一种设有真空吸盘自清洁机构的撕膜机的制作方法

1.本实用新型涉及半导体生产设备，具体涉及一种设有真空吸盘自清洁机构的撕膜机。


背景技术：

2.晶圆是半导体集成电路制作所使用的硅晶片，为防止晶圆运输期间破损，通常在晶圆的表面进行贴膜，在后续生产制造过程中需将该贴膜撕除。目前采用的撕膜设备是撕膜机，撕膜机的操作台面为防静电台面，防静电台面上设有真空吸盘，晶圆在撕膜时被放置在真空吸盘上吸附固定。经过反复的撕膜作业，晶圆上原本残留的研磨后的微小颗粒会逐渐附着在真空吸盘上，一旦真空吸盘上附着颗粒物增多，不仅会堵塞真空吸盘上的气孔影响吸附力，还会造成晶圆出现裂纹引起破片率增大，因此需要及时对真空吸盘进行清洁处理。目前的撕膜机设备普遍未设置真空吸盘清洁机构，需要人工定期停机清洁维护，根据正常作业时停机频次统计，约4小时就需要停机清洁一次，每天约停机6次，目前采用人工清洁方式会造成停机率增加，严重影响生产效率。


技术实现要素：

3.本实用新型公开一种设有真空吸盘自清洁机构的撕膜机，可以自动对真空吸盘吹气进行清洁，避免真空吸盘表面附着微小颗粒物，具体采用如下技术方案实现：
4.一种设有真空吸盘自清洁机构的撕膜机，包括防静电台面以及位于防静电台面上的真空吸盘，所述真空吸盘的水平测设有清洁机构，所述清洁结构包括吹气管，吹气管的一端设有进气孔，吹气管内部设有气流通道，吹气管正对真空吸盘的一侧开设若干出气孔，进气孔通过进气管道连接外部高纯度氮气源，出气孔的出气方向朝向真空吸盘表面。
5.进一步，所述出气孔沿吹气管水平间隔分布，出气孔的分布长度大于真空吸盘的直径。
6.进一步，所述真空吸盘直径为200mm，出气孔的分布长度为220mm，出气孔的孔径大小为1mm，出气孔的间距为2mm，吹气管的长度为230mm。
7.进一步，所述吹气管的底部设有气管固定板，吹气管固定在气管固定板上。
8.进一步，所述进气管道上安装电磁阀，真空吸盘处设置用于检测晶圆是否移除的传感器，传感器检测到放置在真空吸盘上的晶圆被移除后将信号反馈给微处理器，微处理器向电磁阀发送开启信号，从出气孔向真空吸盘吹气。
9.进一步，所述传感器采用红外传感器或压力传感器。
10.本实用新型在撕膜机的真空吸盘一侧设置了自清洁装置，通过可吹出高纯度氮气的吹气管向真空吸盘进行吹气清洁，通过plc控制可实现晶圆被移除后开启自动吹气清洁功能，全程无需人工手动处理，无需停机，提高了撕膜作业效率，也降低了晶圆的损耗。
附图说明
11.图1为本实用新型撕膜机真空吸盘自清洁机构立体结构示意图；
12.图2为本实用新型撕膜机真空吸盘自清洁机构侧面结构示意图。
具体实施方式
13.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
14.本实施例公开一种设有真空吸盘自清洁机构的撕膜机，如图1和图2所示，该撕膜机的撕膜机构主要包括防静电台面1以及位于防静电台面1上的真空吸盘2，真空吸盘2用于真空吸附固定晶圆便于撕膜作业。为实现对真空吸盘2的自动清洁维护，本实施例在真空吸盘2的水平侧设有清洁机构。该清洁结构包括位于上部的吹气管3以及用于固定吹气管3的气管固定板4，吹气管3与气管固定板4可采用螺丝进行固定，吹气管面向真空吸盘2的一侧沿水平方向等间距设置若干出气孔5，吹气管3的内部形成气流通道，吹气管3的一侧开设进气孔6，进气孔6通过进气管道连接外部的高纯度氮气源。为保证更好的对真空吸盘2全覆盖吹气清洁效果，水平分布的出气孔5的整个长度要大于真空吸盘2的直径，以直径为200mm的真空吸盘2为例，出气孔5的分布长度推荐为220mm，出气孔5的孔径大小推荐为1mm，相邻出气孔5的间距推荐为2mm，吹气管3的长度推荐为230mm。根据目前防静电台面1的设置高度，为了确保吹气管3安装后出气孔5正对真空吸盘2表面吹气，以防静电台面1底面为基准面，吹气管3的高度设置在6.25mm左右。采用高纯度氮气作为吹气清洁的气源，是为了避免对晶圆表面造成影响。
15.考虑到每次晶圆从真空吸盘2上移除后吹气管3都能自动吹气清洁的控制需要，全程可以采用plc自动控制完成，即在连接高纯度氮气的进气管道上安装电磁阀(图中未显示)，在真空吸盘2处设置用于检测晶圆是否移除的传感器，能实现这种功能检测的传感器有很多，如红外传感器和压力传感器等均可，一旦传感器检测到放置在真空吸盘2上的晶圆被移除后将信号反馈给微处理器，由微处理器向电磁阀发送开启信号，高纯度氮气从出气孔5向真空吸盘2吹气进行清洁，每片晶圆撕膜后立即对真空吸盘2进行清洁维护，避免了颗粒物的残留影响，全程清洁维护无需停机及人工干预。
16.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种设有真空吸盘自清洁机构的撕膜机，包括防静电台面以及位于防静电台面上的真空吸盘，其特征在于：所述真空吸盘的水平测设有清洁机构，所述清洁结构包括吹气管，吹气管的一端设有进气孔，吹气管内部设有气流通道，吹气管正对真空吸盘的一侧开设若干出气孔，进气孔通过进气管道连接外部高纯度氮气源，出气孔的出气方向朝向真空吸盘表面。2.根据权利要求1所述的一种设有真空吸盘自清洁机构的撕膜机，其特征在于：所述出气孔沿吹气管水平间隔分布，出气孔的分布长度大于真空吸盘的直径。3.根据权利要求2所述的一种设有真空吸盘自清洁机构的撕膜机，其特征在于：所述真空吸盘直径为200mm，出气孔的分布长度为220mm，出气孔的孔径大小为1mm，出气孔的间距为2mm，吹气管的长度为230mm。4.根据权利要求1所述的一种设有真空吸盘自清洁机构的撕膜机，其特征在于：所述吹气管的底部设有气管固定板，吹气管固定在气管固定板上。5.根据权利要求1所述的一种设有真空吸盘自清洁机构的撕膜机，其特征在于：所述进气管道上安装电磁阀，真空吸盘处设置用于检测晶圆是否移除的传感器，传感器检测到放置在真空吸盘上的晶圆被移除后将信号反馈给微处理器，微处理器向电磁阀发送开启信号，从出气孔向真空吸盘吹气。6.根据权利要求5所述的一种设有真空吸盘自清洁机构的撕膜机，其特征在于：所述传感器采用红外传感器或压力传感器。

技术总结
本实用新型涉及一种设有真空吸盘自清洁机构的撕膜机，包括防静电台面以及位于防静电台面上的真空吸盘，真空吸盘的水平测设有清洁机构，清洁结构包括吹气管，吹气管的一端设有进气孔，吹气管内部设有气流通道，吹气管正对真空吸盘的一侧开设若干出气孔，进气孔通过进气管道连接外部高纯度氮气源，出气孔的出气方向朝向真空吸盘表面。本实用新型在撕膜机的真空吸盘一侧设置了自清洁装置，通过可吹出高纯度氮气的吹气管向真空吸盘进行吹气清洁，通过PLC控制可实现晶圆被移除后开启自动吹气清洁功能，全程无需人工手动处理，无需停机，提高了撕膜作业效率，也降低了晶圆的损耗。也降低了晶圆的损耗。也降低了晶圆的损耗。


技术研发人员：任瑞 陈志刚 刘普然
受保护的技术使用者：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
技术研发日：2021.03.30
技术公布日：2021/10/23