高低温关节式流道装置的制作方法

本实用新型属于半导体行业高低温输送领域，尤其是涉及一种高低温关节式流道装置。

背景技术：

在现今，电子元件于实际使用时，可能处于高低温环境，为确保电子元件的使用品质，于电子元件制作完成后，必须以测试设备的测试装置对电子元件进行热测或者冷测，以淘汰不良品。以电子元件冷测作业举例，由于电子元件必须降温至预设测试温度，方可进行冷测工作，在冷测过程中需要进行电子元件的预冷及温度控制，在预冷及控温的过程中，相关的组件需要运动，需要相关的输送装置，从而达到冷测目的。

现有技术的主要结构使用的是关节方式，在关节运动处对轴进行密封，连接件上打孔形成流道，关节比较长，导致弯曲半径幅度较大，往复运动效果差。通过不同连接件上流道孔的配合形成流道输送回路，从而达到高低温输送目的。由于连接件上的密封圈与轴的配合间隙较大，导致密封效果不理想，现有市场关节式流道弯曲半径较大，往复运动效果差，能够同时支持x、y向运动范围比较小，密封效果不理想。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种高低温关节式流道装置，以解决现有关节式流道弯曲半径较大，往复运动效果差，以及连接件上的密封圈与轴的配合间隙较大，导致密封效果不理想的问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种高低温关节式流道装置，包括节流通道及其两端分别安装的第一连接组件和第二连接组件，所述节流通道包括若干通道组件，若干通道组件相互平行设置或依次首尾相连接。

进一步的，所述节流通道包括依次首尾相连接的若干通道组件。

进一步的，所述第一连接组件和第二连接组件均为第一液流接头。

进一步的，所述节流通道包括结构相同且相互平行设置的若干节流组件，每个节流组件均包括依次首尾相连接的若干通道组件。

进一步的，所述节流通道包括两个相互平行设置的节流组件。

进一步的，所述第一连接组件是第二液流接头，所述两个节流组件的第一端分别安装一个第二液流接头，第二连接组件是第三液流接头，所述两个节流组件的第二端均安装至一个第三液流接头的一端。

进一步的，所述通道组件包括外夹板及其中部套接的转板，且相邻两个外夹板通过转板相连接，所述外夹板包括相互平行且对称设置的第一分流块和第二分流块，转板位于第一分流块和第二分流块之间。

进一步的，所述第一分流块和第二分流块的结构相同，第一分流块一侧分别设有第一盲孔和第二盲孔，第一分流块内部设有第一空腔，所述第一盲孔、第一空腔和第二盲孔依次贯通。

进一步的，所述转板包括合流块、第一密封组件、第二密封组件、第一空心管和第二空心管，所述合流块的两端分别设有第一通孔和第二通孔，合流块内部设有第二空腔，所述第一通孔内套接第一空心管，第二通孔内套接第二空心管，第一空心管两端分别通过一个第一密封组件套接第二盲孔内，第二空心管两端分别通过一个第二密封组件套接至第一盲孔内，第一空心管内部、第二空腔、第二空心管内部、第一盲孔、第一空腔和第二盲孔依次贯通。

进一步的，所述第一密封组件包括第一空心管外围分别套接的第一密封圈、垫片和第二密封圈，垫片位于第一密封圈和第二密封圈之间，第一密封圈位于位于第一通孔内，垫片位于合流块与第一分流块之间，第二密封圈位于第二盲孔内。

进一步的，所述第二密封组件包括第二空心管外围套接的第三密封圈，第三密封圈位于第二通孔内。

相对于现有技术，本实用新型所述的高低温关节式流道装置具有以下优势：

(1)本实用新型所述的高低温关节式流道装置，可以兼容高低温气体预温方式及高低温液体预温方式，根据工况需求即可以进行小弯曲半径的往复运动，也可以在平面上进行x、y方向运动，支持运动范围大。

(2)本实用新型所述的高低温关节式流道装置，在空心管采用多重密封圈并加入垫片，增加密封性能，减小旋转的摩擦。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例所述的通道组件的结构示意图；

图2为本实用新型实施例所述的第一分流块的结构示意图；

图3为本实用新型实施例所述的第一分流块的剖面图；

图4为本实用新型实施例所述的转板的爆炸结构示意图；

图5为本实用新型实施例所述的转板的剖面图；

图6为本实用新型实施例所述的通道组件的剖面图；

图7为本实用新型实施例所述的若干通道组件与第一液流接头装配的结构示意图；

图8为本实用新型实施例所述的第一液流接头的结构示意图；

图9为本实用新型实施例所述的第一液流接头的剖面图；

图10为本实用新型实施例所述的若干通道组件与第二液流接头、第三液流接头装配的结构示意图；

图11为本实用新型实施例所述的第二液流接头的结构示意图；

图12为本实用新型实施例所述的第二液流接头的剖面图；

图13为本实用新型实施例所述的第三液流接头的结构示意图；

图14为本实用新型实施例所述的第三液流接头的剖面图。

附图标记说明：

1-第一分流块；101-第一盲孔；102-第二盲孔；103-第一空腔；2-第二分流块；3-转板；31-合流块；32-第一密封圈；33-垫片；34-第二密封圈；35-第三密封圈；36-第一空心管；37-第二空心管；38-第二空腔；4-第一连块；5-第一耐温接头；6-第一连接本体；7-第三空心管；8-第二连接本体；9-连板；10-第二耐温接头；11-载体连块；12-第二连板；13-第三通孔。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

如图1-14所示，高低温关节式流道装置，包括节流通道及其两端分别安装的第一连接组件和第二连接组件，所述节流通道包括若干相互平行设置的通道组件，所述通道组件包括外夹板及其中部套接的转板3，且相邻两个外夹板通过转板3相连接，所述外夹板包括相互平行且对称设置的第一分流块和第二分流块，转板3位于第一分流块和第二分流块之间，转板3、第一分流块和第二分流块的材质选用peek，具有良好的物理化学特性，耐酸碱性、耐腐蚀、耐氧化、热膨胀系数低，转板3、第一分流块和第二分流块可以更好的兼容多种预温方式，满足市场选择需求。

第一分流块和第二分流块的结构相同，第一分流块一侧分别设有第一盲孔101和第二盲孔102，第一分流块内部设有第一空腔103，所述第一盲孔101、第一空腔103和第二盲孔102依次贯通。

转板3包括合流块31、第一密封组件、第二密封组件、第一空心管36和第二空心管37，所述合流块31的两端分别设有第一通孔和第二通孔，合流块31内部设有第二空腔38，所述第一通孔内套接第一空心管36，第二通孔内套接第二空心管37，第一空心管36两端分别通过一个第一密封组件套接第二盲孔102内，第二空心管37两端分别通过一个第二密封组件套接至第一盲孔101内，第一空心管36内部、第二空腔38、第二空心管37内部、第一盲孔101、第一空腔103和第二盲孔102依次贯通，第一分流块和第二分流块可以在转板3两端，进行小弯曲半径的往复运动，也可以在平面上进行x、y方向运动，支持运动范围大。

第一密封组件包括第一空心管36外围分别套接的第一密封圈32、垫片33和第二密封圈34，垫片33位于第一密封圈32和第二密封圈34之间，第一密封圈32位于位于第一通孔内，垫片33位于合流块31与第一分流块之间，第二密封圈34位于第二盲孔102内；第二密封组件包括第二空心管37外围套接的第三密封圈35，第三密封圈35位于第二通孔内，第一密封圈32、第二密封圈34和第三密封圈35增加通道组件的密封性，垫片33减小了两个通道组件之间的旋转摩擦。

所述节流通道包括依次首尾相连接的若干通道组件。

第一连接组件和第二连接组件均为第一液流接头，第一液流接头包括第一连接本体6、第一连块4、第一耐温接头5和第三空心管7，第一连接本体6一端通过第三空心管7固定套接至第一盲孔101或第二盲孔102，第一连接本体6一端设置第一连块4和第一耐温接头5，所述第一连接本体6内部设有第三空腔，第一耐温接头5、第三空腔和第三空心管7内部依次贯通。

所述节流通道包括结构相同且相互平行设置的两个节流组件，每个节流组件均包括依次首尾相连接的若干通道组件。

第一连接组件是第二液流接头，所述两个节流组件的第一端分别安装一个第二液流接头，第二连接组件是第三液流接头，所述两个节流组件的第二端均安装至一个第三液流接头的一端。

第二液流接头包括第二连接本体8、第一连板9、第四空心管和第二耐温接头10，第二连接本体8一端安装第二耐温结构，第二连接本体8一侧设置第一连板9，第一连板9的一端通过第四空心管固定套接至第一盲孔101或第二盲孔102，第二连接本体8内部设有第四空腔，第一耐温接头5内部、第四空腔和第四空心管内部依次贯通。

第三液流接头包括载体连块11，载体连块11的一侧设置两个第二连板129，每个第二连板129的一端通过一个第五空心管固定套接至第一盲孔101或第二盲孔102，载体连块11设有第三通孔13，第五空心管内部、第二连板129内部和所述第三通孔13依次贯通，第一空心管36、第二空心管37、第三空心管7、第四空心管和第五空心管均为机加工精密器件，以此增加装置的密封性，减小旋转摩擦。

高低温关节式流道装置的安装过程：

将第二耐温接头10安装在第二连接本体8上，并将安装好第二耐温接头10的第二连接本体8安装在依次装配的通道组件的一端，依次装配的通道组件的另一端安装载体连块11，节流通道安装第二耐温接头10的一端连接在高低温液体温度源处，节流通道的载体连块11的一端与目标运动工件连接，所述高低温液体温度源处的介质依次经第五空心管内部、第二连板129内部、所述第三通孔13、第一空心管36内部、第二空腔38、第二空心管37内部、第一盲孔101、第一空腔103和第二盲孔102流入目标运动工件，从而达到高低温液体输送的目的。

高低温关节式流道装置的应用场景：

在ic封装领域，ic捡置式自动测试分选机是用于检测流水线上生产出的微小的卡类零件，随着工业发展，ic封测的要求也与之更新，对ic产品所在的环境测试需求也日益明显，故出现了高低温ic捡置式自动测试分选机。在高低温ic捡置式自动测试分选机中多处与ic接触的工位要进行预温，在ic搬料过程中需要对ic进行预温，搬料小车一直在进行快速往复运动，此装置可以可满足快速往复运动，弯曲半径小，完成预温工作。测试臂在测试过程中一直对ic进行控温，故需要进行高低温输送，ic捡置式自动测试分选机上测试臂需要快速的上下运动及前后运动，从而完成高效的测试工作，此装置满足测试臂快速的上下运动及前后运动，在平面运动过程中运动幅度大。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。