疏水膜结构及其检测方法、检测系统、晶圆载具与流程

技术特征：

1.一种疏水膜结构，其特征在于，包括：变色层、覆盖所述变色层表面的疏水层；

所述变色层在接触液体时，所述变色层与所述液体相接触的区域的颜色发生变化构成变色区域。

2.根据权利要求1所述的疏水膜结构，其特征在于，所述变色层的材料包含感温变色材料。

3.根据权利要求2所述的疏水膜结构，其特征在于，所述变色层内部包含多个变色颗粒，多个所述变色颗粒处于同一平面上，并均匀分布在所述变色层中，所述变色颗粒包含所述感温变色材料。

4.根据权利要求3所述的疏水膜结构，其特征在于，所述变色颗粒为变色胶囊，所述变色胶囊包括内核和包裹所述内核的外壳，且所述内核的材料为所述感温变色材料。

5.根据权利要求3所述的疏水膜结构，其特征在于，所述变色颗粒与所述变色层靠近所述疏水层的表面的距离小于0.1mm。

6.根据权利要求3所述的疏水膜结构，其特征在于，所述变色颗粒的形状为椭圆形。

7.根据权利要求3所述的疏水膜结构，其特征在于，所述变色颗粒的直径小于5um，所述变色颗粒的密度大于95％，所述变色层的厚度为10um。

8.根据权利要求1所述的疏水膜结构，其特征在于，所述疏水膜结构还包括：黏贴层；

所述黏贴层位于所述变色层远离所述疏水层的表面。

9.一种晶圆载具，其特征在于，包括权利要求1至8任一项所述的疏水膜结构，所述载具的承载面具有承载区以及环绕所述承载区的第一外围区，所述疏水膜结构至少位于所述承载面的所述第一外围区上，且所述变色层位于所述第一外围区与所述疏水层之间。

10.根据权利要求9所述的晶圆载具，其特征在于，所述载具的承载面还包括镂空区以及围绕所述镂空区的第二外围区，所述疏水膜结构还位于所述承载面的所述第二外围区上，且所述变色层位于所述第二外围区与所述疏水层之间。

11.一种疏水膜结构检测方法，其特征在于，应用于权利要求1至8任一项所述的疏水膜结构，包括：

检测所述疏水膜结构是否具有所述变色区域；

基于检测结果判定所述疏水膜结构是否破损。

12.根据权利要求11所述的疏水膜结构检测方法，其特征在于，所述检测所述疏水膜结构是否具有变色区域，包括：

若所述疏水膜结构具有变色区域，定位所述变色区域，并检测所述变色区域的所述疏水层是否破损。

13.一种疏水膜结构检测系统，其特征在于，应用于权利要求1至9任一项所述的疏水膜结构，包括：

第一检测装置，用于检测所述疏水膜结构是否具有所述变色区域。

14.根据权利要求13所述的疏水膜结构检测系统，其特征在于，所述疏水膜结构检测系统还包括：

第二检测装置，用于在所述疏水膜结构具有变色区域时，定位所述变色区域，并检测所述变色区域的所述疏水层是否破损。

技术总结
本发明实施例涉及半导体领域，公开了一种疏水膜结构及其检测方法、检测系统、晶圆载具。本发明提供的疏水膜结构包括：变色层、覆盖所述变色层表面的疏水层；所述变色层在接触液体时，所述变色层与所述液体相接触的区域的颜色发生变化构成变色区域。本实施方式相对于现有技术而言，通过将疏水层覆盖在变色层表面上，当疏水层破裂时，液体通过疏水层的破裂区域流入到变色层，变色层因接触到液体，其颜色会发生变化。因此，在疏水膜结构检测过程中，通过颜色的变化，检测疏水膜结构是否出现破损，从而及时进行更换，从而解决只有在产品或者设备出现问题时才能发现疏水膜结构破损的问题。

技术研发人员：何振凯
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2020.02.20
技术公布日：2021.08.20