一种低频主动减振机构的制作方法

1.本实用新型涉及低频减振技术领域，尤其涉及一种低频主动减振机构。


背景技术：

2.随着科技的发展，以光刻机、扫描隧道显微镜(stm)、扫描探针显微镜(spm)、原子力显微镜(afm)等为代表的加工与测量设备得到了越来越广泛的应用。由于其精密性，这一类加工与测量设备对环境微幅振动的要求也愈加严格。
3.现有的减振方式一般为给这一类加工与测量设备底部加装螺旋钢弹簧、空气弹簧等元件隔离地基的振动，此类减振方式为被动减振，被动减振低频性能差，不能满足这一类加工与测量设备对环境微幅振动的要求，为此，我们提出一种低频主动减振机构。


技术实现要素：

4.(一)实用新型目的
5.为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种低频主动减振机构，解决了精密加工与测量设备其减振方式无法满足对环境微幅振动的要求的问题，采用主动减振方式，低频性能好，减振效果更佳，提高了装置的实用性。
6.(二)技术方案
7.本实用新型提供了一种低频主动减振机构，包括落地板、振动探头以及落地板上方的载板，所述载板的顶部固定连接有设备本体，所述设备本体的顶部固定连接有连接板，所述连接板的上方设置有顶板，所述顶板的顶部固定连接有主动振动器，所述落地板和载板之间以及所述顶板和连接板之间均固定连接有四个对称设置的伸缩导向杆，所述伸缩导向杆的外围均套设有第一弹簧，所述落地板的底部以及连接板的顶部均固定连接有两个连接块，所述连接块的四侧面均转动连接有转压杆，所述转压杆的外围均活动套设有转导筒，位于上方所述转导筒远离转压杆的一端和顶板的底部转动连接，位于下方所述转导筒远离转压杆的一端和落地板的顶部转动连接。
8.优选的，所述落地板的顶部固定连接有底罩，所述顶板的底部固定连接有顶罩。
9.优选的，所述转压杆位于转导筒内部的一端均固定连接有限位块，所述限位块的直径大于转导筒套接孔内径。
10.优选的，所述限位块远离转压杆的一侧均固定连接有第三弹簧，所述第三弹簧远离限位块的一端和转导筒的内壁固定连接。
11.优选的，所述振动探头的顶部固定连接有导杆，所述落地板的顶部转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的顶端固定连接有转把，所述螺纹杆的外围螺纹连接有滑动板，且所述滑动板活动套设在导杆的外围，所述滑动板的左侧和底罩的右侧滑动连接，所述导杆的外围套设有位于滑动板和振动探头之间的第二弹簧。
12.优选的，所述底罩的右侧开设有滑槽，所述滑动板的左侧固定连接有滑块，所述滑块的外圈滑动连接在滑槽内。
13.与现有的技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.使用振动探头测定地面振动信号传递给主动振动器，通过主动振动器产生等幅反向的力把原有的地面振动抵消掉，相比于现有的加装螺旋钢弹簧、空气弹簧等元件隔离地基振动的被动减振方式，低频性能好，减振效果更佳，可满足精密加工与测量设备对环境微幅振动的要求，提高了装置的实用性。
附图说明
15.图1为本实用新型提出的一种低频主动减振机构的正视结构剖切图；
16.图2为本实用新型提出的一种低频主动减振机构的a处结构放大图；
17.图3为本实用新型提出的一种低频主动减振机构的转压杆和转导筒的内部结构示意图。
18.图中：1落地板、2载板、31底罩、32顶罩、4设备本体、5连接板、61第一弹簧、62第二弹簧、63第三弹簧、7主动振动器、9螺纹杆、10转把、11导杆、12滑动板、13振动探头、14伸缩导向杆、15连接块、16转压杆、17转导筒、18顶板。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
20.如图1
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3所示，本实用新型提出的一种低频主动减振机构，包括落地板1、振动探头13以及落地板1上方的载板2，载板2的顶部固定连接有设备本体4，设备本体4的顶部固定连接有连接板5，连接板5的上方设置有顶板18，顶板18的顶部固定连接有主动振动器7，落地板1和载板2之间以及顶板18和连接板5之间均固定连接有四个对称设置的伸缩导向杆14，伸缩导向杆14的外围均套设有第一弹簧61，落地板1的底部以及连接板5的顶部均固定连接有两个连接块15，连接块15的四侧面均转动连接有转压杆16，转压杆16的外围均活动套设有转导筒17，位于上方转导筒17远离转压杆16的一端和顶板18的底部转动连接，位于下方转导筒17远离转压杆16的一端和落地板1的顶部转动连接。
21.在一种可选的实施例中，落地板1的顶部固定连接有底罩31，顶板18的底部固定连接有顶罩32。
22.在一种可选的实施例中，转压杆16位于转导筒17内部的一端均固定连接有限位块，限位块的直径大于转导筒17套接孔内径。
23.在一种可选的实施例中，限位块远离转压杆16的一侧均固定连接有第三弹簧63，第三弹簧63远离限位块的一端和转导筒17的内壁固定连接。
24.在一种可选的实施例中，振动探头13的顶部固定连接有导杆11，落地板1的顶部转动连接有螺纹杆9，螺纹杆9的顶端固定连接有转把10，螺纹杆9的外围螺纹连接有滑动板12，且滑动板12活动套设在导杆11的外围，滑动板12的左侧和底罩31的右侧滑动连接，导杆11的外围套设有位于滑动板12和振动探头13之间的第二弹簧62。
25.在一种可选的实施例中，底罩31的右侧开设有滑槽，滑动板12的左侧固定连接有滑块，滑块的外圈滑动连接在滑槽内。
26.工作原理：首先通过转动转把10带动螺纹杆9转动，从而调节适宜的高度，使得振动探头13在第二弹簧62适宜的弹力作用下紧贴地面，这样就使得振动探头13监测出的数据更加精准，落地板1和载板2之间以及连接板5和顶板18之间均设置有两组相同减振系统，该两组减振系统中，伸缩导向杆14起着支撑连接导向的作用，第一弹簧61起到一定的减振效果，再有振动时转压杆16压缩转导筒17内部的第三弹簧63起着进一步的减振效果，使得整体减振效果更佳，振动探头13测定地面振动信号传递给主动振动器7，通过主动振动器7产生等幅反向的力，这样设备本体4的顶部以及底部收到两组反向振动的力，经过两组减振系统的进一步削弱，使得设备本体4整体保持位置不动，低频性能好，减振效果更佳，可满足精密加工与测量设备对环境微幅振动的要求，提高了装置的实用性。
27.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
28.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
29.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。