压电器件、以及压电器件的制造方法与流程

技术特征：
1.一种压电器件,其在基材之上依次层叠第一电极、压电体层、以及第二电极,上述第一电极和上述第二电极成为在层叠方向上彼此不重合的配置。2.根据权利要求1所述的压电器件,其中,上述第一电极由具有两个以上的条纹的图案形成,上述第二电极在与上述第一电极的相邻的条纹间的空间对应的区域中形成。3.根据权利要求1所述的压电器件,其中,上述第一电极和上述第二电极的一者由补片图案形成,上述第一电极和上述第二电极的另一者由将上述补片图案切除后的平面图案形成。4.根据权利要求1所述的压电器件,其中,上述第一电极和上述第二电极为隔着上述压电体层在不同的层中彼此错开地配置的一对梳齿电极或螺旋电极。5.根据权利要求1至4中任一项所述的压电器件,其中,上述第一电极的表面积与上述第二电极的表面积大致相等。6.根据权利要求1至5中任一项所述的压电器件,其中,还具有配置于上述基材和上述压电体层之间的非晶质层,上述第一电极形成于上述非晶质层之上。7.根据权利要求6所述的压电器件,其中,上述非晶质层为有机非晶层。8.根据权利要求1至7中任一项所述的压电器件,其中,上述基材由塑料或树脂形成。9.根据权利要求1至8中任一项所述的压电器件,其中,上述压电体层将自氧化锌(zno)、硫化锌(zns)、硒化锌(znse)、碲化锌(znte)、氮化铝(aln)、氮化镓(gan)、硒化镉(cdse)、碲化镉(cdte)、碳化硅(sic)、及其组合之中选择的材料作为主成分而形成。10.根据权利要求9所述的压电器件,其中,上述压电体层在上述主成分之中作为副成分而含有自镁(mg)、钒(v)、钛(ti)、锆(zr)、锂(li)、硅(si)、及其组合中选择的材料。11.根据权利要求1至10中任一项所述的压电器件,其中,上述压电体层的膜厚为200nm～5μm。12.一种压电器件的制造方法,其包括以下步骤:在基材之上形成第一电极；在上述第一电极之上形成具有纤锌矿型的晶体结构的压电体层；以及在上述压电体层之上,以与上述第一电极在膜厚或层叠方向上彼此不重合的方式形成第二电极。13.根据权利要求12所述的压电器件的制造方法,其中,在塑料或树脂的上述基材之上,通过在室温下的溅射法形成上述第一电极。

技术总结
本发明提供一种压电器件,其能够抑制包夹压电体层(13)的电极间的泄漏,从而能够降低压电特性的劣化。压电器件(10A)在基材(11)之上依次层叠第一电极(12)、压电体层、以及第二电极(14),上述第一电极和上述第二电极成为在层叠方向彼此不重合的配置。叠方向彼此不重合的配置。叠方向彼此不重合的配置。


技术研发人员：中村大辅 永冈直树 石川岳人 待永广宣
受保护的技术使用者：日东电工株式会社
技术研发日：2020.03.10
技术公布日：2021/10/28