一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体的制作方法

1.本实用新型属于喷涂罐体技术领域，具体涉及一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体。


背景技术：

2.目前常见的喷涂罐体是采用中间夹套，并使用隋性气体为冷却保护气体对真空进行冷却。这种装备会存在喷涂的热量排放不充分，浪费过多的隋性气体，使生产成本增加的不足。


技术实现要素：

3.为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体，全封闭的水冷罐体即提升了冷却效果，又降低了运行与维护成本，同时又能保证罐体可靠的密封，由于能有效降低罐内温度，对提高罐内配件的寿命有着积极的意义，从而降低了机器的故障停机率；同时为提高了罐内的真空度，可有效降低靶材的含氧率，提升靶材品质。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体，包括真空法兰、外罐体、内罐体、进出水接头、抽真空法兰、水循环冷却装置和侧罐门；内罐体设置在外罐体内部，真空法兰通过焊接方式固定在内罐体和外罐体的两端；在外罐体的顶部安装设置有与内罐体相连接的抽真空法兰，在外罐体的顶部和底部设置有进出水接头，外罐体的前后侧安装设置有侧罐门，进出水接头的进水口和出水口分别通过管路与水循环冷却装置相连接。
5.作为优选，所述侧罐门上设置有密封圈。
6.作为优选，所述抽真空法兰设置有两个，抽真空法兰底端与内罐体焊接，抽真空法兰上端延伸至外罐体的上方。
7.作为优选，所述外罐体底部安装有支撑脚。
8.作为优选，所述侧罐门通过铰轴安装在外罐体上，侧罐门上设置有把手。
9.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
10.本实用新型全封闭的水冷罐体即提升了冷却效果，又降低了运行与维护成本，同时又能保证罐体可靠的密封。这样的装备由于能有效降低罐内温度，对提高罐内配件（如密封圈、油封、轴承等易损件）的寿命有着积极的意义，从而降低了机器的故障停机率；同时为提高了罐内的真空度，可有效降低靶材的含氧率，提升靶材品质。
附图说明
11.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提
下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
12.图1为本实用新型一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体的俯视结构示意图；
13.图2为本实用新型一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体的结构示意图；
14.图3为图1中a
‑
a面的结构示意图。
15.图中；
16.1、真空法兰；2、外罐体；3、内罐体；4、进出水接头；5、抽真空法兰；6、水循环冷却装置；7、侧罐门。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示（诸如上、下、左、右、前、后
……
），则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态（如附图所示）下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
19.另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
20.实施例1
21.请参阅图1
‑
3，本实用新型提供以下技术方案：一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体，包括真空法兰1、外罐体2、内罐体3、进出水接头4、抽真空法兰5、水循环冷却装置6和侧罐门7；内罐体3设置在外罐体2内部，真空法兰1通过焊接方式固定在内罐体3和外罐体2的两端；在外罐体2的顶部安装设置有与内罐体3相连接的抽真空法兰5，在外罐体2的顶部和底部设置有进出水接头4，外罐体2的前后侧安装设置有侧罐门7，进出水接头4的进水口和出水口分别通过管路与水循环冷却装置6相连接。
22.具体的，所述侧罐门7上设置有密封圈。
23.具体的，所述抽真空法兰5设置有两个，抽真空法兰5底端与内罐体3焊接，抽真空法兰5上端延伸至外罐体2的上方。
24.具体的，所述外罐体2底部安装有支撑脚。
25.具体的，所述侧罐门7通过铰轴安装在外罐体2上，侧罐门7上设置有把手。
26.本实用新型全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体是由真空法兰1、外罐体2、内罐体3经焊接加工经水压测试后形成一全封闭的冷却罐，在外罐体2的顶部安装设置有与内罐体3相连接的抽真空法兰5，对罐体内部抽真空操作，在外罐体2的顶部和底部设置有进出水接头4，进出水接头4的进水口和出水口分别通过管路与水循环冷却装置6相连接，由下方的进水口进水，待水充满后经上方的出水口出水，途经水循环冷却装置6，形成一个闭环的冷却
系统；外罐体2的前后侧安装设置有侧罐门7，这样便于罐体的维护与清理；侧罐门7上设有密封圈，又能保证罐体的密封效果。
27.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体，其特征在于：包括真空法兰（1）、外罐体（2）、内罐体（3）、进出水接头（4）、抽真空法兰（5）、水循环冷却装置（6）和侧罐门（7）；内罐体（3）设置在外罐体（2）内部，真空法兰（1）通过焊接方式固定在内罐体（3）和外罐体（2）的两端；在外罐体（2）的顶部安装设置有与内罐体（3）相连接的抽真空法兰（5），在外罐体（2）的顶部和底部设置有进出水接头（4），外罐体（2）的前后侧安装设置有侧罐门（7），进出水接头（4）的进水口和出水口分别通过管路与水循环冷却装置（6）相连接。2.根据权利要求1所述的一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体，其特征在于：所述侧罐门（7）上设置有密封圈。3.根据权利要求1所述的一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体，其特征在于：所述抽真空法兰（5）设置有两个，抽真空法兰（5）底端与内罐体（3）焊接，抽真空法兰（5）上端延伸至外罐体（2）的上方。4.根据权利要求1所述的一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体，其特征在于：所述外罐体（2）底部安装有支撑脚。5.根据权利要求1所述的一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体，其特征在于：所述侧罐门（7）通过铰轴安装在外罐体（2）上，侧罐门（7）上设置有把手。

技术总结
本实用新型属于喷涂罐体技术领域，尤其为一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体，包括真空法兰、外罐体、内罐体、进出水接头、抽真空法兰、水循环冷却装置和侧罐门；内罐体设置在外罐体内部，真空法兰通过焊接方式固定在内罐体和外罐体的两端；在外罐体的顶部安装设置有与内罐体相连接的抽真空法兰，在外罐体的顶部和底部设置有进出水接头，外罐体的前后侧安装设置有侧罐门。本实用新型全封闭的水冷罐体即提升了冷却效果，又降低了运行与维护成本，同时又能保证罐体可靠的密封，由于能有效降低罐内温度，对提高罐内配件的寿命有着积极的意义，从而降低了机器的故障停机率；同时为提高了罐内的真空度，可有效降低靶材的含氧率，提升靶材品质。材品质。材品质。


技术研发人员：吴智良
受保护的技术使用者：厦门盛骅自动化设备有限公司
技术研发日：2021.02.01
技术公布日：2021/10/29