上料模组与真空镀膜设备的制作方法

技术特征：
1.上料模组，用于将靶材补入容器，其特征在于，包括：基座，具有第一腔体与第二腔体，所述第一腔体在所述基座上形成第一开口，所述第一开口用于连通所述容器的内腔，所述第二腔体在所述基座上形成第二开口，所述第二开口用于所述靶材进入所述第二腔体；密封装置，连接于所述基座，并能够相对所述基座移动，以打开或者封闭所述第一腔体与所述第二腔体的连接处；推动装置，连接于所述基座，并能够相对所述基座移动，以在所述第一腔体与所述第二腔体的连接处处于打开状态时，推动所述第二腔体内的所述靶材向所述第一开口的方向移动。2.根据权利要求1所述的上料模组，其特征在于，所述基座包括：第一连接件，具有所述第一腔体与所述第一开口；第二连接件，具有所述第二腔体与所述第二开口；其中，所述密封装置位于所述第一连接件与所述第二连接件之间，所述第二连接件能够相对所述第一连接件沿所述靶材的上料方向移动，且能够在移动至设定位置时将所述密封装置压紧在所述第一连接件上。3.根据权利要求2所述的上料模组，其特征在于，还包括锁止装置，所述锁止装置用于将所述第二连接件保持在所述设定位置。4.根据权利要求3所述的上料模组，其特征在于，所述锁止装置包括导向件，所述导向件与所述第一连接件连接，所述第二连接件具有导向孔，所述导向件插接在所述导向孔内，且从所述第二连接件上远离所述第一连接件的端部伸出；所述锁止装置还包括锁止件，所述锁止件可分离地连接于所述导向件的伸出部分，以将所述第二连接件保持在所述设定位置。5.根据权利要求4所述的上料模组，其特征在于，所述导向件的伸出部分具有支撑部，所述支撑部与所述第二连接件之间具有间隙；所述锁止件与所述第二连接件转动连接，转动至所述间隙内的所述锁止件由所述支撑部进行支撑。6.根据权利要求5所述的上料模组，其特征在于，所述锁止件具有凹槽，当所述锁止件转动至所述间隙内时，所述导向件容纳于所述凹槽内。7.根据权利要求1所述的上料模组，其特征在于，所述第二腔体在所述基座上形成第三开口，沿所述靶材的进样方向，所述第二开口、所述第三开口与所述第一开口依次设置，所述密封装置能够通过所述第三开口脱离所述基座。8.根据权利要求7所述的上料模组，其特征在于，沿所述进样方向，所述第三开口与所述第二开口连通。9.根据权利要求1所述的上料模组，其特征在于，所述推动装置的外周面具有第一台阶面，所述第二腔体的腔壁具有第二台阶面，当所述第一台阶面与所述第二台阶面相互接触时，由所述第二开口进入所述第二腔体的所述靶材能够移动至所述推动装置上。10.真空镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的上料模组。

技术总结
本实用新型公开了一种上料模组与真空镀膜设备，上料模组用于将靶材补入容器，包括基座、密封装置与推动装置，基座具有第一腔体与第二腔体，第一腔体在基座上形成第一开口，第一开口用于连通容器的内腔，第二腔体在基座上形成第二开口，第二开口用于靶材进入第二腔体；密封装置连接于基座，并能够相对基座移动，以打开或者封闭第一腔体与第二腔体的连接处；推动装置连接于基座，并能够相对基座移动，以在第一腔体与第二腔体的连接处处于打开状态时，推动第二腔体内的靶材向第一开口的方向移动。上述的上料模组结构简单，操作便捷，有助于提升效率，降低成本。降低成本。降低成本。


技术研发人员：余仲 李时俊 王志民 谢进学
受保护的技术使用者：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
技术研发日：2020.12.02
技术公布日：2021/10/23