一种脉冲偏压电源水冷装置的制作方法

1.本实用新型涉及水冷设备技术领域，尤其涉及一种脉冲偏压电源水冷装置。


背景技术：

2.目前，偏压电源是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件，在镀膜工艺流程中为工件提供负(或正)偏压，偏压电源工作于二级高频变换模式，单极脉冲方式输出。电源的电压调整通过改变高频变换电路的电源电压来实现，调压电路具有1％的稳率。
3.现有的脉冲偏压电源水冷装置在进行水冷的工作中大多缺少风冷的功能，从而造成脉冲偏压电源的使用寿命降低的缺点，因此我们提出了一种脉冲偏压电源水冷装置用于解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有的脉冲偏压电源水冷装置在进行水冷的工作中大多缺少风冷的功能，从而造成脉冲偏压电源的使用寿命降低的缺点，而提出的一种脉冲偏压电源水冷装置。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种脉冲偏压电源水冷装置，包括壳体，所述壳体的外侧固定安装有水罐，所述水罐的内部转动安装有螺旋绞龙，壳体的内部转动安装有横轴与竖直轴，所述横轴的一端固定安装有扇叶，所述横轴的外侧与竖直轴的底端均固定安装有锥齿轮，两个锥齿轮相互啮合，所述竖直轴的顶端与螺旋绞龙的外侧均固定安装有皮带轮，两个皮带轮上传动连接有同一个皮带，所述壳体的外侧转动安装有蜗杆与蜗轮，所述蜗杆与蜗轮相互啮合，所述蜗轮的前侧固定安装有圆轴，圆轴的外侧顶部活动抵接有横板，所述横板的外侧固定安装有清洁刷，所述清洁刷活动安装在壳体的外侧，所述清洁刷的外侧固定安装有弹簧，所述弹簧的底端固定安装在壳体的外侧，所述蜗杆的顶端与螺旋绞龙的外侧均固定安装有链轮，两个链轮上传动连接有同一个链条，所述水罐的外侧底部连通有冷凝管。
7.优选的，所述壳体的底部内壁上固定安装有支撑台，支撑台的顶部固定安装有脉冲偏压电源，通过设置的支撑台，从而为脉冲偏压电源提供一定的支撑作用。
8.优选的，所述壳体的外侧顶部固定安装有电机，电机的输出轴与螺旋绞龙的顶端固定连接，通过设置的电机，电机的工作使得冷凝水的输入与扇叶的的工作能够同步进行，从而能够实现两种不同的方式进行散热处理。
9.优选的，所述壳体的外侧开设有通孔，通孔的内侧固定安装有滤网，通过设置的滤网，从而能够防止外界的灰尘进入到壳体的内部。
10.优选的，所述壳体的外侧固定安装有中空杆，清洁刷的外侧活动抵接在中空杆的内侧，通过设置的中空杆，从而为清洁刷的竖直运动起到一定的导向的作用。
11.优选的，所述壳体的外侧固定安装有矩形板，蜗杆与蜗轮均转动安装在矩形板的
前侧，通过设置的矩形板，从而为蜗杆与蜗轮提供一定的转动支撑的作用。
12.本实用新型中，所述的一种脉冲偏压电源水冷装置，通过设置的皮带轮，电机的工作使得螺旋绞龙同步转动，从而使得水罐内部的冷凝水能够输入到冷凝管的内部，从而对壳体的内部环境进行水冷处理，其次螺旋绞龙的转动使得皮带轮转动，皮带轮的转动使得竖直轴转动，从而带动两个锥齿轮转动，从而使得横轴转动，从而带动扇叶转动，从而能够进行风冷工作；
13.本实用新型设计合理，蜗杆的转动带动蜗轮转动，从而使得圆轴转动，带动清洁刷得到同样的竖直运作，能够将滤网的表面进行清洁，从而防止灰尘附着在上面，从而导致散热效率不佳。
附图说明
14.图1为本实用新型提出的一种脉冲偏压电源水冷装置的结构示意图；
15.图2为本实用新型提出的一种脉冲偏压电源水冷装置的a部分的结构示意图；
16.图3为本实用新型提出的一种脉冲偏压电源水冷装置的b部分的结构示意图。
17.图中：1、壳体；2、水罐；3、螺旋绞龙；4、横轴；5、扇叶；6、竖直轴；7、锥齿轮；8、皮带轮；9、皮带；10、蜗杆；11、蜗轮；12、圆轴；13、横板；14、清洁刷；15、弹簧；16、链轮；17、链条；18、电机；19、脉冲偏压电源；20、冷凝管。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
19.参照图1
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3，一种脉冲偏压电源水冷装置，包括壳体1，壳体1的外侧固定安装有水罐2，水罐2的内部转动安装有螺旋绞龙3，壳体1的内部转动安装有横轴4与竖直轴6，横轴4的一端固定安装有扇叶5，横轴4的外侧与竖直轴6的底端均固定安装有锥齿轮7，两个锥齿轮7相互啮合，竖直轴6的顶端与螺旋绞龙3的外侧均固定安装有皮带轮8，两个皮带轮8上传动连接有同一个皮带9，壳体1的外侧转动安装有蜗杆10与蜗轮11，蜗杆10与蜗轮11相互啮合，蜗轮11的前侧固定安装有圆轴12，圆轴12的外侧顶部活动抵接有横板13，横板13的外侧固定安装有清洁刷14，清洁刷14活动安装在壳体1的外侧，清洁刷14的外侧固定安装有弹簧15，弹簧15的底端固定安装在壳体1的外侧，蜗杆10的顶端与螺旋绞龙3的外侧均固定安装有链轮16，两个链轮16上传动连接有同一个链条17，水罐2的外侧底部连通有冷凝管20。
20.本实用新型中，壳体1的底部内壁上固定安装有支撑台，支撑台的顶部固定安装有脉冲偏压电源19，通过设置的支撑台，从而为脉冲偏压电源19提供一定的支撑作用。
21.本实用新型中，壳体1的外侧顶部固定安装有电机18，电机18的输出轴与螺旋绞龙3的顶端固定连接，通过设置的电机18，电机18的工作使得冷凝水的输入与扇叶5的的工作能够同步进行，从而能够实现两种不同的方式进行散热处理。
22.本实用新型中，壳体1的外侧开设有通孔，通孔的内侧固定安装有滤网，通过设置的滤网，从而能够防止外界的灰尘进入到壳体1的内部。
23.本实用新型中，壳体1的外侧固定安装有中空杆，清洁刷14的外侧活动抵接在中空
杆的内侧，通过设置的中空杆，从而为清洁刷14的竖直运动起到一定的导向的作用。
24.本实用新型中，壳体1的外侧固定安装有矩形板，蜗杆10与蜗轮11均转动安装在矩形板的前侧，通过设置的矩形板，从而为蜗杆10与蜗轮11提供一定的转动支撑的作用。
25.该水冷装置的工作原理如下：启动电机18，电机18的工作使得螺旋绞龙3同步转动，从而使得水罐2内部的冷凝水能够输入到冷凝管20的内部，从而对壳体1的内部环境进行水冷处理，其次螺旋绞龙3的转动使得皮带轮8与链轮16同步转动，皮带轮8的转动使得竖直轴6转动，从而带动两个锥齿轮7转动，从而使得横轴4转动，从而带动扇叶5转动，从而能够进行风冷工作，链轮16的转动使得蜗杆10转动，从而带动蜗轮11转动，从而使得圆轴12转动，从而使得横板13得到竖直方向的往复运动，从而带动清洁刷14得到同样的竖直运作，从而能够将滤网的表面进行清洁，从而防止灰尘附着在上面，从而导致散热效率不佳。


技术特征：
1.一种脉冲偏压电源水冷装置，包括壳体（1），其特征在于，所述壳体（1）的外侧固定安装有水罐（2），所述水罐（2）的内部转动安装有螺旋绞龙（3），壳体（1）的内部转动安装有横轴（4）与竖直轴（6），所述横轴（4）的一端固定安装有扇叶（5），所述横轴（4）的外侧与竖直轴（6）的底端均固定安装有锥齿轮（7），两个锥齿轮（7）相互啮合，所述竖直轴（6）的顶端与螺旋绞龙（3）的外侧均固定安装有皮带轮（8），两个皮带轮（8）上传动连接有同一个皮带（9），所述壳体（1）的外侧转动安装有蜗杆（10）与蜗轮（11），所述蜗杆（10）与蜗轮（11）相互啮合，所述蜗轮（11）的前侧固定安装有圆轴（12），圆轴（12）的外侧顶部活动抵接有横板（13），所述横板（13）的外侧固定安装有清洁刷（14），所述清洁刷（14）活动安装在壳体（1）的外侧，所述清洁刷（14）的外侧固定安装有弹簧（15），所述弹簧（15）的底端固定安装在壳体（1）的外侧，所述蜗杆（10）的顶端与螺旋绞龙（3）的外侧均固定安装有链轮（16），两个链轮（16）上传动连接有同一个链条（17），所述水罐（2）的外侧底部连通有冷凝管（20）。2.根据权利要求1所述的一种脉冲偏压电源水冷装置，其特征在于，所述壳体（1）的底部内壁上固定安装有支撑台，支撑台的顶部固定安装有脉冲偏压电源（19）。3.根据权利要求1所述的一种脉冲偏压电源水冷装置，其特征在于，所述壳体（1）的外侧顶部固定安装有电机（18），电机（18）的输出轴与螺旋绞龙（3）的顶端固定连接。4.根据权利要求1所述的一种脉冲偏压电源水冷装置，其特征在于，所述壳体（1）的外侧开设有通孔，通孔的内侧固定安装有滤网。5.根据权利要求1所述的一种脉冲偏压电源水冷装置，其特征在于，所述壳体（1）的外侧固定安装有中空杆，清洁刷（14）的外侧活动抵接在中空杆的内侧。6.根据权利要求1所述的一种脉冲偏压电源水冷装置，其特征在于，所述壳体（1）的外侧固定安装有矩形板，蜗杆（10）与蜗轮（11）均转动安装在矩形板的前侧。

技术总结
本实用新型属于水冷设备技术领域，尤其为一种脉冲偏压电源水冷装置，针对现有的脉冲偏压电源水冷装置在进行水冷的工作中大多缺少风冷的功能，从而造成脉冲偏压电源的使用寿命降低的问题，现提出如下方案，其包括壳体，所述壳体的外侧固定安装有水罐，所述水罐的内部转动安装有螺旋绞龙，壳体的内部转动安装有横轴与竖直轴，所述横轴的一端固定安装有扇叶，所述横轴的外侧与竖直轴的底端均固定安装有锥齿轮，两个锥齿轮相互啮合。本实用新型设计合理，蜗杆的转动带动蜗轮转动，从而使得圆轴转动，带动清洁刷得到同样的竖直运作，能够将滤网的表面进行清洁，从而防止灰尘附着在上面，从而导致散热效率不佳。从而导致散热效率不佳。从而导致散热效率不佳。


技术研发人员：王志鹏 范玮力
受保护的技术使用者：四川省海创电气有限责任公司
技术研发日：2021.03.29
技术公布日：2021/10/8