，在所述第二层形成有所述像素驱动电路，从所述像素驱动电路经由所述层间布线而向所述像素电路的各自供给所述蓄积驱动信号。11.根据权利要求3所述的距离图像传感器，其特征在于，所述受光像素部形成于第一层，所述像素驱动电路形成于第二层，所述受光像素部中的呈格子状配置的所述像素电路的所有输入端子通过共用的信号布线连接，向所述格子状的中央的位置的所述像素电路的位置的所述信号布线供给生成所述蓄积驱动信号的时钟信号，在所有相邻的所述像素电路间，以由布线电阻、布线电容、以及所述像素电路的输入端子的电容产生的时间常数成为所述调节时间的方式形成有所述像素电路间的布线。12.一种距离图像拍摄装置，其特征在于，具备：所述权利要求1至权利要求11的任意一项所述的距离图像传感器；光源部，其相对于作为测量对象的空间的测量空间以规定的周期照射相同脉冲宽度的光脉冲；以及距离图像处理部，其基于按照预设的固定的电荷分配次数分配且所述电荷蓄积部中的第一电荷蓄积部以及第二电荷蓄积部的各自所累计的所述电荷的量即电荷量，求得所述距离图像传感器与存在于所述测量空间的所述被摄体之间的距离，所述距离图像处理部通过所述像素电路的位置与所述调节时间，对根据所述第一电荷蓄积部以及所述第二电荷蓄积部的各自的所述电荷量求得的每个所述像素电路的计算距离分别进行补正，并作为所述距离进行输出。

技术总结
本发明提供一种距离图像传感器，具备：受光像素部，其包括光电转换元件和电荷蓄积部，光电转换元件接收从规定的光源相对于作为测量对象的空间的测量空间以规定的周期照射的相同脉冲宽度的光脉冲被测量空间内的被摄体反射而射出的反射光，并产生与接收到的该反射光对应的电荷，电荷蓄积部对电荷进行蓄积，与光脉冲的照射同步地将电荷蓄积于电荷蓄积部的像素电路被配置为二维的格子状；以及像素驱动电路，其相对于像素电路的各自，供给用于从光电转换元件向电荷蓄积部蓄积电荷的蓄积驱动信号，像素驱动电路在像素电路间错开预设的调节时间的同时供给蓄积驱动信号，在像素电路的各自中进行从光电转换元件向电荷蓄积部蓄积电荷。积电荷。积电荷。


技术研发人员：泽本岳秀
受保护的技术使用者：布鲁克曼科技株式会社
技术研发日：2019.03.08
技术公布日：2021/10/19