一种自走机器人的制作方法

1.本实用新型属于半导体制造领域，尤其是涉及一种自走机器人。


背景技术：

2.在半导体硅单晶制造领域中,使用避免人工接触产品的自走式机器人进行产品的搬运，上下料是一种高效安全的自动化搬运方式。该方式自诞生以来，被多家半导体厂家尝试使用，随着越来越多自走式机器人在半导体车间应用，传统的基于多控制器协同工作的自走式机器人的效率问题，稳定性问题，部署和修改问题都逐渐地暴露出来，且多控制器和控制系统也导致产品制造成本高，造成在行业内半导体搬运自行走机器人始终属于试用阶段，没有形成大批量商业化发展。传统上的，2
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3个互相通讯的控制器，逐一进行设置，逐一设置的过程需要注意各个控制器设置的顺序，彼此的关系，操作的过程容易出现错误，设置的结果可靠性和稳定性也存在问题，这对于高疲劳强度的半导体产业来说，是灾难性的。


技术实现要素：

3.本实用新型要解决的问题是提供一种自走机器人，有效的解决自走式机器人系统稳定性差，可靠性差，现场实施耗时费力且整体成本高，不能大规模生产的问题。
4.为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种自走机器人，包括控制系统和控制器，其特征在于：所述控制系统设置在所述自走机器人上，用于控制所述自走机器人搬运物料；所述控制器用于控制所述控制系统。
5.优选地，所述控制系统包括agv控制系统和机器人控制系统，所述agv控制系统设置在底盘上，用于控制所述自走机器人移动；所述机器人控制系统设置在所述自走机器人上，用于控制所述自走机器人搬运所述物料。
6.优选地，所述agv控制系统还包括agv电机控制系统和agv传感器，所述agv电机控制系统设置在所述底盘上，用于控制所述自走机器人是否移动；所述agv传感器设置在所述底盘上，用于控制所述自走机器人的移动方向。
7.优选地，所述控制系统还包括载台传感器和视觉传感器，所述载台传感器设置在载台上，用于检测所述载台上是否存在所述物料；所述视觉传感器设置在所述自走机器人上，用于检测所述物料的位置。
8.优选地，所述控制器包括按钮和信息发射系统，所述按钮设置在所述控制器上，用于控制所述信息发射系统；所述信息发射系统设置在所述控制器内部，用于发射信息控制所述控制系统。
9.由于单一控制器的设计，使得工作人员不用同时控制2
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3个控制器，解决机器不协调配合、不稳定、现场实施耗时费力的问题；由于自走机器人的设计，解决了系统稳定性差，可靠性差，现场实施耗时费力且整体成本高，不能大规模生产的问题。
附图说明
10.图1是本实用新型实施例一种自走机器人控制系统结构示意图
具体实施方式
11.下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步说明：
12.在本实用新型实施例的描述中，需要理解的是，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
13.本实用新型的一个实施例中，如图1一种自走机器人控制系统结构示意图所示：一种自走机器人，包括控制系统和控制器，其特征在于：所述控制系统设置在所述自走机器人上，用于控制所述自走机器人搬运硅片载具；所述控制器用于控制所述控制系统。
14.具体的，所述控制系统包括agv控制系统和机器人控制系统，所述agv控制系统设置在自走机器人的底盘上，控制所述自走机器人移动；agv控制系统还包括agv电机控制系统和agv传感器，所述agv电机控制系统用螺栓安装在自走机器人的底盘上，控制所述自走机器人底盘的前进或停止，所述底盘带动机器人移动；所述agv传感器用螺栓安装在自走机器人底盘上，用于控制所述自走机器人的移动方向；前方若有障碍物，agv传感器控制所述自走机器人底盘改变移动方向，绕开障碍物，躲避完成后，继续向目标方向前进。所述机器人控制系统设置在所述自走机器人上，控制所述自走机器人搬运硅片载具。
15.所述控制系统还包括载台传感器和视觉传感器，所述载台传感器设置在自走机器人的载台上，在自走机器人搬运完硅片载具至载台后，检测所述载台上是否存在硅片载具；所述视觉传感器设置在所述自走机器人偏上部，检测硅片载具的具体位置，然后将信息传入到agv电机控制系统，确定目标方向。
16.所述控制器包括按钮和信息发射系统，所述按钮设置在所述控制器上，用于控制所述信息发射系统，按钮个数不限，对应的功能位置也不限，包括启动按钮和结束按钮，控制器只有一个，解决机器不协调配合、不稳定、现场实施工作人员耗时费力的问题；所述信息发射系统设置在所述控制器内部，按钮按下后，发射信息控制相应的控制系统。
17.在使用时，工作人员控制控制器，按下开始按钮后，信息发射系统发射信息控制agv电机控制系统自走机器人开始移动，此时视觉传感器开始工作，确定硅片载具的位置，定制目标方向，将信息传输至agv电机控制系统。agv电机控制系统控制自走机器人底片开始向目标方向移动，移动过程中，agv传感器开始工作，判断自走机器人前方有无障碍物，若有障碍物，将信息传输至agv电机控制系统，控制自走机器人换一个方向，绕开障碍物后，转换方向，继续向目标方向移动。移动至目标位置后，机器人控制系统控制自走机器人将硅片载具搬起，放置在自走机器人的载台上，此时载台传感器检测硅片载具是否处于载台上，若在载台上，则继续移动至目标位置，若不在载台上，则机器人控制系统继续控制自走机器人重新搬运硅片载具至载台上。检测硅片载具在载台上后，视觉传感器寻找要搬运到的地方，确定下一移动目标方向，将信息传输至agv电机控制系统。agv电机控制系统控制自走机器人底片开始向目标方向移动，移动过程中，agv传感器开始工作，判断自走机器人前方有无障碍物，若有障碍物，将信息传输至agv电机控制系统，控制自走机器人换一个方向，绕开障
碍物后，转换方向，继续向目标方向移动。移动至目标位置后，机器人控制系统控制自走机器人卸下载台上的硅片载具，此时载台传感器检测硅片载具是否处于载台上，若在载台上，机器人控制系统再次控制自走机器人将硅片载具卸下，若不在载台上，则重复上述操作，继续搬运硅片载具，搬运结束后，工作人员按下结束按钮，控制agv电机控制系统停止运转，整个工作过程结束。
18.本实用新型的另一实施例中，所述控制系统包括agv控制系统和机器人控制系统，所述agv控制系统设置在自走机器人的底盘上，控制所述自走机器人移动；agv控制系统还包括agv电机控制系统，所述agv电机控制系统用螺栓安装在自走机器人的底盘上，控制所述自走机器人底盘的前进或停止，所述底盘带动机器人移动；所述机器人控制系统设置在所述自走机器人上，控制所述自走机器人搬运硅片载具。
19.所述控制系统还包括载台传感器和视觉传感器，所述载台传感器设置在自走机器人的载台上，在自走机器人搬运完硅片载具至载台后，检测所述载台上是否存在硅片载具；所述视觉传感器设置在所述自走机器人偏上部，检测硅片载具的具体位置，然后将信息传入到agv电机控制系统，确定目标方向。
20.所述控制器包括按钮和信息发射系统，所述按钮设置在所述控制器上，用于控制所述信息发射系统，按钮个数不限，对应的功能位置也不限，包括启动按钮、结束按钮和方向控制按钮，控制器只有一个，解决机器不协调配合、不稳定、现场实施工作人员耗时费力的问题；所述信息发射系统设置在所述控制器内部，按钮按下后，发射信息控制相应的控制系统。
21.在使用时，工作人员控制控制器，按下开始按钮后，信息发射系统发射信息控制agv电机控制系统自走机器人开始移动，此时视觉传感器开始工作，确定硅片载具的位置，定制目标方向，将信息传输至agv电机控制系统。agv电机控制系统控制自走机器人底片开始向目标方向移动，移动过程中，需要工作人员随时观察自走机器人的移动方向上是否有障碍物，若有，需要工作人员控制控制器上的方向控制按钮。移动至目标位置后，机器人控制系统控制自走机器人将硅片载具搬起，放置在自走机器人的载台上，此时载台传感器检测硅片载具是否处于载台上，若在载台上，则继续移动至目标位置，若不在载台上，则机器人控制系统继续控制自走机器人重新搬运硅片载具至载台上。检测硅片载具在载台上后，视觉传感器寻找要搬运到的地方，确定下一移动目标方向，将信息传输至agv电机控制系统。agv电机控制系统控制自走机器人底片开始向目标方向移动，移动过程中，需要工作人员随时观察自走机器人的移动方向上是否有障碍物，若有，需要工作人员控制控制器上的方向控制按钮。移动至目标位置后，机器人控制系统控制自走机器人卸下载台上的硅片载具，此时载台传感器检测硅片载具是否处于载台上，若在载台上，机器人控制系统再次控制自走机器人将硅片载具卸下，若不在载台上，则重复上述操作，继续搬运硅片载具，搬运结束后，工作人员按下结束按钮，控制agv电机控制系统停止运转，整个工作过程结束。
22.以上对本实用新型的多个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。