配气阀岛及废气处理设备的配气方法与流程

1.本发明涉及气体分配阀技术领域，具体为配气阀岛及废气处理设备的配气方法。


背景技术：

2.半导体制作时，会产生强烈的具有腐蚀性的半导体废气，该半导体废气一般包括氯气、氯化氢、氟化氢、氟气、氨气等，这些废气通常具有有毒、有害及易燃易爆的特性，从而需要采用燃烧式废气处理设备对半导体废气进行统一的燃烧处理。
3.目前，半导体废气在进行燃烧处理时，通常将各个半导体产线产出的废气通过输气主管向废气处理设备进行输送，在输气主管的末端由多根支气管一一连通废气处理设备上的各个废气入口，在输气的过程中，需要采用由多个配气阀组装而成的配气阀岛进行废气时的控制工作，然而一般的配气阀岛可以满足人们的使用需求，但是依然存在一定的问题，具体问题有以下几点：首先，在配气时输气支管内部的压力难以实现自调节功能，从而很容易导致输气支管发生爆裂现象；其次，残留的废气难以实现再处理功能，从而避免了很容易导致配气后发生的环境污染现象；再者，配气阀岛检修时较为繁琐，从而严重影响了配气阀岛检修时的便捷性。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供配气阀岛及废气处理设备的配气方法，以解决上述背景技术中提出配气时输气支管内部的压力难以实现自调节功能，残留的废气难以实现再处理功能，配气阀岛检修时较为繁琐的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：配气阀岛及废气处理设备的配气方法，包括配气室和输气主管，所述配气室的表面镶嵌有可视窗，所述配气室的一侧固定有检修框，且检修框的一侧设置有输气主管，所述输气主管的一侧连通有等间距的连接管，且连接管的一端延伸至检修框的内部并固定有电磁阀，所述配气室远离检修框的一侧固定有集气室，且集气室的表面连通有进气管，所述配气室的内部固定有输气支管，且输气支管通过过气管与电磁阀相互连通，并且输气支管的另一端延伸至集气室的内部，同时输气支管一侧的配气室内部设置有泄压机构。
6.优选的，所述检修框还包括检修腔、腔盖、卡槽以及卡扣，所述检修框的一侧设置有检修腔，且检修腔的内部设置有腔盖，所述腔盖的表面皆固定有，且位置处的检修框表面开设有卡扣，并且卡扣与相互扣合。
7.优选的，所述集气室的两端皆连接有回流进管，且回流进管的另一端安装有气泵，所述气泵的一端安装有回流出管，且回流出管的另一端与输气主管的内部相连通。
8.优选的，所述泄压机构的内部依次设置有泄压筒、密封圈、复位弹簧、排气管、t型挡圈、限位杆、限位通槽以及导气管，所述输气支管的一侧设置有泄压筒，且泄压筒的一端通过导气管与输气支管的内部相连通，并且泄压筒的另一端通过排气管与进气管相连通。
9.优选的，所述泄压筒的内部固定有密封圈，且密封圈的一侧设置有t型挡圈，并且
限位杆的另一端延伸至限位通槽的内部，同时限位杆与限位通槽相互紧密贴合，所述密封圈的两侧皆开设有限位通槽，且限位通槽的内部设置有限位杆，并且限位通槽的另一端与t型挡圈的表面固定连接。
10.优选的，所述t型挡圈一侧的两端皆安装有复位弹簧，且复位弹簧与泄压筒的表面固定连接，并且复位弹簧到密封圈的最大水平距离大于t型挡圈的厚度，同时t型挡圈与密封圈的厚度之和小于限位杆的长度。
11.本发明实施例还提供一种废气处理设备的配气方法，所述废气处理设备具有任一如上所述的配气阀岛，在废气处理设备启动燃烧作业时，控制电磁阀为开启状态，使得输气支管通过连接管以及过气管与输气主管相连通，随后输气主管内部的气体进入集气室内部并由进气管对废气处理设备进行配气，配气过程中通过可视窗观察配气室内部的运行状况，同时若废气处理设备出现停机时，首先控制电磁阀为关闭状态，再控制气泵为运行状态，气泵会由回流进管将输气支管以及集气室内部残留的未处理的废气通过回流出管排至输气主管的内部，并由输气主管输送至其它正常作业的废气处理设备内部进行废气的处理。
12.优选的，所述在废气处理设备的配气时，若通过输气支管的气体压力超过预设值时，通过导气管与输气支管连通的泄压筒内部的压力也会增大，此时由于密封圈与t型挡圈密封状态，所以t型挡圈会被压力推动，使其与密封圈相互脱离，移动时通过限位杆与限位通槽相互配合进行限位，从而使得气体通过密封圈与排气管输送至进气管的内部，以减小输气支管内部气体的压力，随后再通过复位弹簧推动t型挡圈与密封圈相互配合对压力进行调节控制。
13.优选的，所述在废气处理设备配气结束需要检修时，通过打开检修腔内部的腔盖，使得腔盖表面的卡扣与检修框表面的卡槽相互脱离，随后通过将腔盖从检修腔的内部取下，取下后通过检修腔对检修框内部的部件进行检查检修。
14.与现有技术相比，本发明的有益效果是：该配气阀岛及废气处理设备的配气方法通过设置有泄压机构，实现了配气时对输气支管内部压力的自调节功能，从而避免了输气支管发生爆裂现象，同时通过设置有回流进管、气泵以及回流出管，实现了残留废气的再处理功能，从而避免了配气后发生的环境污染现象，并且通过设置有检修框，缩短配气阀岛的检修时间，从而增加了配气阀岛检修时的便捷性；
附图说明
15.图1为本发明的主视外观结构示意图；
16.图2为本发明的主视剖面结构示意图；
17.图3为本发明的泄压机构剖视放大结构示意图。
18.图中：1、配气室；101、可视窗；2、输气主管；201、连接管；202、电磁阀；203、过气管；3、检修框；301、检修腔；302、腔盖；303、卡槽；304、卡扣；4、集气室；5、进气管；6、输气支管；7、泄压机构；701、泄压筒；702、密封圈；703、复位弹簧；704、排气管；705、t型挡圈；706、限位杆；707、限位通槽；708、导气管；8、回流进管；801、气泵；802、回流出管。
具体实施方式
19.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，此外，术语“第一”、“第二”、“第三”“上、下、左、右”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。同时，在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电性连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
20.本发明提供的配气阀岛的结构如图1所示，包括配气室1和输气主管2，配气室1的表面镶嵌有可视窗101，配气室1的一侧固定有检修框3，检修框3还包括检修腔301、腔盖302、卡槽303以及卡扣304，检修框3的一侧设置有检修腔301，且检修腔301的内部设置有腔盖302，腔盖302的表面皆固定有卡扣304，且卡扣304位置处的检修框3表面开设有卡槽303，并且卡槽303与卡扣304相互扣合。
21.进一步地，如图2所示，检修框3的一侧设置有输气主管2，输气主管2的一侧连通有等间距的连接管201，且连接管201的一端延伸至检修框3的内部并固定有电磁阀202，配气室1远离检修框3的一侧固定有集气室4，且集气室4的表面连通有进气管5，集气室4的两端皆连接有回流进管8，且回流进管8的另一端安装有气泵801，气泵801的一端安装有回流出管802，且回流出管802的另一端与输气主管2的内部相连通，配气室1的内部固定有输气支管6，且输气支管6通过过气管203与电磁阀202相互连通，并且输气支管6的另一端延伸至集气室4的内部，同时输气支管6一侧的配气室1内部设置有泄压机构7。
22.进一步地，如图3所示，泄压机构7的内部依次设置有泄压筒701、密封圈702、复位弹簧703、排气管704、t型挡圈705、限位杆706、限位通槽707以及导气管708，输气支管6的一侧设置有泄压筒701，且泄压筒701的一端通过导气管708与输气支管6的内部相连通，并且泄压筒701的另一端通过排气管704与进气管5相连通，泄压筒701的内部固定有密封圈702，且密封圈702的一侧设置有t型挡圈705，并且限位杆706的另一端延伸至限位通槽707的内部，同时限位杆706与限位通槽707相互紧密贴合，密封圈702的两侧皆开设有限位通槽707，且限位通槽707的内部设置有限位杆706，并且限位通槽707的另一端与t型挡圈705的表面固定连接，t型挡圈705一侧的两端皆安装有复位弹簧703，且复位弹簧703与泄压筒701的表面固定连接，并且复位弹簧703到密封圈702的最大水平距离大于t型挡圈705的厚度，同时t型挡圈705与密封圈702的厚度之和小于限位杆706的长度。
23.进一步地，本实施例还提供一种废气处理设备的配气方法，废气处理设备具有任一如上所述的配气阀岛，该配气方法，在废气处理设备启动燃烧作业时，控制电磁阀202为开启状态，使得输气支管6通过连接管201以及过气管203与输气主管2相连通，随后输气主管2内部的气体进入集气室4内部并由进气管5对废气处理设备进行配气，配气过程中通过可视窗101观察配气室1内部的运行状况，同时若废气处理设备出现停机时，首先控制电磁阀202为关闭状态，再控制气泵801为运行状态，气泵801会由回流进管8将输气支管6以及集气室4内部残留的未处理的废气通过回流出管802排至输气主管2的内部，并由输气主管2输送至其它正常作业的废气处理设备内部进行废气的处理，实现了残留废气的再处理功能，
从而避免了环境污染现象。
24.在废气处理设备的配气时，若通过输气支管6的气体压力超过预设值时，通过导气管708与输气支管6连通的泄压筒701内部的压力也会增大，此时由于密封圈702与t型挡圈705密封状态，所以t型挡圈705会被压力推动，使其与密封圈702相互脱离，移动时通过限位杆706与限位通槽707相互配合进行限位，从而使得气体通过密封圈702与排气管704输送至进气管5的内部，以减小输气支管6内部气体的压力，随后再通过复位弹簧703推动t型挡圈705与密封圈702相互配合对压力进行调节控制，以实现配气时输气支管6内部压力的自调节功能，从而避免了输气支管6发生爆裂现象。
25.在废气处理设备配气结束需要检修时，通过打开检修腔301内部的腔盖302，使得腔盖302表面的卡扣304与检修框3表面的卡槽303相互脱离，随后通过将腔盖302从检修腔301的内部取下，取下后通过检修腔301对检修框3内部的部件进行检查检修，以缩短配气阀岛的检修时间，从而增加了检修时的便捷性，最终完成配气阀岛及废气处理设备配气方法的使用工作。
26.对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。