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晶片生成装置的制作方法

2021-10-23 02:42:00 来源:中国专利 TAG:晶片 生成 半导体 装置

技术特征:
1.一种晶片生成装置,其从半导体锭生成晶片,其中,该晶片生成装置具有:搬送托盘,其具有收纳该半导体锭的锭收纳部和收纳从该半导体锭生成的晶片的晶片收纳部;带式搬送机单元,其将该搬送托盘搬送至各加工机;盒架,其与该搬送托盘对应地载置收纳晶片的盒;以及转移单元,其将晶片从该搬送托盘的该晶片收纳部转移至该盒架所载置的该盒中,在该搬送托盘上施加有识别标记,在与该搬送托盘对应的该盒架或该盒上施加有与该搬送托盘上所施加的识别标记相同的识别标记。2.根据权利要求1所述的晶片生成装置,其中,该识别标记是色彩、记号、文字、图形、花纹、图画中的任意标记或组合。

技术总结
本发明提供一种晶片生成装置,即使发生停电或故障,半导体锭与晶片的父子关系也不会被破坏而始终明确。晶片生成装置包含:搬送托盘,其具有收纳半导体锭的锭收纳部和收纳从半导体锭生成的晶片的晶片收纳部;带式搬送机单元,其将搬送托盘搬送至各加工机;盒架,其与搬送托盘对应地载置收纳晶片的盒;以及转移单元,其将晶片从搬送托盘的晶片收纳部转移至载置在盒架上的盒中。在搬送托盘上施加有识别标记。在与搬送托盘对应的盒架或盒上施加有与搬送托盘上所施加的识别标记相同的识别标记。送托盘上所施加的识别标记相同的识别标记。送托盘上所施加的识别标记相同的识别标记。


技术研发人员:饭塚健太吕 山本凉兵
受保护的技术使用者:株式会社迪思科
技术研发日:2021.04.12
技术公布日:2021/10/22
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