一种半导体用的特殊气体输送装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种半导体用的特殊气体输送装置。


背景技术：

2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。
3.现有的技术存在以下技术问题：
4.1、现有的半导体用的特殊气体输送装置，大多采用单管进行输送，不能够随时控制气体的输送，并且管道较为狭窄，不易于气体快速输送的效果。
5.2、现有的半导体用的特殊气体输送装置，大多需要将气体进行混合后，再将混合后的气体通过管道进行输送，不能再输送的同时将气体进行有效的混合。


技术实现要素：

6.(一)解决的技术问题
7.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体用的特殊气体输送装置，具备可随时调节拦截气体的输送以及可将气体有效进行混合等优点，解决了现有的技术中气体通过管道进行输送，输送过程中不可进行拦截以及需要将其他混合后进行输送的问题。
8.(二)技术方案
9.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体用的特殊气体输送装置，包括第一输送弯管，所述第一输送弯管的一端固定连接有固定连接器，所述固定连接器的一侧固定连接有位于第一输送弯管一侧的中输送管，所述中输送管的一侧固定连接有第二输送弯管，所述第二输送弯管的一端固定连接有混合器，所述混合器的表面固定连接有转动轴，所述转动轴的一侧固定连接有位于混合器一侧的连接口，所述连接口的一侧固定套接有位于混合器侧部的保护套，所述保护套的一侧活动套接有位于混合器内部的卡接管，所述卡接管的侧部固定连接有齿轮圈，所述齿轮圈的一侧设有位于卡接管两端的卡口，所述卡口的侧部卡接有连接管，所述连接管的一端固定连接有气体滞留器，所述气体滞留器的一侧设有单管连接口，所述单管连接口的一端固定连接有传输管。
10.优选的，所述混合器的表面开设有三个槽，所述转动轴的两端固定连接有卡接钮，所述转动轴的两端通过卡接钮卡接在混合器的表面开设有三个槽的内侧。
11.优选的，所述转动轴和卡接管的侧部开设有齿轮纹，所述转动轴的侧部与卡接管的侧部相互贴合。
12.优选的，所述混合器的两侧均固定连接有三个连接口，且三个连接口的直径相同，
所述混合器的内侧开设有三个圆形孔圆形孔的内侧设有定位块，圆形孔的内部均活动套接有卡接管，所述卡接管的侧部的相对面方向均设有限转块，所述定位块和限转块接触时，旋转角度为90度。
13.优选的，所述卡接管和连接管的一端的内侧均固定连接有限气盘，两个限气盘的表面均开设有相同大小透气孔，且两个限气盘相互贴合。
14.优选的，所述混合器的内侧活动套接有三个卡接管，三个卡接管的一端分别卡接在第一输送弯管、中输送管和第二输送弯管的一端，三个卡接管的另一端卡接在连接管的一端。
15.优选的，所述气体滞留器的一侧固定连接有三个连接口，且直径与混合器一侧固定连接的三个连接口的直径相同，所述气体滞留器的另一侧固定连接有单管连接口。
16.与现有技术相比，本实用新型提供了一种半导体用的特殊气体输送装置，具备以下有益效果：
17.1、该半导体用的特殊气体输送装置，通过在混合器的内部开设有槽，且槽的内部活动套接有卡接管，卡接管的两侧固定连接有限转块，再在槽的一侧固定连接有定位块，转动轴的侧部与卡接管的侧部相贴合，通过转动转动轴，使卡接管两端固定连接的限转块与定位块进行贴合，从而使卡接管一端固定连接的限气盘开设的透气孔与连接管内侧一端固定连接的限气盘开设的透气孔错开，从而达到将气体进行拦截的问题。
18.2、该半导体用的特殊气体输送装置，通过将第一输送弯管、中输送管和第二输送弯管的一端固定连接的固定连接器固定连接在不同的气管的接口处，再通过将第一输送弯管、中输送管和第二输送弯管的另一端固定连接在混合器一侧固定连接的连接口的内侧，且卡接在卡接管一端固定连接的卡口的侧部，再将卡加管的另一端固定连接在气体滞留器一侧固定连接的内侧，通过三种气体进入气体滞留器的内部后进行混合，再通过一侧固定连接的传输管输送至罐体的内部，加大的增加其实用性。
附图说明
19.图1为本实用新型整体结构示意图；
20.图2为本实用新型混合器结构示意图；
21.图3为本实用新型卡接管结构示意图；
22.图4为本实用新型混合器内部结构示意图。
23.其中：1、第一输送弯管；2、固定连接器；3、中输送管；4、第二输送弯管；5、混合器；6、转动轴；7、连接口；8、保护套；9、卡接管；10、齿轮圈；11、卡口；12、连接管；13、气体滞留器；14、单管连接口；15、传输管；16、卡接钮；17、限转块；18、定位块；19、限气盘；20、透气孔。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
25.请参阅图1
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4，一种半导体用的特殊气体输送装置，包括第一输送弯管1，第一输送
弯管1的一端固定连接有固定连接器2，第一输送弯管1、中输送管 3、第二输送弯管4和传输管15的一端均固定连接有固定连接器2，且固定连接器2的内侧设有螺旋纹，固定连接器2的一侧固定连接有位于第一输送弯管1一侧的中输送管3，中输送管3的一侧固定连接有第二输送弯管4，第二输送弯管4的一端固定连接有混合器5，混合器5的表面固定连接有转动轴6，混合器5的表面开设有三个槽，转动轴6的两端固定连接有卡接钮16，转动轴6的两端通过卡接钮16卡接在混合器5的表面开设有三个槽的内侧，转动轴6的一侧固定连接有位于混合器5一侧的连接口7，混合器5的两侧均固定连接有三个连接口7，且三个连接口7的直径相同，混合器5的内侧开设有三个圆形孔圆形孔的内侧设有定位块18，圆形孔的内部均活动套接有卡接管9，混合器5的内侧活动套接有三个卡接管9，三个卡接管9的一端分别卡接在第一输送弯管1、中输送管3和第二输送弯管4的一端，三个卡接管9的另一端卡接在连接管12的一端，卡接管9的侧部的相对面方向均设有限转块17，定位块18和限转块17接触时，旋转角度为90度，连接口7的一侧固定套接有位于混合器5侧部的保护套8，保护套8的一侧活动套接有位于混合器5内部的卡接管9，转动轴6和卡接管9的侧部开设有齿轮纹，转动轴6的侧部与卡接管9的侧部相互贴合，卡接管9的侧部固定连接有齿轮圈10，齿轮圈10的一侧设有位于卡接管9两端的卡口11，卡口11的侧部卡接有连接管12，卡接管9和连接管12的一端的内侧均固定连接有限气盘19，两个限气盘19的表面均开设有相同大小透气孔20，且两个限气盘19相互贴合，连接管12的一端固定连接有气体滞留器13，气体滞留器13的一侧固定连接有三个连接口 7，且直径与混合器5一侧固定连接的三个连接口7的直径相同，气体滞留器 13的另一侧固定连接有单管连接口14，气体滞留器13的一侧设有单管连接口14，单管连接口14的一端固定连接有传输管15。
26.在使用时，首先将第一输送弯管1、中输送管3、第二输送弯管4分别通过一端固定连接的固定连接器2固定连接在不同特殊气体罐的连接口上，再通过将第一输送弯管1、中输送管3、第二输送弯管4的另一端固定连接在混合器5一侧固定连接的连接口7的内侧，且卡接在，再通过将卡接管9一端固定连接的卡口11的侧部，再将卡接管9另一端固定连接的卡口11卡接在连接管12的一端，连接管12的另一端固定连接在气体滞留器13的一侧，再将气体滞留器13的另一侧固定连接的传输管15连接在气体瓶的一端即可。
27.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。