安装组件、光学系统及检测设备的制作方法

1.本技术涉及检测技术领域，更具体而言，涉及一种安装组件、光学系统及检测设备。


背景技术：

2.光学系统是半导体检测和量测设备的核心，通常光学系统中会设置有调节机构，以使每个镜片的角度可调节。然而，在设备检测和量测过程中，被检测半导体的载台和光学系统会进行高速运动，光学系统中的调节机构将会承受较大的冲击和振动，如此会导致已经调节好的镜片产生偏转，从而影响设备检测和量测的准确性。


技术实现要素：

3.本技术实施方式提供一种安装组件、光学系统及检测设备。
4.本技术实施方式的安装组件包括主体结构、第一调节件及第一限位件。所述主体结构包括层叠且间隔的第一主体及第二主体，所述第一主体与所述第二主体通过第一挠性部连接。所述第一调节件穿设所述第一主体及所述第二主体，所述第一调节件用于限定所述第一主体及所述第二主体在第一方向上的第一最大间距。所述第一限位件穿设所述第一主体和所述第二主体中的至少一个，所述第一限位件用于限定所述第一主体与所述第二主体在所述第一方向上的第一最小间距。其中，调节所述第一调节件及所述第一限位件时，所述第一挠性部发生弹性形变或挠性形变，在所述第一最大间距与所述第一最小间距相等时，所述第一主体与所述第二主体在第一方向的相对位置固定。
5.在某些实施方式中，所述第一主体远离所述第二主体的一侧设有安装孔，所述安装孔用于安装光学元件。
6.在某些实施方式中，所述第一调节件与所述第一挠性部设置在所述主体结构相对的两端；和/或，所述第一限位件与所述第一挠性部设置在所述主体结构相对的两端。
7.在某些实施方式中，所述第一主体和所述第二主体中的任意一个开设有第一孔，另一个开设有第二孔，所述第一调节件穿过所述第一孔并能够锁紧在所述第二孔内，所述第一调节件与所述第一孔的内壁间隔。
8.在某些实施方式中，所述第一限位件包括第一限位螺钉。其中，所述第一限位螺钉穿设所述第一主体，并与所述第二主体靠近所述第一主体的一侧抵触。或，所述第一限位螺钉穿设所述第二主体，并与所述第一主体靠近所述第二主体的一侧抵触。
9.在某些实施方式中，所述主体结构还包括第三主体。所述第三主体层叠且间隔设在所述第二主体远离所述第一主体的一侧，所述第三主体与所述第二主体通过第二挠性部连接。所述安装组件还包括第二调节件及第二限位件。所述第二调节件穿设所述第二主体及所述第三主体，所述第二调节件用于限定所述第二主体及所述第三主体在第二方向上的第二最大间距，所述第一方向与所述第二方向不同。第二限位件，所述第二限位件穿设所述第二主体和所述第三主体中的至少一个，所述第二限位件用于限定所述第二主体与所述第
三主体在所述第二方向上的第二最小间距。其中，调节所述第二调节件及所述第二限位件时，所述第二挠性部发生弹性形变或挠性形变，在所述第二最大间距与所述第二最小间距相等时，所述第二主体与所述第三主体在第二方向的相对位置固定。
10.在某些实施方式中，所述第三主体开设有第一避让空间，所述第一避让空间用于避让所述第一调节件；和/或所述第三主体开设有第二避让空间，所述第二避让空间用于避让所述第一限位件。
11.在某些实施方式中，所述第一挠性部与所述第二挠性部设置在所述主体结构的相邻两端。
12.在某些实施方式中，述第二调节件与所述第二挠性部设置在所述主体结构相对的两端；和/或所述第二限位件与所述第二挠性部设置在所述主体结构相对的两端。
13.在某些实施方式中，所述第二主体和所述第三主体的任意一个开设有第三孔，另一个开设有第四孔，所述第二调节件穿过所述第三孔并能够锁紧在所述第四孔内，所述第二调节件与所述第三孔的内壁间隔。
14.在某些实施方式中，所述第二限位件包括第二限位螺钉。其中，所述第二限位螺钉穿设所述第二主体，并与所述第三主体靠近所述第二主体的一侧抵触；或所述第二限位螺钉穿设所述第三主体，并与所述第二主体靠近所述第三主体的一侧抵触。
15.本技术实施方式的光学系统包括光学元件及上述任意一项实施例所述的安装组件。所述光学元件设于所述安装组件的所述第一主体。
16.在某些实施方式中，所述光学元件包括反射镜、透镜、凹透镜、棱镜中的至少一种。
17.本技术实施方式的检测设备包括基座及上述任意一项实施例所述的光学系统。所述光学系统的安装组件安装在所述基座上。
18.本技术实施方式的安装组件、光学系统及检测设备，通过在调节第一调节件及第一限位件时，第一挠性部发生形变，以改变第一主体及第二主体在第一方向上的相对位置，并且通过第一调节件及第一限位件共同限定第一主体及第二主体在第一方向上的相对位置。如此安装组件在能够调节第一主体及第二主体在第一方向上相对位置的同时，还能保持第一主体及第二主体在第一方向的相对位置固定，相较于仅采用弹簧弹性形变的安装组件，具有更好的稳定性，从而在安装组件受到振动和冲击时，能够避免第一主体与第二主体在第一方向上产生相对位移。
19.本技术的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实施方式的实践了解到。
附图说明
20.本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：
21.图1是本技术某些实施方式的安装组件的一个视角的立体结构的示意图；
22.图2是本技术某些实施方式的安装组件的另一个视角的立体结构示意图；
23.图3是图2中安装组件沿iii
‑
iii线的截面示意图；
24.图4是图2中安装组件沿iv
‑
iv线的截面示意图；
25.图5是本技术某些实施方式的光学系统的立体结构示意图；
26.图6是本技术某些实施方式的检测设备的结构示意图。
具体实施方式
27.以下结合附图对本技术的实施方式作进一步说明。附图中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。
28.另外，下面结合附图描述的本技术的实施方式是示例性的，仅用于解释本技术的实施方式，而不能理解为对本技术的限制。
29.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
30.请参阅图1及图2，本技术实施例提供一种安装组件100。安装组件100包括主体结构10、第一调节件30及第一限位件40。主体结构10包括层叠且间隔的第一主体11及第二主体12，第一主体11与第二主体12通过第一挠性部20连接。第一调节件30穿设第一主体11及第二主体12，第一调节件30用于限定第一主体11及第二主体12在第一方向d1上的第一最大间距。第一限位件40穿设第一主体11和第二主体12中的至少一个，第一限位件40用于限定第一主体11与第二主体12在第一方向d1上的第一最小间距。其中，调节第一调节件30及第一限位件40时，第一挠性部20发生弹性形变或挠性形变，在第一最大间距与第一最小间距相等时，第一主体11与第二主体12在第一方向d1的相对位置固定。
31.本技术实施例中的安装组件100通过调节第一调节件30及第一限位件40时，第一挠性部20发生形变，以改变第一主体11及第二主体12在第一方向d1上的相对位置，并且通过第一调节件30及第一限位件40共同限定第一主体11及第二主体12在第一方向d1上的相对位置。如此安装组件100在能够调节第一主体11及第二主体12在第一方向d1上相对位置的同时，还能保持第一主体11及第二主体12在第一方向d1的相对位置固定，相较于仅采用弹簧弹性形变的安装组件100，具有更好的稳定性，从而在安装组件100受到振动和冲击时，能够避免第一主体11与第二主体12在第一方向d1上产生相对位移。
32.下面结合附图作进一步说明。
33.请参阅图1及图2，安装组件100包括主体结构10、第一挠性部20、第一调节件30及第一限位件40。主体结构10包括层叠且间隔的第一主体11和第二主体12。请参阅图1，第一主体11远离第二主体12的一侧设有安装孔111，安装孔111用于安装外部组件。例如，外部组件为光学元件200(如图5所示)，即安装孔111用于安装光学元件200。需要说明的是，光学元件200包括但不限于反射镜、透镜、凹透镜、棱镜中的至少一种。
34.第一主体11与第二主体12之间挠性连接，具体地，第一主体11与第二主体12通过第一挠性部20连接。第一挠性部20是由具有挠性的材料制成，第一挠性部20在外力的作用下能够发生形变(弹性形变或挠性形变)，当外力消失之后第一挠性部20能够保持当前状态不能够恢复原形，即第一挠性部20在受力时能够发生形变(弹性形变或挠性形变)，且作用力消失后不能恢复原状。如此用户能够改变第一主体11与第二主体12之间的相对位置，并且第一主体11及第二主体12能够保持在用户调节后的相对位置。需要说明的是，在一些实
施例中，第一主体11、第二主体12及第一挠性部20为一体结构。
35.请参阅图2及图3，第一调节件30穿设第一主体11及第二主体12，第一调节件30用于限定第一主体11与第二主体12在第一方向d1上的第一最大间距。需要说明的是，第一最大间距是指安装组件100受到振动或冲击时，若第一主体11及第二主体12在第一方向d1上产生相对位移，第一主体11与第二主体12之间能够达到的最大间距。
36.具体地，第一主体11和第二主体12中的任意一个开设有第一孔14，另一个开设有第二孔15，第一调节件30穿过第一孔14并能够锁紧在第二孔15内，第一调节件30与第一孔14的内壁间隔。第二主体12开设有第一孔14，第一孔14对应位置开设有第二孔15，第一调节件30穿过第二主体12的第一孔14并能够锁紧在第一主体11的第二孔15内，第一调节件30与第二主体12的第一孔14的内壁间隔。一方面，由于第一调节件30锁紧在第一主体11的第二孔15内，能够避免在安装组件100受到冲击和振动时，第一主体11与第一调节件30产生相对位移；另一方面，由于第一调节件30与第一孔14的内壁间隔，即第一调节件30能够在第一孔14内偏转，如此即便第一主体11与第二主体12在第一方向d1产生相对位移时，第一调节件30仍能够穿过第一孔14并锁紧在第二孔15内。其中，第一调节件30可以包括调节螺钉。当然，在一些实施例中，第一主体11开设有第一孔14，第二主体12开设有第二孔15，第一调节件30穿过第一主体11的第一孔14并能够锁紧在第二主体12的第二孔15内，第一调节件30与第一主体11的第一孔14的内壁间隔，在此不做限制。
37.请参阅图3，在一些实施例中，第一调节件30包括第一穿设部31及第一抵触部32，第一穿设部31远离第一抵触部32的一端穿过第一孔14并能够锁紧在第二孔15内，第一穿设部31的另一端从第一孔14远离第二孔15的一侧露出并与第一抵触部32连接，第一抵触部32与第一孔14远离第二孔15一侧的表面抵触，并且第一抵触部32的横截面积大于第一孔14的孔径。由于第一抵触部32的横截面积大于第一孔14的孔径，并且第一抵触部32抵触在第一孔14远离第二孔15的一侧，在安装组件100受到振动或冲击时，即便第一主体11及第二主体12在第一方向d1上产生相对位移，第一调节件30也不会从第一孔14中脱落，如此第一调节件30能够限定第一主体11与第二主体12在第一方向d1上的第一最大间距。需要说明的是，在一些实施例中，第一穿设部31可以是螺钉，第一抵触部32可以是螺母。
38.在一些实施例中，第一调节件30与第一挠性部20设置在主体结构10相对的两端。具体地，如图2所示，主体结构10包括相背的第一端101及第二端102，第一挠性部20设置在主体结构10的第一端101的端面，第一调节件30设置在主体结构10的第二端102。由于第一调节件30与第一挠性部20设置在主体结构10相对的两端，能够增加第一主体11及第二主体12的稳定性，从而在安装组件100受到冲击和振动时，避免第一主体11与第二主体12产生相对位移。
39.请参阅图2及图3，第一限位件40穿设第一主体11和第二主体12中的至少一个。例如，第一限位件40穿设第一主体11；或者，第一限位件40穿设第二主体12；或者，第一限位件40穿设第一主体11及第二主体12，在此不做限制。需要说明的是，当第一限位件40穿设第一主体11及第二主体12时，第一主体11及第二主体12中至少一个开设有收容第一限位件40的凹槽(图未示)，第一限位件40至少一个端面与凹槽内壁抵触，即第一限位件40不会同时从第一主体11远离第二主体12的一侧，及第二主体12远离第一主体11的一侧露出。需要说明的是，第一最小间距是指安装组件100受到振动或冲击时，若第一主体11及第二主体12在第
一方向d1上产生相对位移，第一主体11与第二主体12之间能够达到的最小间距。
40.具体地，如图3所示，第一限位件40包括第一限位螺钉41，第一限位螺钉41穿设第二主体12，并与第一主体11靠近第二主体12的一侧抵触。如此不能够再缩短第一主体11及第二主体12之间的间距，即第一限位件40能够限定第一主体11与第二主体12之间的第一最小间距，即在安装组件100受到冲击和振动时，避免第一主体11与第二主体12之间的间距小于第一最小间距。当然，在一些实施例中，第一限位螺钉41还可以穿设第一主体11，并与第二主体12靠近第一主体11的一侧抵触，在此不做限制。
41.在一些实施例中，第一限位件40与第一挠性部20设置在主体结构10相对的两端。具体地，如图3所示，主体结构10包括相背的第一端101及第二端102，第一挠性部20设置在主体结构10的第一端101的端面，第一限位件40设置在主体结构10的第二端102。由于第一限位件40与第一挠性部20设置在主体结构10相对的两端，能够增加第一主体11及第二主体12的稳定性，从而在安装组件100受到冲击和振动时，避免第一主体11与第二主体12产生相对位移。在某些实施方式中，第一调节件30与第一限位件40相互间隔，而且二者之间的距离在预设范围内，以使得第一限位件40能够很好地与第一调节件30配合，并提升限位的稳定性。
42.请参阅图2，调节第一调节件30及第一限位件40时，第一挠性部20发生弹性形变或挠性形变，在第一最大间距与第一最小间距相等时，第一主体11与第二主体12在第一方向d1的相对位置固定。具体地，当第一预设位置在第一主体11与第二主体12当前相对位置的第一方向d1的正方向时，即需要将第一主体11相对于第二主体12沿第一方向d1的正方向移动时，松开第一限位件40以便于朝第一主体11内旋入第一调节件30以减小第一主体11与第二主体12之间的距离，即减小第一主体11及第二主体12之间的第一最大间距，在整个旋入的过程中，位于第一端101的第一挠性部20在外力作用下发生挠性形变(或弹性形变)，当第一调节件30旋入第一主体11时的力量使得第一主体11与第二主体12在第一方向d1的相对位置到达第一预设位置后，停止朝第一主体11内旋入第一调节件30，第一挠性部20停止形变并重新锁紧第一限位件40，即减小第一主体11及第二主体12之间的第一最小间距，以使第一最小间距等于第一最大间距。当第一预设位置在第一主体11与第二主体12当前相对位置的第一方向d1的负方向时，即需要将第一主体11相对于第二主体12沿第一方向d1的负方向移动时，朝旋出第一主体11的方向旋转第一调节件30(第一调节件30并不会完全从第一主体11旋出)以增大第一主体11与第二主体12之间的距离，即增大第一主体11及第二主体12之间的第一最大间距，在整个旋出的过程中，位于第一端101的第一挠性部20在外力作用下发生挠性形变，当第一主体11与第二主体12在第一方向d1的相对位置到达第一预设位置后锁紧第一限位件40，即增大第一主体11及第二主体12之间的第一最小间距，以使第一最小间距等于第一最大间距。其中，第一预设位置为用户需要第一主体11与第二主体12在第一方向d1的相对位置，可以由用户自行设定。如此，一方面，第一挠性部20、第一调节件30和第一限位件40的设置能够调节第一主体11与第二主体12在第一方向d1的相对位置，另一方面，由于第一主体11与第二主体12之间能够达到的最大间距，与第一主体11与第二主体12之间能够达到的最小间距相等，第一主体11和第二主体12能够在第一方向d1保持相对位置固定，即第一主体11与第二主体12在第一方向d1的相对位置保持在第一预设位置，从而在安装组件100受到冲击和振动时，第一挠性部20、第一调节件30和第一限位件40的设置还能
避免第一主体11与第二主体12在第一方向d1上产生相对位移，从而避免安装在安装组件100上的光学元件200(图5所示)跟随振动而偏转至一些非检测角度，从而影响检测设备1000的检测精度。
43.需要说明的是，第一方向d1可以为第一挠性部20发生挠性形变的支点所在轴线的俯仰方向，如图2所示，若第一挠性部20以与第一主体11连接的第一根部为支点发生挠性形变，则该轴线为p1，此时第一方向d1为绕轴线p1的俯仰方向。若第一挠性部20以与第二主体12连接的第二根部为支点发生挠性形变，则该轴线为p2，此时第一方向d1为绕轴线p2的俯仰方向。当然，第一挠性部20发生挠性形变的支点可以是第一根部与第二根部之间的任意位置。
44.请参阅图2，主体结构10还包括第三主体13，第三主体13层叠且间隔设在第二主体13远离第一主体11的一侧，即第一主体11、第二主体12及第三主体13依次层叠设置。请参阅图3，在一些实施例中，第三主体13开设有第一避让空间131，第一避让空间131用于避让第一调节件30，如此能够使第一调节件30从第三主体13远离第二主体12的一侧露出，有利于用户调节第一调节件30(朝第一主体11内旋入或从第一主体11内旋出)。在一些实施例中，第三主体13还开设有第二避让空间132，第二避让空间132用于避让第一限位件40，如此能够使第一限位件40从第三主体13远离第二主体12的一侧露出，有利于用户松开和/或锁紧第一限位件40。需要说明的是，第一避让空间131与第二避让空间132可以为同一避让空间，此时，第一避让空间131与第二避让空间132连通为一体；第一避让空间131与第二避让空间132也可以为不同的避让空间，此时，第一避让空间131与第二避让空间132间隔而不连通，在此不作限制。
45.请参阅图2，第三主体13与第二主体12通过第二挠性部50连接。第二挠性部50也是由具有挠性的材料制成，当第二挠性部50在外力的作用下能够发生形变(弹性形变或挠性形变)，当外力消失之后第二挠性部50能够保持当前状态不能够恢复原形，即第二挠性部50在受力能够发生形变(弹性形变或挠性形变)，且作用力消失后不能恢复原状。如此用户能够改变第二主体12与第三主体13之间的相对位置，并第二主体12及第三主体13能够保持在用户调节后的相对位置。需要说明的是，在一些实施例中，第一主体11、第二主体12、第三主体13、第一挠性部20及第二挠性部50为一体结构。
46.请参阅图2，在一些实施例中，第一挠性部20与第二挠性部50设置在主体结构10的相邻两端。具体地，主体结构10还包括与相背的第一端101及第二端102均连接的第三端103，第一挠性部20位于第一端101，第二挠性部50位于第三端103。
47.安装组件100还包括第二调节件60，第二调节件60穿设第二主体12及第三主体13，第二调节件60用于限定第二主体12与第三主体13在第二方向d2上的第二最大间距。需要说明的是，第二最大间距是指安装组件100受到振动或冲击时，若第二主体12及第三主体13在第二方向d2上产生相对位移，第二主体12与第三主体13之间能够达到的最大间距。需要说明的是，调节第二主体12与第三主体13的相对位置时，第二主体12能够同时带动第一主体11一起移动，并且第一方向d1与第二方向d2不同，如此用户可以调节第一主体11与第三主体13在第一方向d1的相对位置，及在第二方向d2的相对位置，即第一主体11有多个方向的自由度可调节。
48.需要说明的是，第二方向d2可以为第二挠性部50发生挠性形变的支点所在轴线的
俯仰方向，如图2所示，若第二挠性部50以与第二主体12连接的第三根部为支点发生挠性形变，则该轴线为p3，此时第二方向d2为绕轴线p3的俯仰方向。若第二挠性部50以与第三主体13连接的第四根部为支点发生挠性形变，则该轴线为p4，此时第二方向d2为绕轴线p4的俯仰方向。当然，第二挠性部50发生挠性形变的支点可以是第三根部与第四根部之间的任意位置。
49.具体地，请参阅图2及图4，第二主体12和第三主体13中的任意一个开设有第三孔16，另一个开设有第四孔17，第二调节件60穿过第三孔16并能够锁紧在第四孔17内，第二调节件60与第三孔16的内壁间隔。如图4所示，第三主体13开设有第三孔16，第二主体12对应位置开设有第四孔17，第二调节件60穿过第三主体13的第三孔16并能够锁紧在第二主体12的第四孔17内，第二调节件60与第三主体13的第三孔16的内壁间隔。一方面，由于第二调节件60锁紧在第二主体12的第四孔17内，能够避免在安装组件100受到冲击和振动时，第二主体12与第二调节件60产生相对位移；另一方面，由于第二调节件60与第三孔16的内壁间隔，即第二调节件60能够在第三孔16内偏转，如此即便第二主体12与第三主体13在第二方向d2产生相对位移时，第二调节件60仍能够穿过第三孔16并锁紧在第四孔17内。其中，第二调节件60可以包括调节螺钉。当然，在一些实施例中，第二主体12开设有第三孔16，第三主体13开设有第四孔17，第二调节件60穿过第二主体12的第三孔16并能够锁紧在第三主体13的第四孔17内，第二调节件60与第二主体12的第三孔16的内壁间隔，在此不做限制。
50.请参阅图4，在一些实施例中，第二调节件60包括第二穿设部61及第二抵触部62，第二穿设部61远离第二抵触部62的一端穿过第三孔16并能够锁紧在第四孔17内，第二穿设部61的另一端从第三孔16远离第四孔17的一侧露出并与第二抵触部62连接，第二抵触部62于第三孔16远离第四孔17一侧的表面抵触，并且第二抵触部62的横截面积大于第三孔16的孔径。由于第二抵触部62的横截面积大于第三孔16的孔径，并且第二抵触部62抵触在第三孔16远离第四孔17的一侧，在安装组件100受到振动或冲击时，即便第二主体12及第三主体13在第二方向d2上产生相对位移，第二调节件60也不会从第三孔16中脱落，如此第二调节件60能够限定第二主体12与第三主体13在第二方向d2上的第二最大间距。需要说明的是，在一些实施例中，第二穿设部61可以是螺钉，第二抵触部62可以是螺母。
51.在一些实施例中，第二调节件60与第二挠性部50设置在主体结构10相对的两端。具体地，如图2所示，主体结构10包括相背的第三端103及第四端104，第二挠性部50设置在主体结构10的第三端103的端面，第二调节件60设置在主体结构10的第二四端104。由于第二调节件60与第二挠性部50设置在主体结构10相对的两端，能够增加第二主体12及第三主体13的稳定性，从而在安装组件100受到冲击和振动时，避免第二主体12与第三主体13产生相对位移。
52.请参阅图2及图4，第二限位件70穿设第二主体12和第三主体13中的至少一个。例如，第二限位件70穿设第二主体12；或者，第二限位件70穿设第三主体13；或者，第二限位件70穿设第二主体12及第三主体13，在此不做限制。需要说明的是，当第二限位件70穿设第二主体12及第三主体13时，第二主体12及第三主体13中至少一个开设有收容第二限位件70的凹槽(图未示)，第二限位件70至少一个端面与凹槽内壁抵触，即第一限位件40不会同时从第二主体12远离第三主体13的一侧，及第三主体13远离第二主体12的一侧露出。需要说明的是，第二最小间距是指安装组件100受到振动或冲击时，若第二主体12及第三主体13在第
二方向d2上产生相对位移，第二主体12与第三主体13之间能够达到的最小间距。
53.具体地，如图4，第二限位件70包括第二限位螺钉71，第二限位螺钉71穿设第三主体13，并与第二主体12靠近第三主体13的一侧抵触。如此不能够再缩短第二主体12及第三主体13之间的间距，即第二限位件70能够限定第二主体12与第三主体13之间的第二最小间距，从而在安装组件100受到冲击和振动时，避免第二主体12与第三主体13在第二方向d2之间的间距小于第二最小间距。当然，在一些实施例中，第二限位螺钉71还可以穿设第二主体12，并与第三主体13靠近第二主体12的一侧抵触，在此不做限制。
54.在一些实施例中，第二限位件70与第二挠性部50设置在主体结构10相对的两端。具体地，如图2所示，主体结构10包括相背的第三端103及第四端104，第二挠性部50设置在主体结构10的第三端103的端面，第二限位件70设置在主体结构10的第四端104。由于第二限位件70与第二挠性部50设置在主体结构10相对的两端，能够增加第二主体12及第三主体13的稳定性，从而在安装组件100受到冲击和振动时，避免第二主体12与第三主体13产生相对位移。在某些实施方式中，第二调节件60与第二限位件70相互间隔，而且二者之间的距离在预设范围内，以使得第二限位件70能够很好地与第二调节件60配合，并提升限位的稳定性。
55.请参阅图2，调节第二调节件60及第二限位件70时，第二挠性部50发生弹性形变或挠性形变，在第二最大间距与第二最小间距相等时，第二主体12与第三主体13在第二方向d2的相对位置固定。具体地，当第二预设位置在第二主体12与第三主体13当前相对位置的第二方向d2的正方向时，即需要将第二主体12相对于第三主体13沿第二方向d2的正方向移动时，松开第二限位件70以便于朝第二主体12内旋入第二调节件60以减小第二主体12与第三主体13之间的距离，即减小第二主体12及第三主体13之间的第二最大间距，在整个旋入的过程中，位于第三端103的第二挠性部50在外力作用下发生挠性形变，当第二调节件60旋入第二主体12时的力量使得第二主体12与第三主体13在第二方向d2的相对位置到达第二预设位置后，停止朝第二主体12内旋入第二调节件60，第二挠性部50停止挠性形变并重新锁紧第二限位件70，即减小第二主体12及第三主体13之间的第二最小间距，以使第二最小间距等于第二最大间距。当第二预设位置在第二主体12与第三主体13当前相对位置的第二方向d2的负方向时，即需要将第二主体12相对于第三主体13沿第二方向d2的负方向移动时，朝旋出第二主体12的方向旋转第二调节件60(第二调节件60并不会完全从第二主体12旋出)以增大第二主体12与第三主体13之间的距离，即增大第二主体12及第三主体13之间的第二最大间距，在整个旋出的过程中，位于第三端103的第二挠性部50在外力作用下发生挠性形变，当第二主体12与第三主体13在第二方向d2的相对位置到达第二预设位置后锁紧第二限位件70，即增大第二主体12及第三主体13之间的第二最小间距，以使第二最小间距等于第二最大间距。其中，第二预设位置为用户需要第二主体12与第三主体13在第二方向d2的相对位置，可以由用户自行设定。如此，一方面，第二挠性部50、第二调节件60和第二限位件70的设置能够调节第二主体12与第三主体13在第二方向d2的相对位置，另一方面，由于第二主体12与第三主体13之间能够达到的最大间距，与第二主体12与第三主体13之间能够达到的最小间距相等，第二主体12与第三主体13能够在第二方向d2保持相对位置固定，即第二主体12与第三主体13在第二方向d2的相对位置保持在第二预设位置，从而在安装组件100受到冲击和振动时，第二挠性部50、第二调节件60和第二限位件70的设置还能避免第
二主体12与第三主体13在第二方向d2上产生相对位移，从而避免安装在安装组件100上的光学元件200(图5所示)跟随振动而偏转至一些非检测角度，从而影响检测设备1000的检测精度。
56.请参阅图5，本技术实施例还提供一种光学系统300，光学系统300包括光学元件200及上述任意一个实施例中所述的安装组件100。具体地，光学元件200设于安装组件100的第一主体11的安装孔111。需要说明的是，光学元件200包括但不限于反射镜、透镜、凹透镜、棱镜中的至少一种。
57.本技术实施方式光学系统300中，用于安装光学元件200的安装组件100通过调节第一调节件30及第一限位件40时，第一挠性部20发生形变，以改变第一主体11及第二主体12在第一方向d1上的相对位置，并且通过第一调节件30及第一限位件40共同限定第一主体11及第二主体12在第一方向d1上的相对位置。如此安装组件100在能够调节第一主体11及第二主体12在第一方向d1上相对位置的同时，还能保持第一主体11及第二主体12在第一方向d1的相对位置固定，相较于仅采用弹簧弹性形变的安装组件100，具有更好的稳定性，从而在安装组件100受到振动和冲击时，能够避免第一主体11与第二主体12在第一方向d1上产生相对位移，影响安装在安装组件100其上的光学元件200的光路。
58.请参阅图6，本技术实施例还提供一种检测设备1000，检测设备1000包括基座400及上述任意一个实施例中所述的光学系统300。具体地，光学系统300的安装组件100远离光学元件200的一侧安装在基座400上。
59.本技术实施方式的检测设备100中，用于安装光学元件200的安装组件100通过调节第一调节件30及第一限位件40时，第一挠性部20发生形变，以改变第一主体11及第二主体12在第一方向d1上的相对位置，并且通过第一调节件30及第一限位件40共同限定第一主体11及第二主体12在第一方向d1上的相对位置。如此安装组件100在能够调节第一主体11及第二主体12在第一方向d1上相对位置的同时，还能保持第一主体11及第二主体12在第一方向d1的相对位置固定，相较于仅采用弹簧弹性形变的安装组件100，具有更好的稳定性，从而在安装组件100受到振动和冲击时，能够避免第一主体11与第二主体12在第一方向d1上产生相对位移，从而避免安装在安装组件100上的光学元件200(图5所示)跟随振动而偏转至一些非检测角度，从而影响检测设备1000的检测精度。
60.在本说明书的描述中，参考术语“某些实施方式”、“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。
61.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个所述特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个，除非另有明确具体的限定。
62.尽管上面已经示出和描述了本技术的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本技术的限制，本领域的普通技术人员在本技术的范围内可以对上述
实施例进行变化、修改、替换和变型，本技术的范围由权利要求及其等同物限定。