一种固态太赫兹单片二次谐波混频器电路的制作方法

技术特征：
1.一种固态太赫兹单片二次谐波混频器电路，其特征在于，所述混频器电路包括射频输入波导、本振输入波导和单片电路基板；单片电路基板上集成射频输入波导耦合探针、肖特基势垒二极管、本振低通滤波器、本振耦合探针和中频低通滤波器；所述射频耦合探针、肖特基势垒二极管、本振低通滤波器、本振耦合探针和中频低通滤波器依次通过金属带状线连接；所述单片电路基板通过梁氏引线方式与射频输入波导和本振输入波导的腔体固定；所述单片电路基板的射频输入端设置射频接地，射频接地通过射频接地探针与射频端腔体连接；所述单片电路基板的中频信号输出端设置中频连接sma探针，中频连接sma探针与sma连接。2.根据权利要求1所述的固态太赫兹单片二次谐波混频器电路，其特征在于，所述射频输入波导的信号和本振输入波导的信号通过本振低通滤波器形成射频端到本振端的信号隔离，射频波导腔体形成本振端到射频端的信号隔离。3.根据权利要求1所述的固态太赫兹单片二次谐波混频器电路，其特征在于，所述肖特基势垒二极管采用gaas基底的反向并联肖特基势垒二极管，直接生长在单片电路基板上，两个手指桥呈反向并联的关系。4.根据权利要求1所述的固态太赫兹单片二次谐波混频器电路，其特征在于，梁氏引线方式的引线电路涂抹导电胶与射频输入波导和本振输入波导的腔体连接。

技术总结
本发明提供一种固态太赫兹单片二次谐波混频器电路，所述混频器电路包括射频输入波导、本振输入波导和单片电路基板；单片电路基板上集成射频输入波导耦合探针、肖特基势垒二极管、本振低通滤波器、本振耦合探针和中频低通滤波器；所述射频耦合探针、肖特基势垒二极管、本振低通滤波器、本振耦合探针和中频低通滤波器依次通过金属带状线连接；所述单片电路基板通过梁氏引线方式与射频输入波导和本振输入波导的腔体固定；所述单片电路基板的射频输入端设置射频接地，射频接地通过射频接地探针与射频端腔体连接；所述单片电路基板的中频信号输出端设置中频连接SMA探针，中频连接SMA探针与SMA连接。本发明适合于极小沟道尺寸的太赫兹器件设计。太赫兹器件设计。太赫兹器件设计。


技术研发人员：刘锶钰 张德海 孟进
受保护的技术使用者：中国科学院国家空间科学中心
技术研发日：2021.07.27
技术公布日：2021/10/29